Дар истеҳсоли нимноқилҳо мошини фотолитография як дастгоҳи асосиест, ки дақиқии микросхемаҳои чипҳоро муайян мекунад ва пойгоҳи гранитӣ бо хусусиятҳои сершумори худ ҷузъи ҷудонашавандаи мошини фотолитография шудааст.
Устувории гармӣ: "Сипар" бар зидди тағирёбии ҳарорат
Вакте ки машинаи фотолитография кор мекунад, вай микдори зиёди гармй хосил мекунад. Ҳатто тағирёбии ҳарорат танҳо 0,1 ℃ метавонад деформатсияи ҷузъҳои таҷҳизотро ба вуҷуд орад ва ба дақиқии фотолитография таъсир расонад. Коэффисиенти васеъшавии гармии гранит хеле паст аст, танҳо 4-8 × 10⁻⁶/℃, ки тақрибан 1/3 аз пӯлод ва 1/5 хӯлаи алюминийро ташкил медиҳад. Ин ба пойгоҳи гранит имкон медиҳад, ки ҳангоми муддати тӯлонӣ кор кардани мошини фотолитография ё ҳангоми тағирёбии ҳарорати муҳити зист устувории андозаро нигоҳ дошта, ҷойгиршавии дақиқи ҷузъҳои оптикӣ ва сохторҳои механикиро таъмин кунад.
Иҷрои супер зидди ларзиш: "исфанҷ", ки ларзишро бирӯяд
Дар заводи нимноқилҳо кори таҷҳизоти гирду атроф ва ҳаракати одамон ҳама метавонанд ларзишҳоро ба вуҷуд оранд. Гранит зичии баланд ва матоъҳои сахт дорад ва он дорои хосиятҳои аълои дампинг мебошад, ки таносуби дампинг нисбат ба металлҳо аз 2 то 5 маротиба зиёдтар аст. Вақте ки ларзишҳои беруна ба пойгоҳи гранит интиқол дода мешаванд, соиши байни кристаллҳои минералии дохилӣ энергияи ларзишро ба энергияи гармӣ барои парокандашавӣ табдил медиҳад, ки он метавонад ларзишро дар муддати кӯтоҳ ба таври назаррас коҳиш диҳад ва ба мошини фотолитография имкон медиҳад, ки суботро зуд барқарор кунад ва аз норавшанӣ ё номуайянии намунаи фотолитография дар натиҷаи ларзиш пешгирӣ кунад.
Устувории кимиёвӣ: "Гвардия" -и муҳити тоза
Даруни мошини фотолитографӣ бо воситаҳои гуногуни кимиёвӣ тамос мегирад ва маводи металлии оддӣ ба зангзанӣ ё баромадани зарраҳо майл доранд. Гранит аз минералҳо ба монанди кварц ва шпати даштӣ иборат аст. Он дорои хосиятҳои устувори химиявӣ ва муқовимат ба зангзании қавӣ. Пас аз дар маҳлулҳои кислота ва сілтӣ тар кардан, зангзании сатҳ хеле хурд аст. Дар ҳамин ҳол, сохтори зиччи он қариб ҳеҷ гуна хошок ё чангро ба вуҷуд намеорад, ки ба талаботи стандартҳои баландтарини ҳуҷраи тоза мувофиқат мекунад ва хатари олудашавии вафлиро коҳиш медиҳад.
Мутобиқсозии коркард: "Маводи беҳтарин" барои эҷоди нишондиҳандаҳои дақиқ
Қисмҳои асосии мошини фотолитография бояд дар рӯи истинодҳои дақиқи баланд насб карда шаванд. Сохтори дохилии гранит яксон аст ва онро тавассути суфтакунӣ, сайқал додан ва усулҳои дигар коркард кардан ба дақиқии бениҳоят баланд осон аст. Ҳамвории он метавонад ба ≤0.5μm/m расад ва ноҳамвории рӯи Ra ≤0.05μm буда, барои ҷузъҳо ба монанди линзаҳои оптикӣ заминаи дақиқи насбкунӣ фароҳам меорад.
Давомнокии дароз ва бе нигоҳдорӣ: "Асбобҳои тез" барои кам кардани хароҷот
Дар муқоиса бо маводи металлӣ, ки дар тӯли истифодаи дарозмуддат ба хастагӣ ва кафидан майл доранд, гранит дар зери бори муқаррарӣ ба деформатсияи пластикӣ ё шикаста дучор намешавад ва он коркарди рӯизаминиро талаб намекунад ва аз ин рӯ аз хатари пӯст ва ифлосшавӣ канорагирӣ мекунад. Дар барномаҳои амалӣ, пас аз солҳои зиёд истифода шудан, нишондиҳандаҳои асосии кори пойгоҳи гранитӣ то ҳол устувор боқӣ монда, хароҷоти истифода ва нигоҳдории таҷҳизотро кам мекунанд.
Аз устувории гармӣ, муқовимат ба ларзиш ба беэътибории кимиёвӣ, хусусиятҳои сершумори пойгоҳи гранит ба талаботи мошини фотолитография комилан мувофиқат мекунанд. Вақте ки раванди истеҳсоли чипҳо ба сӯи дақиқтар инкишоф меёбад, пойгоҳҳои гранитӣ дар соҳаи истеҳсоли нимноқилҳо нақши ивазнашавандаро идома медиҳанд.
Вақти фиристодан: 20 май-2025