Дар соҳаи санҷиши нимноқилҳо, интихоби маводи платформаи санҷишӣ дар дақиқии санҷиш ва устувории таҷҳизот нақши ҳалкунанда мебозад. Дар муқоиса бо маводҳои анъанавии оҳанин, гранит бо сабаби кори аълои худ ба интихоби беҳтарин барои платформаҳои санҷиши нимноқилҳо табдил меёбад.
Муқовимати аълои зангзанӣ кори устувори дарозмуддатро таъмин мекунад
Дар раванди санҷиши нимноқилҳо, аксар вақт реагентҳои гуногуни кимиёвӣ, ба монанди маҳлули гидроксиди калий (KOH), ки барои таҳияи фоторезист истифода мешавад, ва моддаҳои хеле зангзананда ба монанди кислотаи гидрофторӣ (HF) ва кислотаи нитратӣ (HNO₃) дар раванди кандакорӣ истифода мешаванд. Оҳани рехтагарӣ асосан аз унсурҳои оҳан иборат аст. Дар чунин муҳити кимиёвӣ эҳтимоли рух додани реаксияҳои оксидшавӣ-барқароршавӣ хеле зиёд аст. Атомҳои оҳан электронҳоро аз даст медиҳанд ва бо моддаҳои кислотаӣ дар маҳлул реаксияҳои ҷойивазкуниро аз сар мегузаронанд, ки боиси зангзании босуръати сатҳ, ба вуҷуд овардани зангзанӣ ва чуқуриҳо ва вайрон кардани ҳамворӣ ва дақиқии андозагирии платформа мегарданд.
Баръакс, таркиби минералии гранит ба он муқовимати фавқулоддаи зангзанӣ медиҳад. Ҷузъи асосии он, кварц (SiO₂), дорои хосиятҳои химиявии хеле устувор буда, бо кислотаҳо ва асосҳои маъмулӣ қариб ки реаксия намекунад. Маъданҳо ба монанди шпати фелдспарт низ дар муҳитҳои умумии химиявӣ инертӣ мебошанд. Шумораи зиёди таҷрибаҳо нишон доданд, ки дар ҳамон муҳити кимиёвии ошкоркунии нимноқилҳои симулятсияшуда, муқовимати зангзании кимиёвии гранит нисбат ба оҳани рехтагарӣ беш аз 15 маротиба баландтар аст. Ин маънои онро дорад, ки истифодаи платформаҳои гранитӣ метавонад басомад ва арзиши нигоҳдории таҷҳизотро, ки аз зангзанӣ ба вуҷуд меояд, ба таври назаррас коҳиш диҳад, мӯҳлати хидмати таҷҳизотро дароз кунад ва устувории дарозмуддати дақиқии ошкоркуниро таъмин намояд.
Устувории ултра-баланд, ки ба талаботи дақиқии муайянкунии сатҳи нанометр ҷавобгӯ аст
Санҷиши нимноқилҳо талаботи ниҳоят баланд барои устувории платформа дорад ва бояд хусусиятҳои чипро дар миқёси нано дақиқ чен кунад. Коэффитсиенти васеъшавии гармии оҳани рехтагарӣ нисбатан баланд аст, тақрибан 10-12 × 10⁻⁶/℃. Гармие, ки дар натиҷаи кори таҷҳизоти ошкоркунӣ ё тағйирёбии ҳарорати муҳит ба вуҷуд меояд, боиси васеъшавӣ ва кашиши назарраси гармии платформаи оҳани рехтагарӣ мегардад, ки боиси инҳирофи мавқеъ байни зонди ошкоркунӣ ва чип мегардад ва ба дақиқии ченкунӣ таъсир мерасонад.
Коэффисиенти васеъшавии гармии гранит танҳо 0.6-5×10⁻⁶/℃ аст, ки ин қисм ё ҳатто камтар аз оҳани рехтагарӣ аст. Сохтори он зич аст. Шиддати дохилӣ асосан тавассути пиршавии табиии дарозмуддат бартараф карда шудааст ва аз тағирёбии ҳарорат ба ҳадди ақал таъсир мерасонад. Ғайр аз ин, гранит сахтии қавӣ дорад, ки сахтии он аз 2 то 3 маротиба баландтар аз оҳани рехтагарӣ (баробар ба HRC > 51) аст, ки метавонад ба таъсир ва ларзишҳои беруна самаранок муқовимат кунад ва ҳамворӣ ва ростии платформаро нигоҳ дорад. Масалан, дар муайянкунии схемаи чипҳои баландсифат, платформаи гранитӣ метавонад хатогии ҳамвориро дар ҳудуди ±0.5μm/m назорат кунад ва кафолат диҳад, ки таҷҳизоти муайянкунӣ метавонад дар муҳитҳои мураккаб ба муайянкунии дақиқи наномасштабӣ ноил гардад.
Хусусияти барҷастаи зиддимагнитӣ, ки муҳити ошкоркунии холисро эҷод мекунад
Ҷузъҳо ва сенсорҳои электронӣ дар таҷҳизоти санҷиши нимноқилҳо ба халалҳои электромагнитӣ хеле ҳассосанд. Чӯяни рехтагарӣ дараҷаи муайяни магнитизм дорад. Дар муҳити электромагнитӣ, он майдони магнитии индуксияшударо ба вуҷуд меорад, ки ба сигналҳои электромагнитии таҷҳизоти ошкоркунӣ халал мерасонад ва боиси таҳрифи сигнал ва маълумоти ғайримуқаррарии ошкоркунӣ мегардад.
Аз тарафи дигар, гранит маводи зиддимагнитӣ буда, аз ҷониби майдонҳои магнитии беруна қариб қутбӣ намешавад. Электронҳои дохилӣ дар дохили пайвандҳои кимиёвӣ ҷуфт-ҷуфт мавҷуданд ва сохтор устувор аст ва аз қувваҳои электромагнитии беруна таъсир намерасонад. Дар муҳити майдони магнитии қавии 10 мТ, шиддати майдони магнитии индуксияшуда дар сатҳи гранит камтар аз 0,001 мТ аст, дар ҳоле ки шиддати майдони магнитӣ дар сатҳи оҳани рехтагарӣ то 8 мТ зиёд аст. Ин хусусият ба платформаи гранит имкон медиҳад, ки муҳити электромагнитии холисро барои таҷҳизоти ошкоркунӣ эҷод кунад, махсусан барои сенарияҳое, ки талаботи қатъӣ барои садои электромагнитӣ ба монанди ошкоркунии чипи квантӣ ва ошкоркунии схемаи аналогии дақиқи баланд доранд, мувофиқ аст ва эътимоднокӣ ва мувофиқати натиҷаҳои ошкоркуниро самаранок афзоиш медиҳад.
Дар сохтани платформаҳои санҷиши нимноқилҳо, гранит аз сабаби бартариҳои назарраси худ, ба монанди муқовимат ба зангзанӣ, устуворӣ ва зиддимагнетизм, аз маводҳои оҳанин ба таври комил пеш гузаштааст. Бо пешрафти технологияи нимноқилҳо ба самти дақиқии баландтар, гранит дар таъмини кори таҷҳизоти озмоишӣ ва мусоидат ба пешрафти саноати нимноқилҳо нақши муҳимтар хоҳад бозид.
Вақти нашр: 15 майи соли 2025