Дар соҳаи санҷиши нимноқилҳо, интихоби маводи платформаи озмоишӣ дар дақиқии санҷиш ва устувории таҷҳизот нақши ҳалкунанда мебозад. Дар муқоиса бо маводи анъанавии оҳанин, гранит аз сабаби иҷрои барҷастаи худ интихоби беҳтарин барои платформаҳои санҷиши нимноқилҳо мегардад.
Муқовимати барҷастаи зангзанӣ кори устувори дарозмуддатро таъмин мекунад
Дар ҷараёни санҷиши нимноқилҳо аксар вақт реагентҳои гуногуни кимиёвӣ ҷалб карда мешаванд, ба монанди маҳлули гидроксиди калий (KOH), ки барои рушди фоторезист истифода мешаванд ва моддаҳои хеле зангзананда, ба монанди кислотаи гидрофторӣ (HF) ва кислотаи нитрат (HNO₃) дар раванди коркард. Охани чуян асосан аз элементхои охан иборат аст. Дар чунин муҳити кимиёвӣ, эҳтимолияти ба амал омадани реаксияҳои оксидшавӣ ва коҳишёбӣ вуҷуд дорад. Атомхои охан электронхои худро гум карда, бо моддахои туршии махлул реак-цияхои чойгиршавиро мегузаронанд, ки боиси тез зангзании сатх шуда, занг ва пастихо ба вучуд омада, ба хамворй ва дурустии андозагирии платформа зарар мерасонад.
Баръакс, таркиби минералии гранит ба он муқовимати фавқулоддаи зангзаниро медиҳад. Ҷузъи асосии он, кварц (SiO₂) дорои хосиятҳои химиявии бениҳоят устувор буда, бо кислотаҳо ва асосҳои маъмул базӯр реаксия мекунад. Минералҳо ба монанди шпати даштӣ низ дар муҳити умумии кимиёвӣ ғайрифаъол мебошанд. Шумораи зиёди таҷрибаҳо нишон доданд, ки дар ҳамон муҳити кимиёвии муайянкунии нимноқилҳо, муқовимат ба зангзании кимиёвии гранит нисбат ба оҳани рехтагарӣ беш аз 15 маротиба зиёдтар аст. Ин маънои онро дорад, ки истифодаи платформаҳои гранитӣ метавонад басомад ва арзиши нигоҳдории таҷҳизотро, ки аз зангзанӣ ба вуҷуд омадааст, коҳиш диҳад, мӯҳлати хидмати таҷҳизотро дароз кунад ва устувории дарозмуддати дақиқии кашфро таъмин кунад.
Устувории ултра-баланд, ҷавобгӯ ба талаботи дақиқии муайянкунии сатҳи нанометр
Озмоиши нимноқилҳо барои устувории платформа талаботи бениҳоят баланд дорад ва бояд хусусиятҳои чипро дар наномикёс дақиқ чен кунад. Коэффисиенти васеъшавии гармии оҳани рехтагарӣ нисбатан баланд аст, тақрибан 10-12 ×10⁻⁶/℃. Гармие, ки дар натиҷаи кори таҷҳизоти детекторӣ ё тағирёбии ҳарорати муҳити атроф ба вуҷуд меояд, боиси тавсеаи гармии назаррас ва кашиши платформаи оҳании рехтагарӣ мегардад, ки дар натиҷа байни зонди детекторӣ ва чип тафовути мавқеъро ба вуҷуд меорад ва ба дақиқии андозагирӣ таъсир мерасонад.
Коэффисиенти васеъшавии гармии гранит ҳамагӣ 0,6-5×10⁻⁶/℃ аст, ки як фраксия ё ҳатто камтар аз оҳани чуян аст. Сохтори он зич аст. Стресси дохилӣ асосан тавассути пиршавии дарозмуддати табиӣ бартараф карда шудааст ва аз тағирёбии ҳарорат ҳадди аққал таъсир мерасонад. Илова бар ин, гранит сахтии қавӣ дорад, ки сахтӣ аз оҳани рехтагарӣ 2 то 3 маротиба зиёдтар аст (баробар ба HRC > 51), ки метавонад ба таъсирот ва ларзишҳои беруна муқовимат кунад ва ҳамворӣ ва ростии платформаро нигоҳ дорад. Масалан, ҳангоми муайянкунии микросхемаҳои дақиқи баланд, платформаи гранит метавонад хатогии ҳамворро дар ҳудуди ± 0.5μm / м назорат кунад ва кафолат диҳад, ки таҷҳизоти ошкоркунӣ то ҳол дар муҳитҳои мураккаб ба муайянкунии дақиқи наномикёс ноил гардад.
Амволи барҷастаи зидди магнитӣ, эҷоди муҳити тозаи ошкор
Қисмҳои электронӣ ва сенсорҳои таҷҳизоти озмоишии нимноқилҳо ба дахолати электромагнитӣ хеле ҳассосанд. Оҳани рехташуда дараҷаи муайяни магнитӣ дорад. Дар муҳити электромагнитӣ, он майдони магнитии индуксиро тавлид мекунад, ки ба сигналҳои электромагнитии таҷҳизоти кашф халал мерасонад, ки боиси таҳрифи сигнал ва маълумоти ғайримуқаррарии ошкор мегардад.
Гранит, аз тарафи дигар, маводи зиддимагнитӣ аст ва аз ҷониби майдонҳои магнитии беруна базӯр қутб карда мешавад. Электронҳои дохилӣ дар дохили пайвандҳои химиявӣ ҷуфтҳо мавҷуданд ва сохтор устувор аст, ба қувваҳои электромагнитии беруна таъсир намерасонад. Дар муҳити қавии майдони магнитии 10mT, шиддатнокии майдони магнитии индуксионӣ дар сатҳи гранит камтар аз 0.001mT аст, дар ҳоле ки он дар сатҳи оҳани рехтагарӣ то 8mT зиёд аст. Ин хусусият ба платформаи гранитӣ имкон медиҳад, ки муҳити холиси электромагнитӣ барои таҷҳизоти ошкорсозӣ эҷод кунад, махсусан барои сенарияҳое, ки талаботҳои қатъии садои электромагнитӣ, ба монанди муайянкунии микросхемаҳои квантӣ ва муайянкунии схемаи аналогии дақиқи баланд, эътимоднокӣ ва мувофиқати натиҷаҳои ошкорро ба таври муассир баланд мебардоранд.
Дар сохтмони платформаҳои озмоишии нимноқилҳо, гранит бо сабаби бартариҳои назарраси худ, ба монанди муқовимат ба зангзанӣ, устуворӣ ва зидди магнитӣ аз масолеҳи оҳанин ҳамаҷониба гузашт. Вақте ки технологияи нимноқилҳо ба сӯи дақиқии баландтар пеш меравад, гранит дар таъмини кори таҷҳизоти озмоишӣ ва мусоидат ба пешрафти саноати нимноқилҳо нақши ҳалкунанда хоҳад дошт.
Вақти фиристодан: май-15-2025