.
Дар соҳаи истеҳсоли нимноқилҳо ҳамчун таҷҳизоти асосӣ, ки дақиқии раванди истеҳсоли чипҳоро муайян мекунад, устувории муҳити дохилии мошини фотолитография аҳамияти ҳаётан муҳим дорад. Аз барангехтани манбаи нури шадиди ултрабунафш то кори платформаи ҳаракати дақиқи наномикёс, дар ҳар як пайванд хурдтарин инҳироф шуда наметавонад. Асосхои гранитй, ки дорой як катор хосиятхои беназир доранд, дар таъмини кори муътадили машинахои фотолитография ва баланд бардоштани дакикии фотолитография афзалиятхои бемислу монанд нишон медиханд. .
Фаъолияти барҷастаи муҳофизати электромагнитӣ
Дохили мошини фотолитография бо мухити мураккаби электромагнитй пур карда шудааст. Дахолати электромагнитӣ (EMI), ки аз ҷониби ҷузъҳо ба монанди манбаъҳои нури ултрабунафш, муҳаррикҳои гардонанда ва манбаъҳои баландбасомади барқ тавлид мешаванд, агар ба таври муассир назорат карда нашаванд, ба кори ҷузъҳои электронии дақиқ ва системаҳои оптикии дохили таҷҳизот таъсири ҷиддӣ мерасонад. Масалан, интерференсия метавонад дар намунаҳои фотолитография инҳирофҳои ночиз ба вуҷуд орад. Дар равандҳои пешрафтаи истеҳсолӣ, ин кофӣ аст, ки ба пайвастҳои нодурусти транзистор дар чип оварда расонад ва ҳосили чипро ба таври назаррас коҳиш диҳад. .
Гранит маводи ғайриметаллӣ буда, худ аз худ қувваи барқро намегузаронад. Ягон падидаи индуксияи электромагнитӣ вуҷуд надорад, ки дар натиҷаи ҳаракати электронҳои озод дар дохили маводи металлӣ ба вуҷуд омадааст. Ин хусусият онро як мақоми табиии муҳофизаткунандаи электромагнитӣ месозад, ки метавонад роҳи интиқоли дахолати электромагнитии дохилиро ба таври муассир боздорад. Вақте ки майдони магнитии алтернативӣ, ки аз манбаи дахолати берунии электромагнитӣ тавлид мешавад, ба пойгоҳи гранит паҳн мешавад, зеро гранит ғайримагнитӣ аст ва магнитизатсия карда намешавад, ворид шудани майдони магнитии алтернативӣ душвор аст ва ба ин васила ҷузъҳои асосии мошини фотолитографияи дар пойгоҳ насбшуда, ба монанди сенсорҳои дақиқ ва дастгоҳҳои танзимкунандаи магнитӣ, линзаҳои электромагнитӣ ва линзаҳои оптикиро муҳофизат мекунад. дурустии интиқоли намуна дар ҷараёни фотолитография. .
Мутобиқати аълои вакуум
Азбаски нури шадиди ултрабунафш (EUV) аз ҷониби ҳама моддаҳо, аз ҷумла ҳаво, ба осонӣ ҷаббида мешавад, мошинҳои литографияи EUV бояд дар муҳити вакуумӣ кор кунанд. Дар ин лаҳза, мутобиқати ҷузъҳои таҷҳизот бо муҳити вакуумӣ махсусан муҳим мегардад. Дар вакуум, маводҳо метавонанд газро об кунанд, десорб кунанд ва озод кунанд. Гази озодшуда на танҳо нури EUV-ро ҷаббида, шиддат ва самаранокии интиқоли нурро коҳиш медиҳад, балки метавонад линзаҳои оптикиро ифлос кунад. Масалан, буғи об метавонад линзаро оксид кунад ва карбогидридҳо метавонанд қабатҳои карбонро дар линзаҳо ҷойгир кунанд, ки ба сифати литография таъсири ҷиддӣ мерасонанд. .
Гранит хосиятҳои устувори химиявӣ дорад ва дар муҳити вакуумӣ газро базӯр ҷудо мекунад. Мувофиқи озмоишҳои касбӣ, дар муҳити вакуумии мошини фотолитографияи моделиронӣ (масалан, муҳити вакууми ултра тоза, ки дар он системаи оптикии рӯшноӣ ва системаи оптикии тасвирӣ дар камераи асосӣ ҷойгиранд, ки H₂O < 10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ < 10⁻⁵ Паро талаб мекунанд), сатҳи пасти пасти сатҳи пасти фаръӣ аст. нисбат ба дигар масолех, ба монанди металлхо. Ин ба дохили мошини фотолитографӣ имкон медиҳад, ки дараҷаи баланди вакуумӣ ва тозагии дарозро нигоҳ дорад, гузариши баланди нури EUV ҳангоми интиқол ва муҳити ултра тозаи истифодаи линзаҳои оптикиро таъмин кунад, мӯҳлати хизмати системаи оптикиро дароз кунад ва кори умумии мошини фотолитографияро баланд бардорад. .
Муқовимати қавӣ ба ларзиш ва устувории гармӣ
Дар ҷараёни фотолитография, дақиқ дар сатҳи нанометр талаб мекунад, ки мошини фотолитография набояд хурдтарин ларзиш ё деформатсияи ҳароратӣ дошта бошад. Вибрацияи мухити зист, ки дар натичаи кори дигар тачхизот ва харакати кадрхо дар цех ба амал меояд, инчунин гармие, ки худи машинаи фотолитография хангоми кор хосил мекунад, хамаи ин ба дурустии фотолитография халал расонда метавонад. Гранит зичии баланд ва сохтори сахт дорад ва муқовимати аъло ба ларзиш дорад. Сохтори булӯри минералии дохилии он паймон аст, ки метавонад энергияи ларзишро ба таври муассир коҳиш диҳад ва паҳншавии ларзишро зуд пахш кунад. Маълумоти таҷрибавӣ нишон медиҳад, ки дар зери як манбаи ларзиш, пойгоҳи гранит метавонад амплитудаи ларзишро дар давоми 0,5 сония бештар аз 90% кам кунад. Дар муқоиса бо пойгоҳи металлӣ, он метавонад таҷҳизотро зудтар барқарор кунад, мавқеи нисбии дақиқи байни линзаи фотолитография ва вафлиро таъмин кунад ва аз норавшанӣ ё номутаносибии намуна, ки дар натиҷаи ларзиш ба вуҷуд омадааст, пешгирӣ кунад. .
Дар ҳамин ҳол, коэффисиенти васеъшавии гармии гранит хеле паст аст, тақрибан (4-8) ×10⁻⁶/℃, ки нисбат ба маводи металлӣ хеле пасттар аст. Ҳангоми кори мошини фотолитографӣ, ҳатто агар ҳарорати дохилӣ аз ҳисоби омилҳо ба монанди тавлиди гармӣ аз манбаи рӯшноӣ ва соиш аз ҷузъҳои механикӣ тағир ёбад, пойгоҳи гранит метавонад устувории андозагириро нигоҳ дорад ва аз сабаби васеъшавӣ ва кашиши гармӣ деформатсияи назаррасро аз сар нагузаронад. Он дастгирии устувор ва боэътимодро барои системаи оптикӣ ва платформаи ҳаракати дақиқ таъмин намуда, мувофиқати дақиқии фотолитографияро нигоҳ медорад.
Вақти фиристодан: 20 май-2025