Дар чунин соҳаҳо ба монанди истеҳсоли нимноқилҳо ва асбобҳои дақиқи ченкунӣ, дақиқии платформаҳои дақиқи гранит сифати кори таҷҳизотро мустақиман муайян мекунад. Барои он ки дурустии платформа ба стандартҳо мувофиқат кунад, бояд аз ду ҷиҳат кӯшиш ба харҷ дод: ошкор кардани нишондиҳандаҳои асосӣ ва мувофиқат ба меъёрҳои стандартӣ. .
Муайян кардани нишондиҳандаи асосӣ: Назорати бисёрченакаи дақиқ
Муайян кардани ҳамворӣ: Муайян кардани "ҳамворӣ" -и ҳавопаймои истинод
Ҳамворӣ нишондиҳандаи асосии платформаҳои дақиқи гранит мебошад ва он одатан тавассути интерферометрҳои лазерӣ ё сатҳҳои электронӣ чен карда мешавад. Интерферометри лазерӣ метавонад мавҷҳои дақиқаҳоро дар сатҳи платформа тавассути паҳн кардани нури лазерӣ ва бо истифода аз принсипи дахолати рӯшноӣ бо дақиқии ба сатҳи субмикронӣ чен кунад. Сатҳи электронӣ якчанд маротиба ҳаракат карда, харитаи контурии сеченакаи сатҳи платформаро кашида, муайян мекунад, ки оё ягон баромади маҳаллӣ ё депрессия вуҷуд дорад. Масалан, платформаҳои гранитӣ, ки дар мошинҳои фотолитографияи нимноқилӣ истифода мешаванд, бояд ҳамвории ± 0,5μm / м дошта бошанд, яъне фарқияти баландӣ дар дарозии 1 метр набояд аз ним микрометр зиёд бошад. Танҳо тавассути таҷҳизоти дақиқи баландсифат метавонад ин стандарти қатъиро таъмин кард. .
2. Муайян кардани ростӣ: "ростӣ" -и ҳаракати хатиро таъмин кунед
Барои платформаҳое, ки қисмҳои дақиқи ҳаракаткунанда доранд, ростӣ аҳамияти ҳаётан муҳим дорад. Усулҳои маъмули ошкоркунӣ усули сим ё коллиматори лазерӣ мебошанд. Усули сим боздоштани симҳои пӯлоди дақиқ ва муқоисаи фосилаи байни сатҳи платформа ва симҳои пӯлодро барои муайян кардани ростӣ дар бар мегирад. Коллиматори лазерӣ хусусиятҳои паҳншавии хатии лазерро барои муайян кардани хатои хаттии сатҳи насби реле роҳнамои платформа истифода мебарад. Агар ростӣ ба стандарт мувофиқат накунад, он боиси тағирёбии таҷҳизот мегардад, ки ба коркард ё дурустии андозагирӣ таъсир мерасонад. .
3. Муайян кардани ноҳамвории рӯи замин: “Назиқӣ”-и тамосро таъмин кунед
Ноҳамвор будани сатҳи платформа ба мувофиқати насби ҷузъҳо таъсир мерасонад. Умуман, барои муайян кардани ноҳамвории стилус ё микроскопи оптикӣ истифода мешавад. Асбоби навъи стилус тағироти баландии профили микроскопиро тавассути тамос ба сатҳи платформа бо зондҳои хуб сабт мекунад. Микроскопҳои оптикӣ метавонанд бевосита матни сатҳро мушоҳида кунанд. Дар барномаҳои дақиқи баланд, ноҳамвории сатҳи платформаҳои гранитӣ бояд дар Ra≤0.05μm назорат карда шавад, ки ин ба эффекти оина монанд аст ва кафолат медиҳад, ки ҷузъҳои дақиқ ҳангоми насб зич ҷойгир шаванд ва аз ларзиш ё ҷобаҷошавӣ дар натиҷаи холигоҳҳо канорагирӣ кунанд. .
Стандартҳои дақиқ инҳоянд: меъёрҳои байналмилалӣ ва назорати дохилии корхона
Дар айни замон, дар сатҳи байналмилалӣ стандартҳои ISO 25178 ва GB/T 24632 маъмулан ҳамчун асос барои муайян кардани саҳеҳии платформаҳои гранитӣ истифода мешаванд ва барои нишондодҳо ба монанди ҳамворӣ ва ростӣ таснифоти возеҳ мавҷуданд. Илова бар ин, корхонаҳои истеҳсолии баландсифат аксар вақт стандартҳои сахттари назорати дохилиро муқаррар мекунанд. Масалан, талаботи ҳамворӣ барои платформаи гранитии мошини фотолитография нисбат ба стандарти байналмилалӣ 30% баландтар аст. Ҳангоми гузаронидани санҷишҳо маълумотҳои ченшуда бояд бо стандартҳои мувофиқ муқоиса карда шаванд. Танҳо платформаҳое, ки ба стандартҳо комилан мувофиқанд, метавонанд кори устуворро дар таҷҳизоти дақиқ таъмин кунанд. .
Санҷиши дақиқии платформаҳои дақиқи гранит як лоиҳаи систематикӣ мебошад. Танҳо тавассути ба таври қатъӣ санҷидани нишондиҳандаҳои асосӣ, аз қабили ҳамворӣ, ростӣ ва ноҳамвории рӯи замин ва риояи стандартҳои байналмилалӣ ва корхона, метавон дақиқии баланд ва эътимоднокии платформаро кафолат дода, барои соҳаҳои истеҳсолии баландсифат, аз қабили нимноқилҳо ва асбобҳои дақиқ заминаи мустаҳкам гузошт.
Вақти фиристодан: 21 май-2025