Дар коргоҳи истеҳсоли нимноқилҳо талаботи раванди истеҳсоли чипҳо барои шароити муҳити зист ва дақиқии таҷҳизот шадид аст ва ҳама гуна инҳирофоти ночиз метавонад боиси коҳиши назарраси ҳосили чип гардад. Платформаи ҳаракати дақиқи gantry XYZT ба ҷузъҳои гранит такя мекунад, то бо дигар қисмҳои платформа ҳамкорӣ кунад, то заминаи мустаҳкам барои ноил шудан ба дақиқии наномикёсро бунёд кунад.
Хусусиятҳои аълои бастани ларзиш
Дар цехи истехсоли нимнокилхо кори тачхизоти периферй ва дар гирду атроф сайру гашти кадрхо боиси ларзиш мегардад. Сохтори дохилии ҷузъҳои гранит зич ва якхела буда, дорои хусусиятҳои табиии пасткунандаи баланд, ба монанди "монеъаи" ларзиши муассир аст. Вақте ки ларзиши беруна ба платформаи XYZT интиқол дода мешавад, ҷузъи гранит метавонад беш аз 80% энергияи ларзишро самаранок коҳиш диҳад ва дахолати ларзишро дар дақиқии ҳаракати платформа коҳиш диҳад. Дар баробари ин, платформа бо системаи роҳнамоии шинокунандаи ҳавои дақиқ муҷаҳҳаз аст, ки дар якҷоягӣ бо ҷузъҳои гранит кор мекунад. Роҳнамои шинокунандаи ҳаво филми устувори гази аз гази фишори баланд ба вуҷуд омадаро истифода мебарад, то ҳаракати суспензияи бе тамоси қисмҳои ҳаракаткунандаи платформаро амалӣ кунад ва ларзиши хурдро, ки аз соиши механикӣ ба вуҷуд омадааст, коҳиш медиҳад. Якҷоя, ҳарду кафолат медиҳанд, ки дақиқии ҷойгиршавии платформа ҳамеша дар сатҳи нанометр дар равандҳои асосӣ, ба монанди литографияи чип ва тайфӣ нигоҳ дошта мешавад ва аз инҳирофоти схемаҳои схемаи чип, ки аз ларзиш ба вуҷуд омадаанд, пешгирӣ мекунанд.
Устувории гармии аъло
Тагьирёбии харорат ва намии цех ба дурустии тачхизоти чиптайёркунй таъсири калон мерасонад. Коэффисиенти васеъшавии гармии гранит хеле паст аст, одатан дар 5-7 × 10⁻⁶/℃, андоза ҳангоми тағирёбии ҳарорат қариб бетағйир мемонад. Ҳатто агар фарқияти ҳарорат байни шабу рӯз дар устохона ё истеҳсоли гармии таҷҳизот боиси тағйирёбии ҳарорати муҳити зист гардад, ҷузъҳои гранит метавонанд устувор бошанд, то деформатсияи платформаро аз сабаби васеъшавӣ ва кашиши гармӣ пешгирӣ кунанд. Ҳамзамон, системаи интеллектуалии назорати ҳарорат, ки бо платформа муҷаҳҳаз шудааст, ҳарорати муҳити атрофро дар вақти воқеӣ назорат мекунад, кондитсионер ва таҷҳизоти паҳнкунии гармиро ба таври худкор танзим мекунад ва ҳарорати коргоҳро дар 20 ° C ± 1 ° C нигоҳ медорад. Дар якҷоягӣ бо бартариҳои устувории гармии гранит, боварӣ ҳосил кунед, ки платформа дар кори дарозмуддат, ҳаракат ҳамеша ба дақиқии стандарти ҳар як микросхематор мувофиқат мекунад. то боварӣ ҳосил кунед, ки андозаи намунаи литографияи чип дақиқ аст, умқи etching яксон аст.
Эҳтиёҷоти муҳити тозаро қонеъ кунед
Цехи истехсоли нимнокилхо бояд дарачаи баланди тозагиро нигох дорад, то ки заррахои чанг чипро олуда накунанд. Маводи гранит худаш чангро ба вучуд намеоварад ва сатхи он хамвор аст, чангро ба осонй кабул намекунад. Платформа дар маҷмӯъ тарҳи сохтори пурра пӯшида ё нимпўшидаро барои кам кардани воридшавии чанги беруна қабул мекунад. Системаи гардиши дохилии ҳаво бо системаи кондитсионерии тозаи устохона пайваст карда мешавад, то тозагии ҳавои дохилӣ ба сатҳи зарурии истеҳсоли чипҳо расад. Дар ин муҳити тоза, ҷузъҳои гранитӣ аз эрозияи чанг ба кор таъсир намерасонанд ва ҷузъҳои калидӣ, ба монанди сенсорҳои дақиқ ва муҳаррикҳои платформа низ метавонанд мӯътадил кор карда, кафолати пайваста ва боэътимоди дақиқии наномикёсро барои истеҳсоли чип таъмин кунанд ва ба саноати нимноқилҳо барои гузаштан ба сатҳи баландтари равандҳо кӯмак расонанд.
Вақти фиристодан: апрел-14-2025