Платформаҳои дақиқи гранитӣ, бо сахтии баланд, коэффисиенти пасти васеъшавӣ, иҷрои аълои демпинг ва хосиятҳои табиии зидди магнитӣ, арзиши татбиқшавандаро дар соҳаҳои баландсифати истеҳсолӣ ва тадқиқоти илмӣ доранд, ки дар он ҷо дақиқ ва устуворӣ талаб карда мешавад. Инҳо сенарияҳои асосии татбиқ ва бартариҳои техникии он мебошанд:
I. Майдони таҷҳизоти коркарди Ultra-дақиқ
Таҷҳизоти истеҳсоли нимноқилҳо
Сенарияҳои татбиқ: мизи кории мошини литографӣ, пойгоҳи мошини буридани вафли, платформаи ҷойгиркунии таҷҳизоти бастабандӣ.
Арзиши техникӣ:
Коэффисиенти васеъшавии гармии гранит танҳо (0,5-1,0) ×10⁻⁶/℃ аст, ки метавонад ба тағирёбии ҳарорат ҳангоми таъсири наномикёси мошини литографӣ тоб оварад (хатои ҷобаҷогузорӣ < 0,1 нм дар муҳити ± 0,1 ℃).
Сохтори хурди дохилии сӯрохии дохилӣ дампфи табииро ташкил медиҳад (таносуби демпинг аз 0,05 то 0,1), ларзишро (амплитудаи < 2 мкм) ҳангоми буридани бо суръати баланд бо мошини бурида ва кафолат медиҳад, ки ноҳамвории канори Ra буридани вафли камтар аз 1 мкм бошад.
2. Мошинҳои суфтакунандаи дақиқ ва мошинҳои ченкунии координатаҳо (CMM)
Ҳолати ариза:
Пойгоҳи мошини ченкунии се координатӣ сохтори интегралии гранитро бо ҳамворӣ ± 0.5μm / м қабул мекунад. Дар якҷоягӣ бо роҳи роҳнамоии ҳавоӣ, он ба дақиқии ҳаракат дар сатҳи нано ноил мешавад (дурустии ҷойгиркунии такрории ± 0,1 мкм).
Ҷадвали кории мошини суфтакунандаи оптикӣ сохтори таркибии пӯлоди гранит ва нуқраро қабул мекунад. Ҳангоми дастос кардани шишаи K9, мавҷнокӣ аз рӯи сатҳи камтар аз λ / 20 (λ = 632,8 нм) аст, ки ба талаботи коркарди ултра ҳамвор барои линзаҳои лазерӣ ҷавобгӯ аст.
II. Соҳаи оптика ва фотоника
Телескопҳои астрономӣ ва системаҳои лазерӣ
Барномаҳои маъмулӣ:
Платформаи дастгирии сатҳи инъикоси телескопи калони радио сохтори асали гранитиро қабул мекунад, ки вазни худ сабук аст (зичии 2,7 г/см³) ва муқовимати сахти ларзиш ба шамол дорад (деформатсия < 50 мкм дар зери шамоли сатҳи 10).
Платформаи оптикии интерферометри лазерй гранити микропорусро истифода мебарад. Рефлектор тавассути адсорбсияи вакуумӣ бо хатогии ҳамворӣ камтар аз 5 нм собит карда мешавад, ки устувории таҷрибаҳои оптикии ултрадақиқро ба монанди ошкоркунии мавҷи гравитатсионӣ таъмин мекунад.
2. Коркарди ҷузъи оптикии дақиқ
Афзалиятҳои техникӣ:
Гузариши магнитӣ ва гузариши барқии платформаи гранитӣ ба сифр наздик буда, аз таъсири дахолати электромагнитӣ ба равандҳои дақиқ ба монанди сайқал додани нури ион (IBF) ва сайқал додани магнитореологӣ (MRF) пешгирӣ мекунад. Арзиши дақиқии шакли рӯизаминии PV-и линзаи асфикии коркардшуда метавонад ба λ/100 расад.
II. Санҷиши аэрокосмосӣ ва дақиқ
Платформаи санҷиши ҷузъҳои авиатсионӣ
Сенарияҳои татбиқ: Санҷиши сеченакаи парчаҳои ҳавопаймо, андозагирии шакл ва мавқеи таҳаммулпазирии ҷузъҳои сохтории хӯлаи алюминийи авиатсионӣ.
Фаъолияти асосӣ:
Сатҳи платформаи гранитӣ бо зангзании электролитӣ коркард карда мешавад, то намунаҳои хубро ба вуҷуд орад (бо ноҳамвории Ra 0.4-0.8μm), ки барои зондҳои триггери дақиқ мувофиқ аст ва хатои ошкор кардани профили майса камтар аз 5 мкм аст.
Он метавонад ба як бори зиёда аз 200 кг ҷузъҳои авиатсионӣ тоб оварад ва тағирёбии ҳамворӣ пас аз истифодаи дарозмуддат камтар аз 2 мкм/м буда, ба талаботи нигоҳдории дақиқи дараҷаи 10 дар соҳаи кайҳонӣ ҷавобгӯ аст.
2. Калибрченкунии ҷузъҳои навигатсионии инерсиалӣ
Талаботи техникӣ: Калибркунии статикии дастгоҳҳои инерсиалӣ ба монанди гироскопҳо ва акселерометрҳо платформаи истинодҳои ултра устуворро талаб мекунад.
Ҳалли: Платформаи гранитӣ бо системаи изолятсияи фаъоли ларзиш (басомади табиӣ < 1 Гц) муттаҳид карда мешавад, ки ба калибркунии дақиқи устувори сифр-офсети ҷузъҳои инерсиалӣ < 0,01°/соат дар муҳити бо шитоби ларзиш < 1×10⁻⁴г мерасад.
Iv. Нанотехнология ва биотибб
Платформаи сканерии микроскопи зонд (SPM).
Функсияи асосӣ: Ҳамчун асоси микроскопияи қувваи атомӣ (AFM) ва микроскопияи сканерии нақбӣ (STM), он бояд аз ларзишҳои муҳити зист ва дрейфҳои гармӣ ҷудо карда шавад.
Нишондиҳандаҳои самаранокӣ:
Платформаи гранитӣ дар якҷоягӣ бо пойҳои изолятсияи ларзиши пневматикӣ метавонад суръати интиқоли ларзишҳои берунаро (1-100 Гц) то камтар аз 5% кам кунад ва ба тасвири сатҳи атомии AFM дар муҳити атмосфера ноил шавад (ҳатман < 0,1 нм).
Ҳассосияти ҳарорат камтар аз 0,05μm/℃ аст, ки ба талабот барои мушоҳидаи наномикёси намунаҳои биологӣ дар муҳити ҳарорати доимӣ (37℃±0,1℃) ҷавобгӯ аст.
2. Таҷҳизоти бастабандии биочип
Ҳолати татбиқ: Платформаи ҳамоҳангсозии дақиқи баланд барои микросхемаҳои пайдарпайии ДНК рельсҳои роҳнамоии гранитро дар ҳаво шинокунанда бо дақиқии ҷойгиршавӣ ± 0,5 мкм қабул мекунад, ки пайвастагии зермикронро байни канали микрофлюидӣ ва электроди муайянкунанда таъмин мекунад.
V. Сенарияҳои татбиқшаванда
Пойгоҳи таҷҳизоти ҳисоббарории квантӣ
Мушкилоти техникӣ: Барои коркарди Qubit ҳарорати бениҳоят паст (сатҳи mK) ва муҳити механикии ултра устуворро талаб мекунад.
Ҳалли: Хусусияти хеле пасти васеъшавии гармии гранит (суръати васеъшавӣ < 1ppm аз -200 ℃ то ҳарорати хонагӣ) метавонад ба хусусиятҳои кашиши магнитҳои суперноқилӣ дар ҳарорати ултра паст мувофиқат кунад ва дақиқии ҳамоҳангиро ҳангоми бастабандии микросхемаҳои квантӣ таъмин кунад.
2. Системаи литографияи электронии шуоъ (EBL).
Иҷрои асосӣ: Хусусияти изолятсияи платформаи гранитӣ (муқовимат > 10¹³Ω · м) парокандашавии чӯбҳои электронро пешгирӣ мекунад. Дар якҷоягӣ бо гардонандаи шпиндели электростатикӣ, он ба навиштани намунаи литографияи дақиқи баланд бо паҳнои хати наноскало (< 10 нм) ноил мешавад.
Хулоса
Истифодаи платформаҳои дақиқи гранит аз мошинҳои дақиқи анъанавӣ то соҳаҳои пешрафта ба монанди нанотехнология, физикаи квантӣ ва биотиббӣ васеъ шудааст. Рақобатпазирии асосии он дар пайвастагии амиқи хосиятҳои моддӣ ва талаботи муҳандисӣ мебошад. Дар оянда, бо ҳамгироии технологияҳои мустаҳкамкунии таркибӣ (ба монанди нанокомпозитҳои графен-гранитӣ) ва технологияҳои ҳассос, платформаҳои гранитӣ дар самтҳои дақиқии сатҳи атом, устувории диапазони пурраи ҳарорат ва ҳамгироии бисёрфунксионалӣ рахна карда, ба ҷузъҳои асосии насли ояндаи ультрапреактӣ табдил меёбанд.
Вақти фиристодан: май-28-2025