Дар соҳаи санҷиши вафли нимноқилҳо, тозагии муҳити тозакунӣ бевосита ба ҳосили маҳсулот вобаста аст. Бо такмил додани дақиқии равандҳои истеҳсоли чипҳо, талабот ба платформаҳои интиқоли таҷҳизоти ошкоркунӣ торафт сахттар мешавад. Платформаҳои гранитӣ бо хусусиятҳои ифлосшавии ионҳои металлии сифрӣ ва ифлосшавии зарраҳои кам, аз маводҳои анъанавии аз пӯлоди зангногир гузаштанд ва барои таҷҳизоти санҷиши вафли ҳалли афзалиятнок табдил ёфтанд.
Гранит як ҷинсҳои табиии магмавӣ аст, ки асосан аз маъданҳои ғайриметаллӣ ба монанди кварц, шпати саҳроӣ ва слюда иборат аст. Ин хосият ба он бартарии ифлосшавии ионҳои металлиро медиҳад. Баръакс, пӯлоди зангногир, ҳамчун хӯлаи металлҳо ба монанди оҳан, хром ва никел, ба сабаби эрозияи буғи об ва газҳои кислотаӣ ё сілтӣ дар муҳити тоза дар сатҳи худ ба зангзании электрохимиявӣ моил аст, ки дар натиҷа ионҳои металлӣ ба монанди Fe²⁺ ва Cr³⁺ боришот мешавад. Пас аз он ки ин ионҳои ночиз ба сатҳи пластинка пайваст мешаванд, онҳо хосиятҳои электрикии маводи нимноқилро дар равандҳои минбаъда ба монанди фотолитография ва тайра тағир медиҳанд, боиси тағирёбии шиддати остонаи транзистор мешаванд ва ҳатто ба ноқилҳои кӯтоҳ дар занҷир оварда мерасонанд. Маълумоти санҷиши муассисаи касбӣ нишон медиҳад, ки пас аз он ки платформаи гранитӣ пайваста ба ҳарорати ҳавои тозаи хонагӣ ва муҳити намӣ (23 ± 0.5 ℃, 45% ± 5% RH) дар тӯли 1000 соат дучор мешуд, барориши ионҳои металлӣ аз ҳадди ошкор камтар буд (< 0.1ppb). Сатҳи нуқсони вафлиҳо, ки дар натиҷаи олудашавии ионҳои металлӣ ҳангоми истифодаи платформаҳои аз пӯлоди зангногир ба вуҷуд омадааст, метавонад аз 15% то 20% баланд бошад.
Дар робита ба назорати ифлосшавии зарраҳо, платформаҳои гранитӣ низ хеле хуб кор мекунанд. Хонаҳои тозакунӣ барои консентратсияи зарраҳои овезон дар ҳаво талаботи бениҳоят баланд доранд. Масалан, дар ҳуҷраҳои тозаи ISO Синфи 1, шумораи зарраҳои 0,1 мкм иҷозатдодашуда дар як метри мукааб аз 10 зиёд нест. Ҳатто агар платформаи аз пӯлоди зангногир аз коркарди сайқалдиҳӣ гузашта бошад ҳам, он метавонад ба ҳар ҳол аз таъсири қувваҳои беруна, аз қабили ларзиши таҷҳизот ва кори кормандон, партовҳои металлӣ ё пӯхта шудани миқёси оксидиро ба вуҷуд оварад, ки метавонад ба роҳи оптикии сатҳи васл халал расонад. Платформаҳои гранитӣ бо сохтори зичи минералии худ (зичии ≥2,7 г/см³) ва сахтии баланд (аз рӯи ҷадвали Мох 6-7), ҳангоми истифодаи дарозмуддат ба фарсудашавӣ ё шикастан майл надоранд. Андозаҳои ченшуда нишон медиҳанд, ки онҳо метавонанд консентратсияи зарраҳои овезонро дар ҳавои минтақаи таҷҳизоти муайянкунандаро дар муқоиса бо платформаҳои аз пӯлоди зангногир бештар аз 40% кам кунанд ва стандартҳои дараҷаи тозаро самаранок нигоҳ доранд.
Илова ба хусусиятҳои тозаи он, иҷрои ҳамаҷонибаи платформаҳои гранитӣ низ аз пӯлоди зангногир хеле зиёдтар аст. Дар робита ба устувории гармӣ, коэффисиенти тавсеаи гармии он танҳо (4-8) ×10⁻⁶/℃ аст, камтар аз нисфи пӯлоди зангногир (тақрибан 17×10⁻⁶/℃), ки метавонад дурустии мавқеъгирии таҷҳизоти ошкоркуниро ҳангоми тағирёбии ҳарорат дар ҳуҷраи тоза беҳтар нигоҳ дорад. Хусусияти баланди демпферӣ (таносуби демпинг > 0,05) метавонад ларзиши таҷҳизотро зуд суст кунад ва аз ларзиши зонди муайянкунанда пешгирӣ кунад. Муқовимат ба зангзании табиии он ба он имкон медиҳад, ки ҳатто ҳангоми дучор шудан ба ҳалкунандаҳои фоторезистӣ, газҳои эҳёгарӣ ва дигар моддаҳои кимиёвӣ бидуни ниёз ба муҳофизати иловагии рӯйпӯш устувор боқӣ монад.
Дар айни замон, платформаҳои гранитӣ дар корхонаҳои пешрафтаи истеҳсоли вафель васеъ истифода мешаванд. Маълумот нишон медиҳад, ки пас аз қабули платформаи гранит, сатҳи нодурусти муайянкунии зарраҳои рӯи вафли 60% коҳиш ёфтааст, давраи калибркунии таҷҳизот се маротиба дароз карда шудааст ва арзиши умумии истеҳсолот 25% коҳиш ёфтааст. Вақте ки саноати нимноқилҳо ба сӯи дақиқии баландтар ҳаракат мекунад, платформаҳои гранитӣ бо бартариҳои асосии худ, ба монанди ифлосшавии ионҳои металлӣ ва ифлосшавии зарраҳои кам, дастгирии устувор ва боэътимодро барои санҷиши пластинка идома дода, ба як қувваи муҳими пешбарии пешрафт табдил меёбанд.
Вақти фиристодан: 20 май-2025