Дар соҳаи андозагирии дақиқ, платформаи дақиқи гранит бо устувории аъло, сахтии баланд ва муқовимати хуби фарсудашавӣ барои бисёре аз корҳои ченкунии дақиқи баланд такягоҳи беҳтарин гардид. Аммо, тағирёбии ҳарорат дар омилҳои муҳити зист, ба монанди "қотилони дақиқ" дар торикӣ, ба дақиқии андозагирии платформаи дақиқи гранит таъсири ночиз мерасонад. Барои таъмини дақиқӣ ва эътимоднокии кори андозагирӣ амиқ омӯхтани ҳадди таъсиррасонӣ аҳамияти калон дорад.
Гарчанде ки гранит бо устувории худ маълум аст, вай аз тағирёбии ҳарорат эмин нест. Ҷузъҳои асосии он кварц, шпати даштӣ ва дигар маъданҳо мебошанд, ки дар ҳароратҳои гуногун падидаи васеъшавии гармӣ ва кашишро ба вуҷуд меоранд. Вақте ки ҳарорати муҳити атроф баланд мешавад, платформаи дақиқи гранит гарм ва васеъ карда мешавад ва андозаи платформа каме тағир меёбад. Вақте ки ҳарорат паст мешавад, он ба ҳолати аввалааш бармегардад. Тағироти ба назар хурди андозаи андозаро метавон ба омилҳои калидӣ, ки ба натиҷаҳои андозагирӣ дар сенарияҳои андозагирии дақиқ таъсир мерасонанд, афзоиш дод.
Асбоби умумии координатаи ченкуниро, ки ба платформаи гранити мувофиқат мекунад, ҳамчун мисол гирифта, дар вазифаи ченкунии дақиқи баланд, талабот ба дақиқии андозагирӣ аксар вақт ба сатҳи микрон ё ҳатто баландтар мерасад. Тахмин меравад, ки дар ҳарорати стандартии 20 ℃ параметрҳои андозагирии гуногуни платформа дар ҳолати идеалӣ қарор доранд ва маълумоти дақиқро тавассути чен кардани қисмҳои корӣ ба даст овардан мумкин аст. Вақте ки ҳарорати муҳити атроф тағйир меёбад, вазъият хеле дигар аст. Пас аз шумораи зиёди омори таҷрибавӣ ва таҳлили назариявӣ, дар шароити муқаррарӣ, тағирёбии ҳарорати муҳити зист аз 1 ℃, васеъшавӣ ё кашиши платформаи дақиқи гранит тақрибан 5-7 × 10⁻⁶/℃ аст. Ин маънои онро дорад, ки барои як платформаи гранит бо дарозии паҳлӯи 1 метр, дарозии тараф метавонад аз тарафи 5-7 микрон тағйир агар ҳарорати аз тарафи 1 ° C. Дар андозагирии дақиқ, чунин тағйирот дар андозаи кофӣ барои боиси хатогиҳои андозагирии берун аз доираи қобили қабул аст.
Барои кори андозагирӣ, ки сатҳи дақиқии гуногун талаб мекунад, ҳадди таъсири тағирёбии ҳарорат низ гуногун аст. Дар андозагирии дақиқи муқаррарӣ, ба монанди андозагирии андозаи қисмҳои механикӣ, агар хатогии иҷозатдодашуда дар ҳудуди ± 20 микрон бошад, мувофиқи ҳисобкунии коэффисиенти дар боло зикршуда, тағирёбии ҳарорат бояд дар доираи ± 3-4 ℃ назорат карда шавад, то хатогии андозагириро дар натиҷаи тағирёбии андозаи платформа дар сатҳи қобили қабул назорат кунад. Дар минтақаҳое, ки талаботҳои дақиқи баланд доранд, ба монанди андозагирии раванди литография дар истеҳсоли микросхемаҳои нимноқил, хатогӣ дар ҳудуди ± 1 микрон иҷозат дода мешавад ва тағирёбии ҳарорат бояд дар ҳудуди ± 0,1-0,2 ° C ба таври қатъӣ назорат карда шавад. Вақте ки тағирёбии ҳарорат аз ин ҳадди ниҳоӣ зиёд мешавад, васеъшавии гармидиҳӣ ва ихтисоршавии платформа метавонад ба андозагирӣ таъсир расонад. ҳосили истеҳсоли чип.
Барои мубориза бо таъсири тағирёбии ҳарорати муҳити атроф ба дақиқии ченкунии платформаи дақиқи гранит, дар кори амалӣ аксар вақт тадбирҳои зиёде андешида мешаванд. Масалан, дар муҳити ченкунӣ барои назорат кардани тағирёбии ҳарорат дар доираи хеле хурд таҷҳизоти дақиқи баланди ҳарорати доимӣ насб карда шудааст; Ҷуброни ҳарорат аз рӯи маълумоти андозагирӣ анҷом дода мешавад ва натиҷаҳои андозагирӣ бо алгоритми нармафзор мувофиқи коэффисиенти васеъшавии гармии платформа ва тағирёбии ҳарорат дар вақти воқеӣ ислоҳ карда мешаванд. Бо вуҷуди ин, новобаста аз он ки чӣ гуна чораҳо андешида мешаванд, дарки дақиқи таъсири тағирёбии ҳарорати муҳити зист ба дақиқии андозагирии платформаи дақиқи гранит заминаи таъмини кори дақиқ ва боэътимоди андозагирӣ мебошад.
Вақти фиристодан: апрел-03-2025