Инқилоби дақиқ дар истеҳсоли нимноқилҳо: Вақте ки гранит ба технологияи микрон мувофиқат мекунад
1.1 Бозёфтҳои ғайричашмдошт дар материалшиносӣ
Тибқи гузориши Ассотсиатсияи Байналмилалии нимноқилҳои SEMI 2023, 63% фабҳои пешрафтаи ҷаҳон ба ҷои платформаҳои анъанавии металлӣ ба истифода аз пойгоҳҳои гранит шурӯъ кардаанд. Ин санги табиӣ, ки аз конденсатсияи магма дар қаъри Замин сарчашма мегирад, таърихи истеҳсоли нимноқилҳоро бо сабаби хосиятҳои физикии беназири худ аз нав менависад:
Бартарии инерсияи гармӣ: коэффисиенти васеъшавии гармии гранит 4,5 × 10⁻⁶/℃ танҳо 1/5 аз пӯлоди зангногир аст ва устувории андозагирии ± 0,001 мм дар кори муттасили мошини литография нигоҳ дошта мешавад.
Хусусиятҳои хомӯш кардани ларзиш: коэффисиенти фриксияи дохилӣ нисбат ба оҳани рехтагарӣ 15 маротиба зиёдтар аст, ки микро-ларзиши таҷҳизотро ба таври муассир азхуд мекунад
Табиати магнитизатсияи сифр: хатогии магнитиро дар андозагирии лазер комилан бартараф кунед
1.2 Сафари метаморфоз аз кон то фаб
Ба сифати мисол базаи истеҳсолии интеллектуалии ZHHIMG дар Шандонг, як порчаи гранити хом бояд гузарад:
Коркарди ултра дақиқ: маркази коркарди панҷ меҳвари пайванд барои 200 соат фрезери муттасил, ноҳамвории сатҳи то Ra0.008μm
Табобати пиршавии сунъӣ: 48 соат рафъи стресси табиӣ дар устохонаи доимии ҳарорат ва намӣ, ки устувории маҳсулотро 40% беҳтар мекунад
Дуюм, шаш мушкилоти дақиқи истеҳсоли нимноқилҳоро "ҳалли санг" ҳал кунед
2.1 Нақшаи коҳиш додани суръати тақсимоти вафли
Намоиши мисол: Пас аз он ки корхонаи рехтагарӣ дар Олмон платформаи гранити шинокунандаи гази моро қабул мекунад:
| Диаметри вафли | паст кардани суръати чип | такмил додани ҳамворӣ |
| 12 инч | 67% | ≤0,001мм |
| 18 инч | 82% | ≤0,0005мм |
2.2 Схемаи рахнашавии дақиқии ҳамворкунии литографӣ
Системаи ҷуброни ҳарорат: сенсори сафолии дарунсохт тағирёбандаи шаклро дар вақти воқеӣ назорат мекунад ва майли платформаро ба таври худкор танзим мекунад
Маълумоти ченшуда: дар зери тағирёбии 28 ℃ ± 5 ℃, дақиқии ҷойгиркунӣ камтар аз 0,12 мкм тағир меёбад
Вақти фиристодан: 24 март-2025