Дар толорҳои ороми озмоишгоҳҳои калибрченкунӣ, утоқҳои тозакунии нимноқилҳо ва утоқҳои метрологияи аэрокосмикӣ, инқилоби хомӯшона идома дорад. Он на танҳо аз ҷониби нармафзор ё сенсорҳо, балки аз ҷониби ҳамон маводе, ки асоси худи андозагириро ташкил медиҳанд, идора карда мешавад. Дар сафи пеши ин тағйирот асбобҳои пешрафтаи ченкунии сафолӣ, аз ҷумла ченаки рости ҳавоии керамикии ултра-устувор ва параллелепипед ва чоркунҷаи силикон-карбиди дақиқи бениҳоят сахт (Si-SiC) қарор доранд. Инҳо танҳо асбобҳо нестанд; онҳо барои давраи наве мусоидат мекунанд, ки дар он устуворӣ, такрорпазирӣ ва бетарафии гармӣ қобили музокира нестанд.
Зиёда аз ним аср гранити сиёҳ дар метрологияи дақиқ бартарӣ дошт. Сустшавии табиии он, васеъшавии пасти гармӣ ва ҳамвории аълои он онро ба маводи асосӣ барои плитаҳои сатҳӣ, чоркунҷаҳо ва кунҷҳои рост табдил дод. Бо вуҷуди ин, бо назардошти он ки саноат ба таҳаммулпазирии миқёси зермикрон ва ҳатто нанометрӣ - махсусан дар литографияи нимноқилҳо, оптикаи кайҳонӣ ва ҳисоббарории квантӣ - ворид мешавад, маҳдудиятҳои гранит торафт равшантар мешаванд. Он вазнин аст, ҳангоми тамос бо такрорӣ ба микрочипҳо осебпазир аст ва сарфи назар аз обрӯяш, то ҳол зери бор ё тағирёбии муҳити зист лағжиши кӯтоҳмуддати тӯлонӣ нишон медиҳад.
Сафолҳои муҳандисиро ворид кунед: на сафолҳои шикастаи тасаввуроти ҳаррӯза, балки маводҳои зич, якхела ва баландсифат, ки дар зери гармӣ ва фишори шадид сохта шудаанд. Дар байни инҳо, ду синф барои истифода дар метрология фарқ мекунанд: алюминийи тозаи баланд (Al₂O₃) ва карбиди кремнийи бо реаксия пайвастшуда (Si-SiC). Гарчанде ки ҳарду нисбат ба маводҳои анъанавӣ беҳбудиҳои назаррас пешниҳод мекунанд, онҳо нақшҳои гуногунро иҷро мекунанд ва дар якҷоягӣ, онҳо пешрафти он чизеро, ки дар метрологияи андоза имконпазир аст, ифода мекунанд.
Масалан, ченаки рости ҳавои сафолиро гиред. Ин асбоб, ки барои истифода бо зинаҳои ҳаводор ё интерферометрҳои оптикӣ тарҳрезӣ шудааст, қариб ки ростии комил, массаи минималӣ ва сифр гардиши ҳароратӣ талаб мекунад. Дар асоси оксиди алюминийхаткашонҳои сафолӣ— то ҳамворӣ ва ростӣ дар ±0.5 µm дар болои 500 мм коркард ва то ноҳамвории сатҳ дар зери Ra 0.02 µm сайқал дода шудааст — маҳз ҳаминро таъмин мекунад. Зичии пасти онҳо (~3.6 г/см³) инерсияро дар системаҳои андозагирии динамикӣ коҳиш медиҳад, дар ҳоле ки хусусияти ғайримагнитӣ ва ғайриногузари онҳо халалро дар муҳитҳои ҳассоси электронӣ ё магнитӣ аз байн мебарад. Дар асбобҳои санҷиши пластинаҳо ё танзимоти калибрченкунии пайгирии лазерӣ, ки дар он ҳатто як микрон камон метавонад натиҷаҳоро таҳриф кунад, ченаки рости ҳавои керамикӣ истиноди устувор ва инертиро таъмин мекунад, ки дар тамоми тағйироти ҳарорат ва давраҳои корӣ дуруст боқӣ мемонад.
Аммо вақте ки сахтии ниҳоӣ ва гузаронандагии гармӣ лозим аст - масалан, дар танзими оинаи телескопи кайҳонӣ ё метрологияи ковокии лазерии пуриқтидор - муҳандисон ба ҷузъҳои параллелепипед ва чоркунҷаи дақиқи кремний-карбид (Si-SiC) муроҷиат мекунанд. Si-SiC яке аз сахттарин маводҳои маълум аст, ки модули Янг аз 400 ГПа зиёдтар аст - беш аз се маротиба аз пӯлод - ва гузаронандагии гармӣ бо алюминий рақобат мекунад. Муҳим он аст, ки коэффитсиенти васеъшавии гармии он (CTE) метавонад ба шишаҳои оптикӣ ё вафлҳои кремний мувофиқат кунад, ки васеъшавии дифференсиалии қариб сифрро дар маҷмӯаҳои гибридӣ имконпазир месозад. Чоркунҷаи Si-SiC, ки ҳамчун истиноди асосӣ дар асбоби литографияи EUV истифода мешавад, на танҳо шакли худро нигоҳ медорад - он фаъолона ба таҳриф аз гармии маҳаллӣ ё ларзиш муқовимат хоҳад кард.
Он чизе, ки ин дастовардҳоро имконпазир мегардонад, на танҳо мавод, балки маҳорати истеҳсоли асбобҳои ченкунии сафолӣ мебошад. Масалан, коркарди дақиқи Si-SiC чархҳои суфтакунии алмосӣ, платформаҳои CNC-и зермикронӣ ва равандҳои бисёрмарҳилавии лағжишро талаб мекунад, ки дар муҳитҳои ҳароратӣ назоратшаванда гузаронида мешаванд. Ҳатто фишори ночизи боқимонда аз синтези нодуруст метавонад ба каҷравии пас аз коркард оварда расонад. Аз ин рӯ, танҳо якчанд истеҳсолкунандагони интихобшудаи ҷаҳонӣ синтези мавод, шаклдиҳии дақиқ ва метрологияи ниҳоиро дар зери як бом муттаҳид мекунанд - қобилияте, ки истеҳсолкунандагони воқеии метрологияро аз таъминкунандагони умумии сафолӣ ҷудо мекунад.
Дар ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG), ин ҳамгироии амудӣ барои рисолати мо муҳим аст. Асбобҳои ченкунии сафолии мо, аз ҷумла моделҳои хаткаши ҳавоии сафолӣ, ки ба DIN 874 Grade AA сертификатсия шудаанд ва артефактҳои параллелепипедии силикон-карбиди (Si-Si-C) ва артефактҳои чоркунҷаи дақиқи баланд, ки ба стандартҳои PTB ва NIST пайгирӣ карда мешаванд, дар утоқҳои тозаи ISO Синфи 7 бо истифода аз протоколҳои махсуси синтез ва коркард истеҳсол карда мешаванд. Ҳар як ҷузъ пеш аз интиқол аз санҷиши пурраи интерферометрӣ, санҷиши CMM аз таҳаммулпазирии геометрӣ (ҳамворӣ, параллелизм, перпендикулярӣ) ва санҷиши якпорчагии сатҳ мегузарад. Натиҷа як артефакти дараҷаи истинодӣ аст, ки на танҳо ба мушаххасот ҷавобгӯ аст, балки онҳоро дар тамоми партияҳо мунтазам аз ҳад зиёд мегузаронад.
Талабот ба чунин корҳо рӯ ба афзоиш аст. Дар истеҳсоли нимноқилҳо, системаҳои EUV ва литографияи баланд-NA сохторҳои ҳамоҳангсозиро талаб мекунанд, ки дар масофаи даҳҳо нанометр дар миқёси метр устувор бошанд - бе синергияи гармӣ-механикии Si-SiC ин ғайриимкон аст. Дар кайҳонӣ, мизҳои оптикии моҳвораӣ, ки бо истинодҳои сафолӣ сохта шудаанд, устувории мадорро сарфи назар аз даври шадиди гармӣ таъмин мекунанд. Ҳатто дар соҳаҳои навбунёд ба монанди ошкоркунии мавҷҳои ҷозиба ё таҳияи соати атомӣ, ки дар он устувории сатҳи пикометр муҳим аст, артефактҳои метрологии сафолӣ ва Si-SiC ҳатмӣ мегарданд.
Муҳимтар аз ҳама, ин абзорҳо инчунин ба устуворӣ ва арзиши умумии моликият низ дахл доранд. Дар ҳоле ки сармоягузории аввалия барои параллелепипеди силикон-карбиди дақиқи баланд метавонад аз сармоягузории муодили гранит зиёдтар бошад, мӯҳлати хидмати он дар муҳитҳои истифодаи баланд метавонад 5-10 маротиба дарозтар бошад. Он ба равғанкунӣ ниёз надорад, ба ҳама ҳалкунандаҳо ва плазмаҳои маъмулӣ муқовимат мекунад ва ҳеҷ гоҳ аз сабаби азхудкунии намӣ ба калибрченкунӣ ниёз надорад - бар хилофи оҳани рехтагарӣ ё ҳатто баъзе гранитҳо. Барои менеҷерони сифат, ки тибқи стандартҳои AS9100, ISO 13485 ё SEMI фаъолият мекунанд, ин эътимоднокӣ мустақиман ба кам шудани вақти корношоямӣ, камтар ёфтаҳои аудит ва эътимоди бештари муштариён табдил меёбад.
Ғайр аз ин, зебоӣ ва функсионалии ин асбобҳоро набояд нодида гирифт. Чоркунҷаи сайқалёфтаи Si-SiC бо дурахши металлӣ медурахшад, аммо аз пӯлод камтар вазн дорад. Хаткашаки рости ҳавоии сафолӣ сахт ҳис мешавад, аммо бе ягон заҳмат бардошта мешавад - барои санҷиши дастӣ дар фазоҳои танг беҳтарин аст. Ин хислатҳои инсонмарказ дар лабораторияҳои воқеӣ муҳиманд, ки дар онҳо эргономика ва осонии истифода ба ҷараёни кори ҳаррӯза таъсир мерасонанд.
Пас, оё асбобҳои ченкунии сафолӣ дақиқии ултрабаландро аз нав муайян мекунанд? Ҷавоб дар маълумот ва дар рӯйхати афзояндаи пешвоёни ҷаҳонӣ, ки ҳоло онҳоро ҳамчун стандарт муайян мекунанд, нуҳуфтааст. Аз институтҳои миллии метрология, ки стандартҳои дарозии насли ояндаро тасдиқ мекунанд, то таъминкунандагони сатҳи 1, ки ҷузъҳои системаи трансмиссияи EV-ро тасдиқ мекунанд, тағйирот равшан аст: вақте ки номуайянӣ бояд ба ҳадди ақал расонида шавад, муҳандисон ба сафолҳои муҳандисӣ эътимод доранд.
Ва ҳангоме ки саноат пешрафти бемайлони худро ба сӯи назорати миқёси атомӣ идома медиҳад, як ҳақиқат инкорнопазир мегардад: ояндаи андозагирӣ аз санг кандакорӣ ё дар металл рехта нахоҳад шуд. Он бо сафол ва карбиди кремний пухта, орд ва сайқал дода мешавад.
ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) як навовари эътирофшудаи ҷаҳонӣ дар ҳалли метрологияи сафолии ултра-дақиқ ва силикон-карбид мебошад. ZHHIMG, ки дар асбобҳои ченкунии сафолӣ, хаткаши рости ҳавоии сафолӣ ва ҷузъҳои параллелепипед ва чоркунҷаи дақиқи силикон-карбид (Si-SiC) тахассус дорад, ашёи пурра сертификатсияшудаи дараҷаи лабораториро барои барномаҳои нимноқилӣ, кайҳонӣ, мудофиа ва тадқиқоти илмӣ пешниҳод мекунад. Маҳсулоти мо, ки бо сертификатҳои ISO 9001, ISO 14001 ва CE дастгирӣ мешаванд, аз ҷониби корхонаҳои пешбари технологӣ дар саросари ҷаҳон эътимод доранд. Портфели пешрафтаи метрологияи моро дар ин ҷо омӯзед.www.zhhimg.com.
Вақти нашр: 05 декабри соли 2025