Дар соҳаи истеҳсоли нимноқилҳо ҳама чиз дақиқ аст. Азбаски технологияи истеҳсоли чипҳо то сатҳи нанометр ва ҳатто сатҳи нанометр пешрафт мекунад, ҳар як хатогии ночиз метавонад боиси паст шудани кори чип ё ҳатто нокомии пурра гардад. Дар ин рақобат барои дақиқии ниҳоӣ, лавозимоти дақиқи гранит бо хосиятҳои беназири физикӣ ва механикии худ як унсури калидӣ дар таъмини дақиқии наномикёси истеҳсоли чипҳо гардиданд.
Устувории барҷаста барои дақиқӣ замина мегузорад
Муҳити цехи истеҳсоли нимноқилҳо мураккаб буда, омилҳои беруна ба монанди ларзиш ва тағирёбии ҳарорат ба дақиқии истеҳсолот пайваста таҳдид мекунанд. Лавозимотҳои дақиқи гранит устувории бениҳоят баланд доранд ва барои истеҳсоли чипҳо заминаи мустаҳкам фароҳам меоранд. Сохтори дохилии он зич ва якхела буда, дар давоми садхо миллион сол дар натичаи процессхои геологи ба вучуд омада, хусусияти табиии баланди намноккуниро дорад. Вақте ки ларзишҳои беруна ба таҷҳизоти истеҳсолӣ интиқол дода мешаванд, қисмҳои дақиқи гранит метавонанд беш аз 80% энергияи ларзишро ба таври муассир бирӯянд ва суст кунанд, ки таъсири ларзишро ба таҷҳизоти дақиқ ба таври назаррас коҳиш медиҳад.
Ин хусусият махсусан дар раванди фотолитография муҳим аст. Фотолитография як қадами муҳим дар интиқоли намунаҳои тарроҳии микросхемаҳои ба пластинкаҳои кремний мебошад, ки барои нигоҳ доштани устувории бениҳоят баланд мизи кори мошини фотолитографияро талаб мекунад. Дастгоҳи дақиқи гранит метавонад дахолати ларзишро аз ошёнаи устохона ва дигар таҷҳизот ҷудо кунад ва кафолат диҳад, ки хатогии мавқеи нисбии байни пласти кремний ва ниқоби фотолитография дар сатҳи нанометр дар ҷараёни экспозицияи мошини фотолитография назорат карда шавад ва ба ин васила интиқоли дақиқи намунаро кафолат диҳад.
Илова бар ин, коэффисиенти васеъшавии гармии гранит хеле паст аст, одатан аз 5 то 7 × 10⁻⁶/℃ аст. Дар ҷараёни истеҳсоли нимноқилҳо гармие, ки дар натиҷаи кори таҷҳизот тавлид мешавад ва тағирёбии ҳарорати муҳити коргоҳ ҳам метавонад боиси деформатсияи гармии мавод гардад. Лавозимотҳои дақиқи гранит аз тағирёбии ҳарорат қариб бетаъсир нестанд ва ҳамеша метавонанд андозаҳо ва шаклҳои устуворро нигоҳ доранд. Масалан, ҳангоми коркарди чип, ҳатто каме тағирёбии ҳарорат метавонад боиси тавсеаи гармии ҷузъҳои асосии таҷҳизоти кандакорӣ гардад, ки дар умқ ва дақиқии сӯзишворӣ ба каҷравӣ оварда мерасонад. Бо вуҷуди ин, истифодаи лавозимоти дақиқи гранит ҳамчун ҷузъҳои дастгирӣ ва борбардор метавонад ба таври муассир аз ин вазъият пешгирӣ кунад ва дақиқии баланд ва пайдарпайии раванди etchingро таъмин кунад.
Афзалиятҳои коркарди дақиқи баланд ва сифати рӯизаминӣ
Технологияи коркарди дақиқи баланди қисмҳои дақиқи гранит низ омили муҳими таъмини дақиқии истеҳсоли микросхемаҳо мебошад. Тавассути технологияи пешрафтаи коркарди ултра дақиқ, ҳамворӣ, ростӣ ва дигар нишондиҳандаҳои дақиқи лавозимоти гранит метавонанд ба сатҳи бениҳоят баланд расанд. Масалан, бо истифода аз усулҳои суфтакунӣ ва сайқалдиҳии CNC, ноҳамвории сатҳи гранитро метавон ба сатҳи нанометр кам кард ва ин ба анҷоми сатҳи рӯи он таъсири оина монанд мекунад.
Дар таҷҳизоти истеҳсоли чипҳо, сифати баланди сатҳи дақиқи ҷузъҳо ба монанди релсҳои дастури дақиқи гранитӣ ва слайдерҳо метавонанд сурхшавӣ ва фарсудашавии байни қисмҳои ҳаракаткунандаро ба таври назаррас коҳиш диҳанд. Ин на танхо устуворй ва дурустии харакати тачхизотро баланд мебардорад, балки мухлати хизмати тачхизотро дароз мекунад. Таҷҳизоти бастабандии чипҳоро мисол гиред. Рельсҳои дақиқи роҳнамои гранитӣ метавонанд кафолат диҳанд, ки хатогии траекторияи ҳаракати сари бастабандӣ ҳангоми гирифтан ва ҷойгир кардани чип дар сатҳи микрометр ё ҳатто нанометр назорат карда мешавад ва ба ин васила ба ҳамбастагии дақиқ ва пайвасти боэътимоди байни чип ва субстрати бастабандӣ ноил мешавад.
Бар зидди фарсудашавӣ ва устувории дарозмуддат
Истеҳсоли нимноқилҳо раванди муттасил ва дарозмуддати истеҳсолӣ буда, таҷҳизот бояд муддати тӯлонӣ устувор кор кунад. Гранит дорои муқовимати аълои фарсудашавӣ буда, сахтии Моҳ аз 6 то 7 мебошад, ки қодир ба ҳаракатҳои механикии дарозмуддат ва борҳо тоб оварда метавонад. Дар кори ҳаррӯзаи таҷҳизоти истеҳсоли чип, қисмҳои дақиқи гранит ба фарсудашавӣ ва фарсудашавӣ майл надоранд ва ҳамеша метавонанд кор ва дақиқии устуворро нигоҳ доранд.
Дар муқоиса бо дигар маводҳо, гранит ҳангоми истифодаи дарозмуддат деформатсияи хастагӣ ё таназзули фаъолиятро эҳсос намекунад. Ин маънои онро дорад, ки таҷҳизоти истеҳсоли чипҳо бо истифода аз ҷузъҳои дақиқи гранит метавонад то ҳол пас аз кори дарозмуддат дақиқ ва устувории баландро нигоҳ дошта, сатҳи нуқсони маҳсулотро, ки дар натиҷаи коҳиши дақиқии таҷҳизот ба вуҷуд омадааст, коҳиш диҳад. Барои истеҳсолкунандагони нимноқилҳо ин на танҳо самаранокии истеҳсолотро баланд мебардорад, балки хароҷоти истеҳсолиро кам мекунад.
Хулоса
Дар роҳи пайгирӣ кардани дақиқии наномикёс дар истеҳсоли нимноқилҳо қисмҳои дақиқи гранит бо устувории барҷастаи худ, коркарди дақиқи баланд ва эътимоднокии дарозмуддат нақши ивазнашаванда доранд. Лавозимотҳои дақиқи гранитӣ аз фотолитография то қимор, аз бастабандии чипҳо то озмоиш, аз ҳар як пайванди калидии истеҳсоли чип гузашта, барои истеҳсоли дақиқи баланди чипҳо кафолати устувор медиҳанд. Бо рушди муттасили технологияи нимноқилҳо, талабот ба дақиқӣ торафт баландтар мешавад. Қисмҳои дақиқи гранит низ дар ин соҳа нақши муҳим бозида, ба саноати нимноқилҳо барои пайваста ба қуллаҳои нав кӯмак мерасонанд. Новобаста аз он ки ҳоло ё дар оянда, қисмҳои дақиқи гранит ҳамеша қувваи асосӣ хоҳанд буд, ки дақиқии сатҳи нанометрро дар истеҳсоли нимноқилҳо таъмин мекунанд.
Вақти фиристодан: 07-07-2025