Дар ҷаҳони рақобати шадиди истеҳсоли дисплейҳои пешрафта, фарқи байни пешсафии бозор ва кӯҳнашавӣ аксар вақт ба як омил вобаста аст: дақиқӣ. Сохтани массивҳои поликристаллии кремнийи ҳарорати паст (LTPS) - асоси экранҳои баландсифат ва баландсифати OLED ва LCD - таҳаммулпазириро талаб мекунад, ки марзҳои муҳандисиро васеъ мекунанд. Ноил шудан ба ин сатҳи хеле баланди дақиқӣ аз асоси физикии худи таҷҳизот оғоз мешавад. Аз ин рӯ, интихоби пойгоҳи мошини гранитӣ барои таҷҳизоти массиви LTPS на танҳо интихоби тарроҳӣ, балки талаботи асосӣ мебошад.
Равандҳое, ки дар истеҳсоли массиви LTPS, бахусус кристаллизатсияи лазерӣ ва марҳилаҳои минбаъдаи фотолитография ва ҷойгиркунӣ, ба садои муҳити зист, аз ҷумла ларзишҳои нозук ва тағйироти ҳароратӣ, хеле ҳассосанд. Ҳатто дар муҳити тозаи бодиққат назоратшаванда, тағйироти ночиз метавонанд ба ҳосилнокӣ ва якрангии массив таъсири ҷиддӣ расонанд. Марҳилаи санҷиш, ки аз ҷониби таҷҳизоти хеле мураккаб барои таъмини ташаккули комили ҳар як транзистор анҷом дода мешавад, дараҷаи боз ҳам бештари якпорчагии сохториро талаб мекунад. Ин соҳаест, ки дар он пойгоҳи мошини Granite барои таҷҳизоти санҷиши массиви полисиликонии дисплейи панелҳои ҳамвор бо ҳарорати паст воқеан бартарӣ дорад.
Талаботи гармӣ ва динамикии санҷиши LTPS
Технологияи LTPS имкон медиҳад, ки ҳаракати электронҳо тезтар бошад ва транзисторҳои хурдтар ва самараноктарро фароҳам оварад ва ба дисплейҳо бо суръати ҳайратангези навсозӣ ва истеъмоли камтари энергия оварда расонад. Аммо, сохторҳои дахлдор микроскопӣ буда, бо микрон чен карда мешаванд. Барои он ки таҷҳизоти мураккаби санҷишӣ камбудиҳоро дақиқ муайян, чен ва таҳлил кунад, платформаи кори он бояд қариб беҳаракат ва аз ҷиҳати андоза тағйирнопазир бошад.
Маводҳои анъанавӣ ба монанди оҳани рехтагарӣ ё пӯлод, гарчанде ки мустаҳкаманд, ба таври табиӣ ба васеъшавии гармӣ осебпазиранд. Коэффисиенти васеъшавии гармӣ (CTE) барои пӯлоди маъмулӣ нисбат ба гранити сиёҳ ба таври назаррас баландтар аст. Ин маънои онро дорад, ки афзоиши ночизи ҳарорати муҳит, шояд танҳо як ё ду дараҷа, боиси васеъшавӣ ва фишурдани сохтори мошини пӯлодӣ мегардад. Дар заминаи санҷиши массив, ин кашиши гармӣ боиси хатогиҳои мавқеъӣ, номувофиқатӣ дар роҳи оптикӣ ва эҳтимолан хонишҳои нодуруст мегардад, ки метавонанд боиси рад кардани панелҳои хуб ё қабули панелҳои ноқис шаванд.
Баръакс, истифодаи кати махсуси мошини гранитӣ барои таҷҳизоти LTPS Array платформаеро бо CTE-и бениҳоят паст таъмин мекунад. Ин устувории гармӣ кафолат медиҳад, ки геометрияи муҳими мошин - масофа байни сенсори ченкунӣ ва зерқабати LTPS - доимӣ боқӣ мемонад ва имкон медиҳад, ки андозагириҳои зермикронӣ мунтазам ва такроршаванда барои назорати сифат муҳим бошанд.
Кам кардани ларзиш ва сахтии беҳамто
Илова бар устувории гармӣ, хосиятҳои дохилии маводи гранит дар идоракунии қувваҳои динамикӣ ва ларзишҳо бартарии назаррас доранд. Системаҳои пешрафтаи санҷиш аз марҳилаҳои баландсуръат ва механизмҳои мураккаби сканкунӣ истифода мебаранд, ки ҳаракатҳо ва ларзишҳои ночизи механикиро ба вуҷуд меоранд. Ин қувваҳои дохилӣ, дар якҷоягӣ бо садои беруна аз коркардкунандагони ҳаво ё мошинҳои ҳамшафат, бояд зуд безарар карда шаванд, то аз норавшании ҳаракат ё ноустувории хониш пешгирӣ карда шавад.
Қобилияти баланди демпферии дохилии гранит, ки хосияте ба он имкон медиҳад, ки энергияи ларзишро нисбат ба металлҳо хеле зудтар пароканда кунад, дар ин ҷо муҳим аст. Он ҳамчун амортизатори ғайрифаъол амал мекунад ва кафолат медиҳад, ки мошин пас аз ҳар як ҳаракат зуд ба ҳолати оромии комил бармегардад. Модули баланди чандирӣ ва зичии санг инчунин ба сохтори хеле сахт мусоидат мекунад ва каҷравии статикиро дар зери вазни системаҳои вазнини гантри, васлкунакҳои оптикӣ ва камераҳои вакуумӣ ба ҳадди ақалл мерасонад.
Дар асл, бо интихоби пойгоҳи мошини гранитии дақиқ тайёршуда барои барномаҳои LTPS Array, муҳандисон таҳкурсеро месозанд, ки аз ҷиҳати гармӣ устувор, аз ҷиҳати акустикӣ ором ва аз ҷиҳати сохторӣ сахт бошад. Ин сегонаи хосиятҳо барои ноил шудан ба ҳадафҳои иқтидор ва ҳосилнокӣ, ки барои истеҳсоли муосири дисплейҳои LTPS заруранд, қобили музокира нест.
Камолоти муҳандисӣ аз табиат
Маҳсулоти ниҳоӣ — асоси мошини гранитӣ — аз санги ноҳамвори кон хеле дур аст. Ин шоҳасари метрология аст, ки аксар вақт то таҳаммулпазирӣ дар диапазони паст-микрон ё ҳатто субмикрон чен карда мешавад. Усулҳои махсус барои рафъи стресс ва комилан ҳамвор будани гранит истифода мешаванд. Ин маводи табиии хеле такмилёфта сатҳи ниҳоии истинодиро фароҳам меорад, ки ҳамаи ҳамоҳангсозии минбаъдаи механикӣ ва оптикӣ дар он калибр карда мешаванд.
Барои истеҳсолкунандагони таҷҳизоти массиви LTPS, ҳамгироии гранити баландсифат кафолат медиҳад, ки мошинҳои онҳо метавонанд пайваста бо сифати баланд кор кунанд ва ин мустақиман ба ҳосилнокии баландтар ва дисплейҳои босифат барои бозори истеъмолӣ табдил меёбад. Ин далели он аст, ки вақте муҳандисӣ комилияти мутлақро талаб мекунад, ба устувортарин маводи табиии рӯи замин нигоҳ кардан боэътимодтарин роҳи ҳалро пешниҳод мекунад.
Вақти нашр: 03 декабри соли 2025