Дар соҳаи истеҳсолоти олӣ ва таҳқиқоти илмии пешрафта, модули ҳаракати ултра-дақиқи шинокунандаи ҳавоӣ бо иҷрои аълои дақиқии худ ба як таҷҳизоти калидӣ барои амалиёти дақиқ ва андозагирӣ табдил ёфтааст. Пойгоҳи дақиқи гранитӣ, ҳамчун ядрои такягоҳ, талаботи қатъӣ ба муҳити корӣ дорад ва шароити мувофиқи муҳити зист асоси таъмини кори устувор ва таъсири беҳтарини он мебошад.
Аввалан, назорати ҳарорат: "стабилизатор"-и дақиқ
Гарчанде ки гранит бо устувории худ машҳур аст, он аз тағйироти ҳарорат комилан эмин нест. Гарчанде ки коэффитсиенти васеъшавии гармии он паст аст, одатан 5-7 × 10⁻⁶/℃, дар сенарияҳои назорати ҳаракати ултра-дақиқ, тағйирёбии нозуки ҳарорат метавонад тағйироти андозаро ба вуҷуд орад ва ба дақиқии модул таъсир расонад. Дар коргоҳи истеҳсоли чипҳои нимноқилӣ, раванди литография дақиқии ҷойгиркуниро дар сатҳи данами талаб мекунад ва ҳарорати муҳит 1°C тағйир меёбад ва пойгоҳи гранит бо дарозии паҳлӯи 1 метр метавонад васеъшавӣ ё ихтисоршавии хаттии 5-7 микронро ба вуҷуд орад. Ин тағироти хурд аз ҷониби модули ҳаракати ултра-дақиқии шинокунандаи ҳаво интиқол дода мешавад, ки барои инҳирофи намунаи литографияи чип ва коҳиши ҳосилнокӣ кофӣ аст. Аз ин рӯ, бо модули ҳаракати ултра-дақиқи шинокунандаи ҳавоӣ, ки бо пойгоҳи дақиқи гранитӣ муҷаҳҳаз шудааст, ҳарорати беҳтарини муҳити корӣ бояд дар 20°C ±1°C назорат карда шавад, ки ин бо ёрии таҷҳизоти ҳарорати доимии дақиқи баланд, ба монанди системаи кондитсионери ҳарорат ва намӣ, мониторинги доимӣ ва танзими ҳарорати муҳити атроф таъмин карда мешавад, то ки тағирёбии ҳарорат дар диапазони хеле хурд таъмин карда шавад, устувории андозаи пойгоҳ нигоҳ дошта шавад ва кори дақиқи модул таъмин карда шавад.
Дуюм, идоракунии намӣ: калиди "санги" муҳофизат аз намӣ
Намӣ омили муҳими дигаре аст, ки ба кори пойгоҳи гранитии дақиқ таъсир мерасонад. Дар муҳити намӣ баланд, гранит буғи обро ба осонӣ ҷаббида мегирад, ки метавонад ба конденсатсия дар сатҳ оварда расонад, ки на танҳо ба устувории пайвастшавии гранит ва модули ҳаракати ултра-дақиқии шинокунандаи ҳаво таъсир мерасонад, балки инчунин метавонад боиси эрозияи сатҳ гардад ва дар муддати тӯлонӣ дурахшонӣ ва дақиқиро коҳиш диҳад. Дар коргоҳи суфтакунии линзаҳои оптикӣ, агар намӣ муддати тӯлонӣ аз 60% RH баландтар бошад, буғи обе, ки дар сатҳи пойгоҳи гранит ҷаббида шудааст, ба ҳаракати слайдери шинокунандаи газ халал мерасонад, ки дар натиҷа дақиқии суфтакунии линза коҳиш меёбад ва сатҳ нуқсондор мешавад. Аз ин рӯ, намии нисбии муҳити корӣ бояд дар байни 40%-60% RH қатъиян назорат карда шавад, ки онро метавон дар вақти воқеӣ тавассути насб кардани намӣкунакҳо, сенсорҳои намӣ ва дигар таҷҳизот назорат ва танзим кард, то аз осеб дидани пойгоҳи гранит аз сабаби намӣ баланд пешгирӣ карда шавад ва кори ҳамвори модули ҳаракати ултра-дақиқии шинокунандаи ҳаворо таъмин намояд.
Сеюм, кафолати тозагӣ: "нигаҳбон"-и дақиқӣ
Зарари зарраҳои чанг ба пойгоҳи гранитии дақиқи модули ҳаракати ултра-дақиқии флотатсияи ҳаворо нодида гирифтан мумкин нест. Пас аз ворид шудани зарраҳои хурд ба фосилаи плёнкаи газ байни лағжандаи шинокунандаи газ ва пойгоҳи гранит, онҳо метавонанд якрангии плёнкаи газро вайрон кунанд, соишро афзоиш диҳанд ва ҳатто сатҳи пойгоҳро харошанд, ки дар натиҷа дақиқии ҳаракат коҳиш меёбад. Дар коргоҳи коркарди ултра-дақиқии қисмҳои аэрокосмӣ, агар зарраҳои чанг дар ҳаво ба пойгоҳи гранит афтанд, траекторияи ҳаракати асбоби коркард метавонад тағйир ёбад, ки ба дақиқии коркарди қисмҳо таъсир мерасонад. Аз ин рӯ, майдони корӣ бояд тозагии баланд нигоҳ дошта шавад ва ба 10,000 ё ҳатто баландтар аз сатҳи стандартҳои тозагӣ расад, тавассути насби таҷҳизоти тозакунии ҳаво, ба монанди филтрҳои ҳавои баландсифат (HEPA), зарраҳои чангро дар ҳаво филтр кунад ва дар айни замон кормандон бояд либоси бе чанг, рӯйпӯшҳои пойафзол ва ғайра пӯшанд, то чангеро, ки одамон меоранд, кам кунанд. Муҳити кории дақиқии баланди пойгоҳи гранит ва модули ҳаракати ултра-дақиқии шинокунандаи ҳаворо нигоҳ доред.
Чорум, изолятсияи ларзиш: кори ҳамвори "плитаи зарбазананда"
Лаблабуи беруна душмани дақиқии модули ҳаракати ултра-дақиқи шинокунандаи ҳавоӣ аст. Гарчанде ки пойгоҳи гранитии дақиқ қобилияти муайяни сустшавии ларзишро дорад, ларзиши баландқувват метавонад ҳадди буферии онро вайрон кунад. Лаблабуе, ки аз ҳаракати нақлиёт дар атрофи корхона ва кори таҷҳизоти калони механикӣ ба вуҷуд меояд, тавассути замин ба пойгоҳи гранитӣ интиқол дода мешавад, ки ба дақиқии ҳаракати модули ҳаракати ултра-дақиқи шинокунандаи ҳаво халал мерасонад. Дар CMM-и баландсифат, ларзиш метавонад боиси ноустувории тамос байни зонди ченкунӣ ва қисми коркарди ченшаванда гардад, ки боиси инҳирофи маълумоти ченкунӣ мегардад. Барои ҳалли ин мушкилот, андешидани чораҳои муассири изолятсияи ларзиш, ба монанди гузоштани болиштҳои изолятсияи ларзиш дар минтақаи насби таҷҳизот, сохтани таҳкурсии изолятсияи ларзиш ё истифодаи системаи фаъоли изолятсияи ларзиш барои фаъолона ҷуброн кардани ларзиши беруна ва эҷоди муҳити кории ором ва устувор барои пойгоҳи дақиқии гранитӣ ва модули ҳаракати ултра-дақиқи шинокунандаи ҳавоӣ зарур аст.
Танҳо бо риояи пурраи талаботи экологӣ аз қабили ҳарорат, намӣ, тозагӣ ва назорати ларзиш, пойгоҳи дақиқи гранитии модули ҳаракати ултра-дақиқи шинокунандаи ҳавоӣ метавонад бартариҳои кори онро пурра истифода барад, кафолати боэътимодро барои амалиёти ултра-дақиқ дар соҳаҳои гуногун таъмин намояд ва ба саноат дар пешрафт ба сатҳи дақиқи истеҳсолӣ ва тадқиқоти илмӣ кумак кунад.
Вақти нашр: 08 апрели соли 2025