Дар занҷири дақиқи истеҳсоли нимноқилҳо, системаи интиқоли пластинаҳо ба монанди "хати наҷоти хати истеҳсоли чип" аст ва устуворӣ ва дақиқии он мустақиман суръати ҳосилнокии чипҳоро муайян мекунад. Насли нави системаҳои интиқоли пластинаҳо муҳаррикҳои хаттиро бо пойгоҳҳои гранитӣ ба таври инқилобӣ муттаҳид мекунанд ва бартариҳои беназири маводҳои гранитӣ маҳз рамзи асосии кушодани интиқоли баландсифат мебошанд.
Пойгоҳи гранитӣ: Сохтани "пойдевори мустаҳкам" барои интиқоли устувор
Гранит, ки садҳо миллион сол боз такмили геологиро аз сар гузаронидааст, дорои кристаллизатсияи зич ва якхелаи дохилии минералӣ мебошад. Ин хусусияти табиӣ онро ба маводи асосии беҳтарин барои системаҳои интиқоли вафл табдил медиҳад. Дар муҳити мураккаби утоқҳои тозаи нимноқилӣ, гранит бо коэффитсиенти хеле пасти васеъшавии гармӣ (танҳо 5-7 × 10⁻⁶/℃) метавонад ба гармии тавлидшуда ҳангоми кори таҷҳизот ва таъсири тағирёбии ҳарорати муҳити зист муқовимат кунад, устувории андозаи пойгоҳро таъмин кунад ва аз каҷравии роҳи интиқол, ки аз деформатсияи гармӣ ба вуҷуд меояд, пешгирӣ кунад. Иҷрои аълои коҳиши ларзиши он метавонад ларзишҳои механикиро, ки ҳангоми оғоз, хомӯш ва суръатбахшии муҳаррикҳои хаттӣ ба вуҷуд меоянд, инчунин дахолатҳои берунаро, ки аз кори дигар таҷҳизот дар коргоҳ ба вуҷуд меоянд, зуд фурӯ барад ва платформаи устуворро бо "сифр ларзиш" барои интиқоли вафл таъмин кунад.
Дар айни замон, устувории кимиёвии гранит кафолат медиҳад, ки он дар коргоҳҳои нимноқилҳо, ки дар онҳо реагентҳои кислота ва ишқорӣ ноустуворанд ва тозагии баланд талаб карда мешавад, занг намезанад ё занг намезанад, ки ин аз таъсири он ба дақиқии интиқол аз сабаби пиршавии мавод ё адсорбсияи ифлоскунандаҳо пешгирӣ мекунад. Хусусиятҳои сатҳи ҳамвор ва зич метавонанд часпиши чангро самараноктар коҳиш диҳанд ва ба стандартҳои қатъии бе чанг барои утоқҳои тоза мувофиқат кунанд ва хатари ифлосшавии вафлро аз реша бартараф кунанд.
Таъсири "шарикии тиллоӣ"-и муҳаррикҳои хаттӣ ва гранит
Моторҳои хаттӣ, бо хусусиятҳои набудани фосилаи интиқоли механикӣ, шитоби баланд ва суръати баланди вокуниш, интиқоли вафлро бо бартариҳои "зуд, дақиқ ва устувор" таъмин мекунанд. Пойгоҳи гранитӣ барои он платформаи устувор ва боэътимоди дастгирӣ фароҳам меорад. Ин ду якҷоя кор мекунанд, то дар иҷрои кор як ҷаҳиш ба даст оранд. Вақте ки муҳаррики хаттӣ интиқолдиҳандаи вафлро барои кор дар роҳи пойгоҳи гранитӣ водор мекунад, сахтӣ ва устувории қавии пойгоҳ интиқоли самараноки қувваи пешбарандаи муҳаррикро таъмин мекунад ва аз талафи қувва ё таъхири интиқол, ки аз деформатсияи пойгоҳ ба вуҷуд меояд, пешгирӣ мекунад.
Бо назардошти талабот ба дақиқии наномасштаб, муҳаррикҳои хаттӣ метавонанд назорати ҷойивазкунии сатҳи зермикронро ба даст оранд. Хусусиятҳои коркарди дақиқи пойгоҳҳои гранитӣ (бо хатогиҳои ҳамворӣ дар доираи ±1μm назорат карда мешаванд) бо назорати дақиқи муҳаррикҳои хаттӣ комилан мувофиқат мекунанд ва дар якҷоягӣ кафолат медиҳанд, ки хатогии ҷойгиркунӣ ҳангоми интиқоли вафл камтар аз ±5μm аст. Новобаста аз он ки ин интиқоли баландсуръат байни таҷҳизоти гуногуни технологӣ ё таваққуфгоҳи дақиқ барои интиқоли вафл бошад, омезиши муҳаррикҳои хаттӣ ва пойгоҳҳои гранитӣ метавонад "инҳирофи сифр ва ларзиши сифр"-ро дар интиқоли вафл таъмин кунад.
Тасдиқи амалияи соҳавӣ: Беҳтаршавии дуҷониба дар самаранокӣ ва сатҳи ҳосилнокӣ
Пас аз навсозии системаи интиқоли вафли худ, як корхонаи пешбари ҷаҳонӣ бо истифода аз нимноқилҳо ҳалли асоси муҳаррики хаттӣ + гранитиро қабул кард, ки самаранокии интиқоли вафлиро 40% афзоиш дод, сатҳи пайдоиши ноқисҳо, ба монанди бархӯрд ва ҷубронро ҳангоми раванди интиқол 85% коҳиш дод ва сатҳи умумии ҳосилнокии чипҳоро 6% беҳтар кард. Дар паси маълумот кафолати устувории интиқол, ки аз ҷониби асоси гранитӣ таъмин карда мешавад ва таъсири синергияи баландсуръат ва дақиқи муҳаррики хаттӣ ниҳон аст, ки талафот ва хатогиро дар раванди интиқоли вафли ба таври назаррас коҳиш медиҳад.
Аз хосиятҳои мавод то истеҳсоли дақиқ, аз бартариҳои самаранокӣ то санҷиши амалӣ, омезиши муҳаррикҳои хаттӣ ва пойгоҳҳои гранитӣ стандартҳои системаҳои интиқоли вафлиро аз нав муайян кардааст. Дар оянда, вақте ки технологияи нимноқилҳо ба сӯи равандҳои 3nm ва 2nm пеш меравад, маводҳои гранитӣ бо бартариҳои ивазнашавандаи худ бешубҳа ба рушди соҳа такони қавӣ хоҳанд бахшид.
Вақти нашр: 14 майи соли 2025