Платформаи гранитӣ ҳамчун воситаи истинод барои андозагирӣ ва коркарди дақиқ, нигоҳдории дақиқи он бевосита ба сифати истеҳсолот таъсир мерасонад. Дар зер нақшаи нигоҳдории системавӣ, ки назорати муҳити зист, нигоҳдории ҳаррӯза ва калибрченкунии касбиро дар бар мегирад, таъмин менамояд, то платформа дар муддати тӯлонӣ дақиқии сатҳи нанометрро нигоҳ дорад.
1. Назорати муҳити зист: Сохтани монеаи муҳофизати дақиқ
Идоракунии ҳарорат ва намӣ
Ҳарорати муҳити корӣ бояд дар 20 ± 1 ℃ мӯътадил карда шавад. Ҳар як тағирёбии 1℃ боиси деформатсияи гармии платформаи гранитӣ дар 0,5-1мкм/м мегардад. Дар цех системаи доимии хароратро гузоштан мумкин аст, то ки розеткахои кондиционерро бевосита ба платформа вазида нашаванд.
Намӣ бояд аз 40% то 60% назорат карда шавад. Рутубати аз ҳад зиёд метавонад ба осонӣ дар қисмҳои металлӣ занг занад, дар ҳоле ки намии аз ҳад зиёд метавонад ба халалдоршавии қувваи барқи статикӣ дар андозагирӣ оварда расонад.
Изолятсияи ларзиш
Платформа бояд аз манбаъҳои ларзиш ба монанди мошинҳои штампкашӣ ва фрезерӣ дур нигоҳ дошта шавад. Тавсия дода мешавад, ки масофаи бештар аз 3 метр аз таҷҳизоти ларзиш нигоҳ дошта шавад.
Агар аз ларзиш пешгирӣ карда нашавад, дар поёни платформа амортизаторҳои пружинаи ҳавоӣ насб кардан мумкин аст, то таъсири ларзиши муҳити атрофро ба ҳамвории платформа кам кунад (ки метавонад ларзиши берунаро бештар аз 80% кам кунад).
2. Нигоҳдории ҳаррӯза: Назорати дақиқ аз тозакунӣ то муҳофизат
Мушаххасоти тозакунии рӯи замин
Тоза кардани ғубор: Ҳар рӯз сатҳи онро бо пӯсти оху ё матои тоза ба ҳамон самт пок кунед, то зарраҳои чанг (≥5μm) аз харошидан платформа пешгирӣ кунанд. Доғҳои якравро бо этаноли беоб (тоза ≥99,7%) нарм тоза кардан мумкин аст. Маҳлулҳои қавӣ ба монанди ацетон набояд истифода шаванд.
Равған тоза кардан: Агар он ба доғҳои равған ворид шавад, онро бо тозакунандаи нейтралии маҳлулшуда пок кунед, сипас бо оби деионизатсияшуда бишӯед ва дар ҳаво хушк кунед, то ки равғани минералӣ ба сӯрохиҳои хурди платформа ворид нашавад.
Муҳофизати сарборӣ ва бархӯрд
Иқтидори борбардории платформа бояд дар ҳудуди 70% сарбории номиналӣ назорат карда шавад (масалан, барои платформаи 1000 кг, тавсия дода мешавад, ки бори ≤ 700 кг бошад) барои пешгирӣ кардани деформатсияи доимӣ, ки аз изофабори маҳаллӣ ба вуҷуд омадааст.
Ба платформа зарба задан ба қисмҳои корӣ қатъиян манъ аст. Ҳангоми коркарди асбобҳо дастпӯшакҳои мулоим пӯшед, то ашёҳои тезро харош накунанд (харошҳои чуқурии беш аз 20 мкм ба андозагирии роҳи равшании инъикосшуда таъсир мерасонанд).
3. Калибрченкунии касбӣ: Асоси дурустии нигоҳдории илмӣ
Танзими давраи калибрченкунӣ
Сенарияҳои муқаррарии истифода: Ҳар семоҳа як маротиба калибр кунед ва интерферометри лазериро барои муайян кардани ҳамворӣ истифода баред (бо дақиқии ±0,5 мкм/м).
Истифодаи басомади баланд ё муҳити сахт: Калибровкаи ҳармоҳа бо таваҷҷӯҳ ба мониторинги минтақаҳои ба ҳарорат ҳассос (масалан, канори платформа дар наздикии манбаъҳои гармӣ).
Коркарди пас аз калибрченкунӣ
Агар инҳирофи ҳамворӣ пайдо шавад (ба мисли > ±1μm/m), он бояд аз ҷониби техникҳои касбӣ бо истифода аз микро-хокаи W1.5 хок ва таъмир карда шавад. Бо сангреза худкор кардан қатъиян манъ аст.
Пас аз калибрченкунӣ, маълумот бояд сабт ва бойгонӣ карда шавад ва хатти камшавии саҳеҳии платформа барои пешгӯии талаботи нигоҳдорӣ пешакӣ муқаррар карда шавад.
4. Нигоҳдорӣ ва интиқол: Аз талафоти дақиқи пинҳонӣ худдорӣ кунед
Нуқтаҳои асосӣ барои нигоҳдории дарозмуддат
Ҳангоми нигоҳдорӣ онро бо сарпӯши намнок ва аз чанг муҳофизат кардан лозим аст. Поён бояд аз се нуқта пуштибонӣ карда шавад (нуқтаи дастгирӣ дар 2/9 дарозии платформа ҷойгир аст) барои пешгирии деформатсияи хамшавӣ, ки дар натиҷаи вазнинӣ ба вуҷуд омадааст (платформаи 1 метр метавонад аз сабаби дастгирии дарозмуддати як нуқта 0,3 мкм коста шавад).
Мавқеи нуқтаҳои дастгирии платформаро мунтазам (ҳар моҳ) интиқол диҳед, то аз фишори дарозмуддати маҳаллӣ пешгирӣ кунед.
Нақшаи ҳифзи нақлиёт
Интиқоли масофаҳои кӯтоҳ: Бо кафк фурўбаранда печонед, дар чаҳорчӯбаи сахт ҷойгир кунед ва суръатро дар ҳудуди 2г нигоҳ доред.
Нақлиёт ба масофаи дур: Он бояд бо вакуум баста ва аз нитроген хушк пур карда шавад. Пас аз ворид шудан, он бояд то 24 соат то ба мувозинат расидани ҳарорат пеш аз кушодан нигоҳ дошта шавад, то ки оби конденсатӣ ба дурустӣ таъсир нарасонад.
5. Пешгӯии хатогиҳо: Усулҳои муайян кардани мушкилоти аввал
Санҷиши визуалӣ: Мунтазам сатҳи рӯиро бо айнаки лубаи 40х мушоҳида кунед. Агар харошиданҳои доимӣ ё коҳиши назарраси тобнок пайдо шаванд, ин метавонад коҳиши дақиқиро нишон диҳад.
Муайянкунии садо: Ба платформа мулоим клик кунед. Агар садо хирр шавад (одатан бояд садои равшан бошад), дар дохили он метавонад микро-тарқишҳо пайдо шавад. Истифодаи онро фавран барои муайян кардан қатъ кунед.
Тавассути ин системаи нигоҳдорӣ, платформаи гранитии ZHHIMG® метавонад ҳамвории ± 1μm / м дар тӯли 10 солро нигоҳ дорад, ки ин аз мӯҳлати дақиқи платформаҳое, ки дуруст нигоҳ дошта намешаванд, зиёда аз се маротиба зиёдтар аст. Амалия исбот кард, ки пас аз як корхонаи муайяни нимноқилҳо ин қарорро қабул кард, басомади калибркунии платформа 50% кам карда шуд ва хароҷоти нигоҳдории солона зиёда аз 150,000 юан сарфа карда шуд.
Вақти фиристодан: июн-18-2025