Дар соҳаҳои истеҳсоли дақиқ ва тадқиқоти илмӣ, ҳамвории платформаҳои дақиқи гранит нишондиҳандаи асосии таъмини дақиқии таҷҳизот мебошад. Дар зер муқаддимаи муфассал бо якчанд усулҳои асосии ошкор ва тартиби кори онҳо барои шумо оварда шудааст. .
I. Усули муайянкунии интерферометри лазерӣ
Интерферометри лазерӣ воситаи афзалиятнок барои муайян кардани ҳамворӣ бо дақиқии баланд мебошад. Интерферометри лазерии ZYGO GPI XP-ро мисол гиред, ҳалли он метавонад ба 0,1 нм мерасад. Ҳангоми гузаронидани муайянкунӣ, аввал манбаи нури интерферометрро бо платформа мувофиқ кунед ва сатҳи платформаро ба минтақаҳои шабакаи 50 мм × 50 мм тақсим кунед. Баъдан, маълумотҳои ҳошияи интерференсия нуқта ба нуқта ҷамъоварӣ карда шуданд ва маълумотҳо бо истифода аз полиномияи Зернике насб ва таҳлил карда шуданд, то хатогии ҳамворро ба даст оранд. Ин усул ба платформаҳои дақиқи баланд татбиқ мешавад ва метавонад хатогиҳои ҳамвории ≤0.5μm/m²-ро ошкор кунад. Он одатан дар ошкор кардани мошинҳои фотолитографӣ ва платформаҳои баландсифати мошини ченкунии се координата истифода мешавад. .
II. Усули массивҳои сатҳи электронӣ
Муайянкунии массиви сатҳҳои электронӣ барои кор осон ва самаранок аст. Сатҳи электронии TESA A2 (бо қарори 0.01μm/m) дар массиви 9×9 дар баробари самти меҳвари X/Y платформа интихоб ва ҷойгир карда шуд. Бо ба таври синхронӣ ҷамъоварӣ кардани маълумоти майли ҳар як сатҳ ва сипас бо истифода аз усули квадратии камтарин барои ҳисоб, арзиши ҳамворро дақиқ ба даст овардан мумкин аст. Ин усул метавонад ба таври муассир шароити конкавагӣ ва конвекситии маҳаллии платформаро муайян кунад. Масалан, тағирёбии 0,2 мкм дар доираи 50 мм низ метавонад муайян карда шавад, ки барои ошкоркунии зуд дар истеҳсоли омма мувофиқ аст. .
II. Усули оптикии кристаллҳои ҳамвор
Усули оптикии булӯри ҳамвор барои муайян кардани платформаҳои майдони хурд мувофиқ аст. Кристали ҳамвори оптикиро, ки бояд дар платформа санҷида шавад, сахт часпонед ва дар байни онҳо дар зери равшании манбаи нури монохроматӣ (масалан, лампаи натрий) ҳошияҳои интерференсиалӣ пайдошударо мушоҳида кунед. Агар рахҳо рахҳои рости параллел бошанд, ин ҳамвор будани хубро нишон медиҳад. Агар рахҳои каҷ пайдо шаванд, хатогии ҳамворро дар асоси дараҷаи каҷшавии рахҳо ҳисоб кунед. Ҳар як рахи каҷ фарқияти баландии 0,316 микронро ифода мекунад ва маълумоти ҳамворро тавассути табдилдиҳии оддӣ ба даст овардан мумкин аст. .
Чор. Усули санҷиши мошини ченкунии се координатӣ
Мошини ченкунии се координатӣ метавонад дар фазои сеченака ба андозагирии дақиқи баланд ноил шавад. Платформаи гранитро дар мизи кори мошини ченкунӣ ҷойгир кунед ва зондро барои яксон ҷамъоварӣ кардани маълумот аз нуқтаҳои ченкунии сершумор дар сатҳи платформа истифода баред. Системаи мошини ченкунӣ ин маълумотро коркард ва таҳлил мекунад, то гузориши ҳамвории платформаро тавлид кунад. Ин усул на танхо хамворро муайян карда метавонад, балки дар як вакт дигар параметрхои геометрии платформаро низ ба даст оварад ва барои ошкор намудани хаматарафаи платформахои калони гранит мувофик аст. .
Азхуд кардани ин усулҳои ошкор метавонад ба шумо дар дуруст арзёбӣ кардани ҳамвории платформаи дақиқи гранит кӯмак кунад ва барои кори устувори таҷҳизоти дақиқ кафолати боэътимод диҳад.
Вақти фиристодан: 29 май-2025