Дар ҷаҳони истеҳсоли дақиқи баланд — ки дар он таҳаммулпазирӣ аз 5 микрон камтар мешавад ва рӯйпӯшҳои сатҳӣ ба сифати оптикӣ наздик мешаванд — асбобҳое, ки мо ба онҳо такя мекунем, бояд аз анъана берун раванд. Даҳсолаҳо боз пӯлод ва гранит дар сатҳи метрология ҳукмронӣ мекарданд. Аммо бо назардошти он ки соҳаҳо ба монанди таҷҳизоти нимноқилӣ, оптикаи аэрокосмикӣ ва микродастгоҳҳои тиббӣ ба соҳаҳое ворид мешаванд, ки ҳатто дрейфи гармӣ ё фарсудашавии микроскопӣ хатои номақбулро ба вуҷуд меорад, як синфи нави асбобҳои истинодӣ пайдо мешавад: онҳое, ки на аз металл ё санг, балки аз сафолҳои пешрафтаи техникӣ сохта шудаанд.
Дар ZHHIMG, мо аз пешниҳоди танҳоӣ берун рафтемХаткашаки рости сафолӣё маҳсулоти хаткаши чоркунҷаи керамикӣ. Мо бо омезиши маводҳои керамикии ултра устувор бо тарҳи муосир, аз ҷумла хаткаши ҳавоии шинокунандаи фармоишии керамикӣ, ки ҳалли он тамосҳои механикиро пурра аз байн мебарад ва дар айни замон такрорпазирии сатҳи нанометрро таъмин мекунад, аз нав муайян мекунем.
Чаро сафол? Ҷавоб аз сатҳи молекулавӣ оғоз мешавад. Бар хилофи пӯлод, ки бо ҳарорат ба таври назаррас васеъ мешавад - ё гранит, ки бо вуҷуди устувории худ, сӯрохдор ва гетерогенӣ боқӣ мемонад - сафолҳои муҳандисӣ ба монанди алюминийи сахтшуда бо сирконий (ZTA) ва нитриди кремний сӯрохии қариб сифрӣ, сахтии истисноӣ (1400–1800 HV) ва коэффитсиентҳои васеъшавии гармиро то 3-4 µm/m·°C пешниҳод мекунанд. Ин маънои онро дорад, ки канори рости керамикӣ аз ZHHIMG геометрияи худро дар ҳарорате, ки асбобҳои анъанавиро ба андозаи якчанд микрон таҳриф мекунад, нигоҳ медорад.
Аммо танҳо мавод кофӣ нест. Он чизе, ки хаткашҳои сафолии моро воқеан фарқ мекунад, дақиқии истеҳсоли онҳост. Бо истифода аз сайқалдиҳии алмосӣ, сайқалдиҳии зердиафрагма ва тасдиқи интерферометрии лазерӣ дар утоқҳои тозаи ISO Class 5, мо ба таҳаммулпазирии ростӣ аз 0,8 мкм дар болои 500 мм беҳтар ноил мешавем - на танҳо ҳангоми таҳвил тасдиқ карда шудааст, балки дар гузоришҳои пурраи калибрченкунӣ, ки ба стандартҳои NIST ва PTB пайгирӣ карда мешаванд, сабт шудааст. Ҳар якҲалқаки чоркунҷаи сафолӣтавассути автоколлиматсияи электронӣ аз санҷиши перпендикулярӣ мегузарад ва кафолат медиҳад, ки кунҷҳо дар ҳудуди 1 камон-сония нигоҳ дошта мешаванд (инҳирофи ≈0.5 мкм дар 100 мм).
Инҳо мушаххасоти назариявӣ нестанд. Онҳо воқеияти амалиётӣ барои муштариёне мебошанд, ки дигар наметавонанд ба созиш бирасанд. Як таъминкунандаи пешбари қисмҳои литографияи EUV ҳоло аз хати рости керамикии мо танҳо барои мувофиқ кардани чаҳорчӯбаҳои такягоҳи оина истифода мебарад. "Хатсайрҳои пӯлодӣ дар давраҳои тӯлонии экспозиция каҷ мешаванд", - гуфт метрологи пешбари онҳо ба мо. "Гранит зарраҳоро ҷамъ кард. Нусхаи керамикӣ? Он 18 моҳ устувор буд - ба калибрченкунӣ ниёз набуд."
Аммо ҳатто геометрияи комил метавонад аз ламс халалдор шавад. Агар шумо ченакро дар рӯи сатҳ кашед, шумо хатари харошиданҳои хурд, халалдоршавии плёнкаи равғанӣ ё деформатсияи эластикӣ доред - хусусан дар металлҳои нарм ё оптикаи сайқалёфта. Ин аст, ки навоварии ZHHIMG бо ченаки ҳавоии шинокунандаи Custom Ceramic пеш меравад.
Ин танҳо як канори рости сафолӣ бо сӯрохиҳои пармашуда нест. Ин як системаи пурра муҳандисии аэростатикӣ мебошад, ки бо истифода аз динамикаи моеъи ҳисоббарорӣ барои таъмини ҷараёни якхелаи ҳавои ламинарӣ дар тамоми дарозии хаткаш тарҳрезӣ шудааст. Ҳангоми фишор овардан бо ҳавои тоза ва хушк (ё нитроген дар муҳитҳои ҳассос), хаткаш 5-10 микрон дар болои қисмати корӣ шино мекунад ва тамосҳои ҷисмониро аз байн мебарад ва ҳамзамон ҳамоҳангии комилро нигоҳ медорад. Натиҷа? Андозагирии воқеии ғайритамос барои ҳамворӣ, ростӣ ё санҷиши баландии зина бо такрорпазирӣ то ±0.2 мкм.
Як лабораторияи ҳисоббарории квантӣ дар Швейтсария ҳоло аз ченаки ҳавоии шинокунандаи Custom Ceramic бо диаметри 600 мм барои санҷиши интиқолдиҳандаҳои чипҳои аз ҳад зиёд ноқил истифода мебарад. "Ҳар гуна тамос - ҳатто бо стилуси нарм - фишореро ба вуҷуд меорад, ки кори кубитро тағйир медиҳад", - шарҳ дод муҳандиси раванди онҳо. "Ченаки сафолии шинокунандаи ҳаво ба мо истиноди лозимиро бе ламс кардани қисм медиҳад. Ин хеле муҳим шудааст."
Он чизе ки инро имконпазир мегардонад, ин ҳамгироии беназири илми мавод, коркарди дақиқ ва таҷрибаи метрологияи ZHHIMG мебошад. Дар ҳоле ки бисёре аз таъминкунандагон ба сафол ҳамчун ҷузъҳои сохторӣ муносибат мекунанд, мо онҳоро ҳамчун артефактҳои андозагирӣ оптимизатсия мекунем. Тарҳҳои чоркунҷаи керамикии мо канорҳои каҷшударо барои пешгирии шикастан, пуштҳои бо матов коркардшуда барои кам кардани дурахши равшанӣ ҳангоми санҷиш ва аломатҳои иловагии фидусиалӣ барои системаҳои автоматии биноӣ дар бар мегиранд. Барои истифода дар утоқҳои тоза, сатҳҳо то Ra < 0.02 µm сайқал дода мешаванд, то часпиши зарраҳоро кам кунанд.
Ва азбаски ҳар як барнома гуногун аст, мо ба як андоза барои ҳама мувофиқ бовар намекунем. Ба шумо канори рости керамикӣ бо каналҳои вакуумии дарунсохт барои нигоҳ доштани вафли тунук ҳангоми санҷиш лозим аст? Мо онро сохтаем. Ба шумо лозим астхаткаши чоркунҷабо сӯрохиҳои гузаранда ба нӯги зонд CMM-и шумо мувофиқ карда шудааст? Анҷом ёфт. Мехоҳед ченаки ҳавоии шинокунандаи керамикии фармоишӣ бо сенсорҳои фишори ҳамгирошуда ва фикру мулоҳизаҳои рақамии ҳамворкунӣ дошта бошед? Ин аллакай дар озмоиши бета бо муштарии аэрокосмикии Tier-1 қарор дорад.
Эътирофи соҳа пас аз он ба амал омад. Дар Шарҳи метрологияи пешрафтаи ҷаҳонӣ дар соли 2025, ZHHIMG ҳамчун ягона ширкате зикр шуд, ки оилаи пурраи асбобҳои истинодии сафолии сертификатсияшударо, аз ҷумла вариантҳои шинокунандаро, бо тасдиқи пурраи геометрӣ ва пайгирии рақамӣ пешниҳод мекунад. Аммо муҳимтар аз ҳама, қабул суръат мегирад: беш аз 60% фармоишҳои хаткашҳои сафолии мо ҳоло аз соҳаҳое меоянд, ки қаблан чунин асбобҳоро "аз ҳад зиёд" меҳисобиданд - то он даме, ки онҳо фарқиятро чен накарданд.
Ширкати стартапи истеҳсоли дастгоҳҳои тиббӣ, ки имплантатҳои асабро истеҳсол мекунад, аз пӯлод ба хаткаши чоркунҷаи керамикӣ гузашт ва ҳосилнокии гузариши аввал 22% афзоиш ёфт. "Чоркунҷаи кӯҳна дар корпусҳои титанӣ камбудиҳои хурд гузошт", - гуфт менеҷери сифати онҳо. "Мо ҳатто то он даме, ки онро иваз кардем, инро пайхас накардем. Акнун ҳар як қисм аз санҷиши визуалӣ ва андозаӣ дар кӯшиши аввал мегузарад."
Пас, ҳангоми арзёбии навсозии навбатии метрологияи худ, аз худ бипурсед: Оё самти кунунии ман номуайяниро зиёд мекунад ё онро аз байн мебарад?
Агар раванди шумо дар лаби ошкоршавӣ кор кунад, ҷавоб метавонад дар сафолӣ бошад — на ҳамчун як чизи нав, балки ҳамчун як зарурат. Дар ZHHIMG, мо на танҳо асбобҳои сатри рости керамикӣ, сатри чоркунҷаи керамикӣ ё асбобҳои сатри рости керамикӣ истеҳсол мекунем. Мо эътимодро ба ҳар як микрон ворид мекунем.
Вақти нашр: 31 декабри соли 2025