Дар истеҳсоли нимноқилҳо, мошини фотолитография дастгоҳи калидӣ аст, ки дақиқии чипҳоро муайян мекунад ва пойгоҳи гранитӣ бо хусусиятҳои сершумори худ ба ҷузъи ҷудонашавандаи мошини фотолитография табдил ёфтааст.
Устувории гармӣ: "Сипар" аз тағирёбии ҳарорат
Ҳангоми кор кардани дастгоҳи фотолитография, он миқдори зиёди гармӣ ба вуҷуд меорад. Ҳатто тағйирёбии ҳарорат дар танҳо 0,1℃ метавонад боиси деформатсияи ҷузъҳои таҷҳизот гардад ва ба дақиқии фотолитография таъсир расонад. Коэффисиенти васеъшавии гармии гранит хеле паст аст, танҳо 4-8 × 10⁻⁶/℃, ки тақрибан 1/3 пӯлод ва 1/5 пӯлод хӯлаи алюминий аст. Ин ба пойгоҳи гранит имкон медиҳад, ки ҳангоми кори тӯлонии дастгоҳи фотолитография ё ҳангоми тағирёбии ҳарорати муҳити зист устувории андозаро нигоҳ дорад ва ҷойгиршавии дақиқи ҷузъҳои оптикӣ ва сохторҳои механикиро таъмин мекунад.
Самаранокии аълои зидди ларзиш: "Исфанҷе", ки ларзишро фурӯ мебарад
Дар корхонаи нимноқилҳо, кори таҷҳизоти атроф ва ҳаракати одамон метавонад ларзишҳоро ба вуҷуд орад. Гранит зичии баланд ва сохтори сахт дорад ва дорои хосиятҳои аълои демпферӣ мебошад, ки нисбати демпферӣ аз 2 то 5 маротиба нисбат ба металлҳо зиёдтар аст. Вақте ки ларзишҳои беруна ба пойгоҳи гранит интиқол дода мешаванд, соиш байни кристаллҳои минералии дохилӣ энергияи ларзишро ба энергияи гармӣ барои парокандашавӣ табдил медиҳад, ки метавонад ларзишро дар муддати кӯтоҳ ба таври назаррас коҳиш диҳад ва ба мошини фотолитография имкон медиҳад, ки зуд устувориро барқарор кунад ва аз норавшанӣ ё нодуруст ҷойгир шудани намунаи фотолитография аз сабаби ларзиш пешгирӣ кунад.
Устувории кимиёвӣ: "Посбон"-и муҳити тоза
Қисми дохилии дастгоҳи фотолитография бо муҳитҳои гуногуни кимиёвӣ тамос мегирад ва маводҳои оддии металлӣ ба зангзанӣ ё ҷудошавии зарраҳо моил мебошанд. Гранит аз минералҳо ба монанди кварц ва шпати далаӣ иборат аст. Он дорои хосиятҳои устувори кимиёвӣ ва муқовимати қавии зангзанӣ мебошад. Пас аз тар кардан дар маҳлулҳои кислота ва ишқорӣ, зангзании сатҳӣ хеле кам аст. Дар айни замон, сохтори зичи он қариб ҳеҷ гуна партов ё чангро ба вуҷуд намеорад, ки ба талаботи баландтарин стандартҳои утоқи тоза ҷавобгӯ буда, хатари ифлосшавии вафлро кам мекунад.
Мутобиқшавии коркард: "Маводи беҳтарин" барои эҷоди меъёрҳои дақиқ
Қисмҳои асосии дастгоҳи фотолитография бояд дар сатҳи истинодии дақиқи баланд насб карда шаванд. Сохтори дохилии гранит якхела аст ва онро тавассути суфтакунӣ, сайқалдиҳӣ ва дигар усулҳо бо дақиқии хеле баланд коркард кардан осон аст. Ҳамвории он метавонад ба ≤0.5μm/m расад ва ноҳамвории сатҳи Ra ≤0.05μm аст, ки асоси насби дақиқро барои ҷузъҳо ба монанди линзаҳои оптикӣ фароҳам меорад.
Мӯҳлати хизмати дароз ва бе нигоҳдорӣ: "Асбобҳои тез" барои кам кардани хароҷот
Дар муқоиса бо маводҳои металлӣ, ки дар истифодаи дарозмуддат ба хастагӣ ва кафидан моиланд, гранит дар зери бори муқаррарӣ ба деформатсияи пластикӣ ё шикастагӣ дучор намешавад ва ба коркарди рӯизаминӣ ниёз надорад, ки аз хатари пӯстканӣ ва ифлосшавии рӯйпӯш пешгирӣ мекунад. Дар татбиқи амалӣ, пас аз солҳои зиёд истифода, нишондиҳандаҳои калидии кори пойгоҳи гранит метавонанд устувор боқӣ монанд ва хароҷоти истифода ва нигоҳдории таҷҳизотро кам кунанд.
Аз устувории гармӣ, муқовимати ларзиш то инертии кимиёвӣ, хусусиятҳои сершумори пойгоҳи гранитӣ ба талаботи дастгоҳи фотолитография комилан ҷавобгӯ мебошанд. Бо рушди раванди истеҳсоли чипҳо ба самти дақиқии баландтар, пойгоҳҳои гранитӣ дар соҳаи истеҳсоли нимноқилҳо нақши ивазнашаванда хоҳанд дошт.
Вақти нашр: 20 майи соли 2025