.
Дар соҳаи истеҳсоли нимноқилҳо, дақиқӣ хати ҳаёти сифат ва иҷрои маҳсулот мебошад. Таҷҳизоти ҳисобкунии нимноқилҳо, ҳамчун звенои асосии таъмини дақиқии истеҳсолот, нисбат ба устувории ҷузъҳои асосии он талаботҳои қариб қатъӣ мегузорад. Дар байни онҳо платформаи гранитӣ бо устувории барҷастаи гармии худ дар таҷҳизоти ченкунии нимноқилҳо нақши муҳим мебозад. Дар ин мақола таҳлили амиқи иҷрои устувории гармии платформаҳои гранитӣ дар таҷҳизоти ченкунии нимноқилҳо тавассути маълумоти воқеии санҷиш гузаронида мешавад. .
Талаботи қатъӣ барои устувории гармии таҷҳизоти ченкунӣ дар истеҳсоли нимноқилҳо
Раванди истеҳсоли нимноқилҳо ниҳоят мураккаб ва дақиқ аст ва паҳнои хатҳои схемаи чип ба сатҳи нанометр дохил шудааст. Дар чунин раванди истеҳсоли дақиқ, ҳатто каме тағирёбии ҳарорат метавонад боиси васеъшавии гармӣ ва кашиши ҷузъҳои таҷҳизот гардад ва ба ин васила хатогиҳои андозагириро ба вуҷуд орад. Масалан, дар раванди фотолитография, агар дақиқии андозагирии таҷҳизоти ҳисобкунак то 1 нанометр дур шавад, он метавонад мушкилоти ҷиддиро ба мисли ноқилҳои кӯтоҳ ё кушода дар занҷирҳои чип ба вуҷуд орад, ки боиси шикастани чип гардад. Тибқи омори маълумотҳои саноатӣ, барои ҳар як 1℃ тағйирёбии ҳарорат, платформаи таҷҳизоти анъанавии ченкунии маводи металлӣ метавонад тағироти андозагирии якчанд нанометрро аз сар гузаронад. Бо вуҷуди ин, истеҳсоли нимноқилҳо дақиқии андозагириро дар ҳудуди ±0,1 нанометр назорат мекунад, ки устувории гармиро омили калидӣ дар муайян кардани он, ки оё таҷҳизоти ҳисобкунак ба талаботи истеҳсоли нимноқилҳо қонеъ карда метавонад ё не. .
Афзалиятҳои назариявии устувории гармии платформаҳои гранитӣ
Гранит ҳамчун як навъ санги табиӣ дорои кристаллизатсияи дохилии минералӣ, сохтори зич ва якхела дорад ва бартарии табиии устувории гармиро дорад. Дар робита ба коэффисиенти васеъшавии гармӣ, коэффисиенти васеъшавии гармии гранит хеле паст аст, одатан аз 4,5 то 6,5 × 10⁻⁶/К. Баръакси ин, коэффисиенти васеъшавии гармии маводи маъмулии металлӣ ба монанди хӯлаҳои алюминий то 23,8 × 10⁻⁶/К баланд аст, ки аз гранит чанд маротиба зиёдтар аст. Ин маънои онро дорад, ки дар як шароити тағирёбии ҳарорат, тағирёбии андозагирии платформаи гранит нисбат ба платформаи металлӣ хеле хурдтар аст, ки метавонад барои таҷҳизоти ченкунии нимноқилҳо истинодҳои ченкунии устувортарро таъмин кунад. .
Илова бар ин, сохтори булӯрии гранит ба он якрангии аълои гармӣ медиҳад. Вақте ки кори таҷҳизот гармиро тавлид мекунад ё тағирёбии ҳарорати муҳити зист, платформаи гранитӣ метавонад зуд ва баробар гармиро дур кунад, аз падидаҳои аз ҳад гармшавӣ ё аз ҳад зиёд хунук шудани маҳаллӣ пешгирӣ кунад ва ба ин васила мутобиқати умумии ҳарорати платформаро самаранок нигоҳ дорад ва минбаъд устувории дақиқии андозагириро таъмин кунад. .
Раванд ва усули ченкунии устувории гармӣ
Барои дақиқ арзёбӣ кардани устувории гармии платформаи гранитӣ дар таҷҳизоти ченкунии нимноқилҳо, мо нақшаи дақиқи андозагириро тарҳрезӣ кардем. Асбоби ченкунии пластинкаи нимноқилҳои дақиқи баландро интихоб кунед, ки бо платформаи гранити хеле дақиқ коркардшуда муҷаҳҳаз шудааст. Дар муҳити таҷрибавӣ, диапазони умумии тағирёбии ҳарорат дар сехи истеҳсоли нимноқилҳо тақлид карда шуд, яъне тадриҷан аз 20 ℃ то 35 ℃ гармӣ ва сипас ба 20 ℃ хунуккунӣ. Тамоми процесс 8 соат давом кард. .
Дар платформаи гранитии асбоби ченкунӣ пластинҳои стандартии кремнийи баландсифат ҷойгир карда шудаанд ва сенсорҳои ҷойивазкунӣ бо дақиқии наномасштаб барои назорат кардани тағирёбии мавқеи нисбии байни пластинаҳои кремний ва платформа дар вақти воқеӣ истифода мешаванд. Дар ҳамин ҳол, якчанд сенсорҳои ҳарорати баланд дақиқ дар мавқеъҳои гуногун дар платформа ҷойгир карда шудаанд, то тақсимоти ҳароратро дар сатҳи платформа назорат кунанд. Дар рафти тачриба маълумотхои чойгиршавй ва харорат дар хар 15 дакика кайд карда мешуданд, то ки пурра ва дурустии маълумотхо таъмин карда шаванд. .
Маълумоти ченшуда ва таҳлили натиҷаҳо
Муносибати байни тағирёбии ҳарорат ва тағирёбии андозаи платформа
Маълумоти таҷрибавӣ нишон медиҳад, ки вақте ки ҳарорат аз 20 ℃ то 35 ℃ боло меравад, тағирёбии андозаи хаттии платформаи гранит хеле хурд аст. Пас аз ҳисобкунӣ, дар тамоми раванди гармидиҳӣ, васеъшавии максималии хаттии платформа ҳамагӣ 0,3 нанометрро ташкил медиҳад, ки аз диапазони таҳаммулпазирии хатогиҳо барои дақиқии андозагирӣ дар равандҳои истеҳсоли нимноқилҳо хеле пасттар аст. Дар марҳилаи хунуккунӣ андозаи платформа метавонад қариб пурра ба ҳолати аввала баргардад ва падидаи таъхири тағирёбии андозаро нодида гирифтан мумкин аст. Ин хусусияти нигоҳ доштани тағироти андозагирии бениҳоят паст ҳатто дар ҳолати тағирёбии назарраси ҳарорат устувории барҷастаи гармии платформаи гранитро пурра тасдиқ мекунад. .
Таҳлили якрангии ҳарорат дар сатҳи платформа
Маълумоте, ки датчики харорат чамъ кардааст, нишон медихад, ки дар вакти кори тачхизот ва процесси тагйирёбии харорат таксимоти харорат дар сатхи платформаи гранит нихоят якхела аст. Ҳатто дар марҳилае, ки ҳарорат шадидтарин тағир меёбад, фарқияти ҳарорат байни ҳар як нуқтаи ченкунӣ дар сатҳи платформа ҳамеша дар ҳудуди ± 0,1 ℃ назорат карда мешавад. Тақсимоти якхелаи ҳарорат аз деформатсияи платформа, ки дар натиҷаи фишори гармии нобаробар ба вуҷуд омадааст, ба таври муассир пешгирӣ мекунад, ҳамворӣ ва устувории сатҳи истинодҳои андозагириро таъмин мекунад ва муҳити боэътимоди андозагириро барои таҷҳизоти метрологияи нимноқил таъмин мекунад. .
Дар муқоиса бо платформаҳои моддии анъанавӣ
Маълумоти ченкардаи платформаи гранитӣ бо таҷҳизоти ченкунии нимноқилҳои як навъ бо истифода аз платформаи хӯлаи алюминий муқоиса карда шуд ва фарқиятҳо назаррас буданд. Дар шароити ҳамон тағирёбии ҳарорат, васеъшавии хаттии платформаи хӯлаи алюминий то 2,5 нанометр аст, ки ин аз платформаи гранитӣ беш аз ҳашт маротиба зиёд аст. Дар ҳамин ҳол, тақсимоти ҳарорат дар рӯи платформаи хӯлаи алюминий нобаробар аст ва фарқияти максималии ҳарорат ба 0,8 ℃ мерасад, ки дар натиҷа деформатсияи ошкори платформа ва ба дақиқии андозагирӣ таъсири ҷиддӣ мерасонад. .
Дар ҷаҳони дақиқи таҷҳизоти метрологияи нимноқилҳо, платформаҳои гранитӣ бо устувории барҷастаи гармии худ дар таъмини дақиқии ченак такягоҳи асосӣ гардиданд. Маълумоти ченшуда самаранокии барҷастаи платформаи гранитро дар вокуниш ба тағирёбии ҳарорат ва таъмини дастгирии боэътимоди техникӣ барои саноати истеҳсоли нимноқилҳо ба таври қатъӣ исбот мекунанд. Вақте ки равандҳои истеҳсоли нимноқилҳо ба сӯи дақиқии баландтар пеш мераванд, бартарии устувории гармии платформаҳои гранитӣ торафт бештар намоён хоҳад шуд, ки пайваста навовариҳои технологӣ ва рушдро дар саноат пеш мебарад.
Вақти фиристодан: май-13-2025