Дар соҳаи андозагирии дақиқ, платформаи дақиқи гранитӣ бо устувории аъло, сахтии баланд ва муқовимати хуби фарсудашавӣ, ба такягоҳи беҳтарин барои бисёр корҳои андозагирии дақиқи баланд табдил ёфтааст. Бо вуҷуди ин, ноустувории ҳарорат дар омилҳои муҳити зист, ба монанди "қотили дақиқ"-е, ки дар торикӣ пинҳон шудааст, ба дақиқии андозагирии платформаи дақиқи гранитӣ таъсири беандоза мерасонад. Барои таъмини дақиқӣ ва эътимоднокии корҳои андозагирӣ, омӯзиши амиқи остонаи таъсир муҳим аст.
Гарчанде ки гранит бо устувории худ машҳур аст, он аз тағйироти ҳарорат эмин нест. Ҷузъҳои асосии он кварц, шпати далаӣ ва дигар маъданҳо мебошанд, ки дар ҳароратҳои гуногун падидаи васеъшавӣ ва кашишхӯриро ба вуҷуд меоранд. Вақте ки ҳарорати муҳит баланд мешавад, платформаи дақиқи гранит гарм ва васеъ мешавад ва андозаи платформа каме тағйир меёбад. Вақте ки ҳарорат паст мешавад, он ба ҳолати аввалаи худ бармегардад. Тағйироти ба назар хурди андозаро метавон ба омилҳои калидӣ, ки ба натиҷаҳои андозагирӣ дар сенарияҳои андозагирии дақиқ таъсир мерасонанд, табдил дод.
Бо истифода аз асбоби ченкунии координатаҳои маъмулӣ, ки платформаи гранитии мувофиқро истифода мебаранд, дар вазифаи ченкунии дақиқии баланд, талаботи дақиқии ченкунӣ аксар вақт ба сатҳи микрон ё ҳатто баландтар мерасад. Фарз карда мешавад, ки дар ҳарорати стандартии 20℃, параметрҳои гуногуни андозагирии платформа дар ҳолати беҳтарин қарор доранд ва маълумоти дақиқро бо чен кардани қисми корӣ ба даст овардан мумкин аст. Вақте ки ҳарорати муҳити атроф тағйир меёбад, вазъият хеле фарқ мекунад. Пас аз шумораи зиёди омори маълумоти таҷрибавӣ ва таҳлили назариявӣ, дар шароити муқаррарӣ, тағйирёбии ҳарорати муҳити зист 1℃, васеъшавӣ ё ихтисоршавии хаттии платформаи дақиқии гранит тақрибан 5-7 × 10⁻⁶/℃ аст. Ин маънои онро дорад, ки барои платформаи гранитӣ бо дарозии паҳлӯи 1 метр, агар ҳарорат 1°C тағйир ёбад, дарозии паҳлӯ метавонад 5-7 микрон тағйир ёбад. Дар ченкуниҳои дақиқ, чунин тағирёбии андоза барои он ки хатогиҳои ченкунӣ аз диапазони қобили қабул берун шаванд, кофӣ аст.
Барои корҳои андозагирӣ, ки аз рӯи сатҳҳои гуногуни дақиқӣ талаб карда мешаванд, остонаи таъсири тағйирёбии ҳарорат низ гуногун аст. Дар андозагирии дақиқии муқаррарӣ, ба монанди андозагирии андозаи қисмҳои механикӣ, агар хатогии иҷозатдодашудаи андозагирӣ дар ҳудуди ±20 микрон бошад, мувофиқи ҳисобкунии коэффитсиенти васеъшавии дар боло зикршуда, тағйирёбии ҳарорат бояд дар доираи ± 3-4 ℃ назорат карда шавад, то хатогии андозагириро, ки аз тағирёбии андозаи платформа ба вуҷуд омадааст, дар сатҳи қобили қабул назорат кунад. Дар минтақаҳое, ки талаботи дақиқии баланд доранд, ба монанди андозагирии раванди литография дар истеҳсоли чипҳои нимноқилӣ, хатогӣ дар ҳудуди ± 1 микрон иҷозат дода мешавад ва тағйирёбии ҳарорат бояд дар ҳудуди ± 0.1-0.2 ° C қатъиян назорат карда шавад. Пас аз он ки тағйирёбии ҳарорат аз ин остона зиёд мешавад, васеъшавӣ ва кашиши гармии платформаи гранитӣ метавонад боиси инҳироф дар натиҷаҳои андозагирӣ гардад, ки ба ҳосилнокии истеҳсоли чип таъсир мерасонад.
Барои мубориза бо таъсири тағйирёбии ҳарорати муҳити зист ба дақиқии ченкунии платформаи дақиқи гранитӣ, дар корҳои амалӣ аксар вақт чораҳои зиёде андешида мешаванд. Масалан, дар муҳити ченкунӣ таҷҳизоти ҳарорати доимии дақиқи баланд насб карда мешавад, то тағйирёбии ҳароратро дар диапазони хеле хурд назорат кунад; ҷуброни ҳарорат дар маълумоти ченкунӣ анҷом дода мешавад ва натиҷаҳои ченкунӣ аз ҷониби алгоритми нармафзор мувофиқи коэффитсиенти васеъшавии гармии платформа ва тағирёбии ҳарорат дар вақти воқеӣ ислоҳ карда мешаванд. Аммо, новобаста аз он ки чӣ гуна чораҳо андешида мешаванд, дарки дақиқи таъсири тағйирёбии ҳарорати муҳити зист ба дақиқии ченкунии платформаи дақиқи гранитӣ шарти асосии таъмини кори дақиқ ва боэътимоди ченкунӣ мебошад.
Вақти нашр: 03 апрели соли 2025