Дар соҳаи истеҳсоли баландсифат ва тадқиқоти илмии муосир, модули ҳаракати ултра дақиқи шинокунандаи ҳаво бо иҷрои аълои дақиқи худ як таҷҳизоти калидӣ барои амалиёти хуб ва андозагирӣ гардид. Пойгоҳи дақиқи гранит, ҳамчун ядрои дастгирӣ, ба муҳити корӣ талаботҳои қатъӣ дорад ва шароити мувофиқи муҳити зист барои таъмини кори устувор ва беҳтарин таъсири он асос мебошанд.
Якум, назорати ҳарорат: дақиқ "стабилизатор"
Гарчанде ки гранит бо устувории худ маълум аст, вай аз тағирёбии ҳарорат комилан эмин нест. Гарчанде ки коэффисиенти тавсеаи гармии он паст аст, одатан 5-7 ×10⁻⁶/℃, дар сенарияҳои назорати ҳаракати ултрадақиқ, тағироти нозуки ҳарорат то ҳол метавонад тағироти андозагириро ба вуҷуд орад ва ба дақиқии модул таъсир расонад. Дар цехи истеҳсоли чипҳои нимноқилӣ раванди литография дақиқии ҷойгиркунии данамиро талаб мекунад ва ҳарорати муҳити атроф 1 ° C тағир меёбад ва пойгоҳи гранит бо дарозии паҳлӯи 1 метр метавонад васеъшавӣ ё кашиши хаттии 5-7 микронро ба вуҷуд орад. Ин тағироти хурд тавассути модули ҳаракати ултра дақиқи шинокунандаи ҳаво интиқол дода мешавад, ки барои инҳироф кардани намунаи чипи литография ва хеле кам кардани ҳосил кофӣ аст. Аз ин рӯ, бо пойгоҳи дақиқи гранитии модули ҳавоии ултра-дақиқ муҷаҳҳаз шудааст, ҳарорати идеалии муҳити корӣ бояд дар 20 ° C ± 1 ° C, бо ёрии таҷҳизоти ҳарорати доимии дақиқ, аз қабили системаи кондитсионерии ҳарорати доимӣ ва намӣ, мониторинги доимӣ ва танзими ҳарорати муҳити зист, барои таъмин кардани тағирёбии ҳарорат дар диапазони хеле хурд дар як модул нигоҳ дошта шавад. амалиёти дақиқ баланд.
Дуюм, идоракунии намӣ: калиди муҳофизат аз намӣ "санг"
Намӣ омили дигари муҳимест, ки ба кори пойгоҳи гранити дақиқ таъсир мерасонад. Дар муҳити намии баланд, гранит ба осонӣ буғи обро ҷаббида мекунад, ки метавонад ба конденсатсия дар рӯи замин оварда расонад, ки на танҳо ба устувории пайвасти гранит ва модули ҳаракати ултра дақиқи шинокунандаи ҳаво таъсир мерасонад, балки метавонад эрозияи рӯизаминиро ба вуҷуд орад ва дурахшон ва дақиқро дар муддати тӯлонӣ коҳиш диҳад. Дар устохонаи суфтакунандаи линзаи оптикӣ, агар намӣ дар муддати тӯлонӣ аз 60% RH зиёд бошад, буғи обе, ки дар рӯи пойгоҳи гранит адсорб карда мешавад, ба ҳаракати слайдери шинокунандаи газ халал мерасонад, то дақиқии суфтакунии линзаҳо коҳиш ёбад ва сатҳи нуқсон пайдо шавад. Аз ин рӯ, намии нисбии муҳити корӣ бояд дар байни 40% -60% RH ба таври қатъӣ назорат карда шавад, ки онро дар вақти воқеӣ тавассути насб кардани намӣ, сенсорҳои намӣ ва дигар таҷҳизот назорат ва танзим кардан мумкин аст, то ба пойгоҳи гранит аз сабаби намии баланд осеб надиҳад ва кори мураттаби модули ҳаракати ултра дақиқи шинокунандаи ҳаворо таъмин кунад.
Сеюм, кафолати тозагӣ: «посбон»-и дақиқ
Зарари зарраҳои чангро ба пойгоҳи дақиқи гранитии модули ҳаракати ултрадақиқии флотатсияи ҳаво кам кардан мумкин нест. Вақте ки зарраҳои ночиз ба холигии плёнкаи гази байни слайдери шинокунандаи газ ва пойгоҳи гранит ворид мешаванд, онҳо метавонанд якрангии плёнкаи газро вайрон кунанд, соишро зиёд кунанд ва ҳатто сатҳи пойро харошад, ки дар натиҷа дақиқии ҳаракат кам мешавад. Дар цехи коркарди ультра дақиқи қисмҳои кайҳонӣ, агар зарраҳои чанг дар ҳаво ба пояи гранит афтанд, траекторияи ҳаракати асбоби коркарди мошин метавонад ба дурӣ афтад ва ба дақиқии коркарди қисмҳо таъсир расонад. Аз ин рӯ, майдони кор бояд хеле тоза нигоҳ дошта шавад, то ба 10 000 ё ҳатто баландтар аз меъёрҳои тозагӣ, тавассути насби таҷҳизоти тозакунандаи ҳаво, аз қабили филтрҳои ҳавои баландсифат (HEPA), филтр кардани зарраҳои ғубор дар ҳаво ва ҳамзамон кормандон бояд либосҳои тоза, либоси пойафзол ва ғайра пӯшанд, то ғубори одамонро коҳиш диҳад. Муҳити кори дақиқи баланди пойгоҳи гранитӣ ва модули ҳаракати ултра дақиқи шинокунандаи ҳаворо нигоҳ доред.
Чор, изолятсияи ларзиш: кори муътадили "подшокаи зарба"
Вибрацияи беруна душмани дақиқи модули ҳаракати ултра дақиқи шинокунандаи ҳаво мебошад. Гарчанде ки пойгоҳи дақиқи гранит дорои қобилияти муайяни сустшавии ларзиш аст, ларзиши қавӣ ҳанӯз ҳам маҳдудияти буферии худро шикаста метавонад. Вибрацияе, ки тавассути ҳаракати нақлиёт дар атрофи корхона ва кори таҷҳизоти бузурги механикӣ ба вуҷуд меояд, ба воситаи замин ба пойгоҳи гранит интиқол дода мешавад, ки ба дақиқии ҳаракати модули ҳаракати ултрадақиқи шинокунандаи ҳаво халал мерасонад. Дар CMM-и баланд, ларзиш метавонад боиси иртиботи байни зондҳои ченкунӣ ва порчаи корӣ чен карда шавад, ки ноустувор бошад ва дар натиҷа ба инҳироф шудани маълумоти андозагирӣ оварда расонад. Барои ҳалли ин мушкилот, бояд чораҳои муассири изолятсияи ларзиш, аз қабили гузоштани тахтаҳои изолятсияи ларзиш дар минтақаи насби таҷҳизот, бунёди таҳкурсии изолятсияи ларзиш ё истифодаи системаи фаъоли изолятсияи ларзиш барои фаъол кардани ҷуброни ларзиши беруна ва фароҳам овардани муҳити кории ором ва устувор барои пойгоҳи дақиқи гранит ва модули ҳавоии ултрапрезӣ.
Танҳо бо пурра қонеъ кардани талаботи экологии ҳарорат, намӣ, тозагӣ ва назорати ларзиш, пойгоҳи дақиқи гранитии модули ҳаракати ултра-дақиқи шинокунандаи ҳаво метавонад ба бартариҳои кори он пурра бозӣ кунад, кафолати боэътимод барои амалиёти ултрадақиқ дар соҳаҳои гуногун фароҳам оварад ва ба саноат дар пешрафт ба сатҳи баланди дақиқи истеҳсолот ва тадқиқоти илмӣ кӯмак расонад.
Вақти фиристодан: апрел-08-2025