1. Аниқии андоза
Ҳамворӣ: ҳамвории сатҳи пойгоҳ бояд ба стандарти хеле баланд расад ва хатогии ҳамворӣ дар ҳама гуна майдони 100mm × 100mm набояд аз ± 0.5μm зиёд бошад; Барои тамоми ҳавопаймои асосӣ, хатогии ҳамворӣ дар ҳудуди ± 1μm назорат карда мешавад. Ин кафолат медиҳад, ки ҷузъҳои асосии таҷҳизоти нимноқилҳо, аз қабили сари экспозицияи таҷҳизоти литографӣ ва ҷадвали зондҳои таҷҳизоти муайянкунандаи чипҳо, метавонанд дар як ҳавопаймои дақиқ насб ва кор кунанд, дурустии роҳи оптикӣ ва пайвасти схемаи таҷҳизотро таъмин кунанд ва аз инҳирофшавии ҷобаҷогузории ҷузъҳо, ки ба нақшаи чипҳои нимноқил таъсир мерасонанд, пешгирӣ карда шаванд. дақиқии истеҳсол ва ошкор.
Ростӣ: ростии ҳар як канори пойгоҳ муҳим аст. Дар самти дарозӣ, хатогии ростӣ набояд аз ±1μm дар 1м зиёд бошад; Хатогии ростии диагоналӣ дар ҳудуди ±1.5μm назорат карда мешавад. Мошини литографияи дақиқи баландро мисол мегирем, вақте ки миз бо роҳи роҳнамоии пойгоҳ ҳаракат мекунад, ростии канори пойгоҳ ба дақиқии траекторияи ҷадвал таъсир мерасонад. Агар ростӣ ба стандарт мувофиқ набошад, намунаи литография таҳриф ва деформатсия мешавад, ки дар натиҷа ҳосили истеҳсоли чип коҳиш меёбад.
Параллелизм: Хатогии параллелизми сатҳҳои болоӣ ва поёнии пойгоҳ бояд дар ҳудуди ±1μm назорат карда шавад. Параллелизми хуб метавонад устувории маркази умумии вазниниро пас аз насби таҷҳизот таъмин кунад ва қувваи ҳар як ҷузъ яксон аст. Дар таҷҳизоти истеҳсоли вафли нимноқилӣ, агар сатҳи болоӣ ва поёнии пойгоҳ параллел набошанд, вафли ҳангоми коркард майл карда, ба якрангии раванд, аз қабили кашиш ва пӯшиш таъсир мерасонад ва ба ин васила ба мувофиқати иҷрои чипҳо таъсир мерасонад.
Дуюм, хусусиятҳои моддӣ
Сахтӣ: Сахтии маводи асосии гранит бояд ба сахтии Шор HS70 ё болотар расад. Сахтии баланд метавонад ба фарсудашавии зуд-зуд ҳаракат ва соиши ҷузъҳо ҳангоми кори таҷҳизот муқовимат кунад ва кафолат диҳад, ки пойгоҳ пас аз истифодаи дарозмуддат андозаи дақиқи баландро нигоҳ дорад. Дар таҷҳизоти бастабандии чип, бозуи робот зуд-зуд чипро гирифта, дар пойгоҳ ҷойгир мекунад ва сахтии баланди пойгоҳ метавонад кафолат диҳад, ки сатҳи харошидан осон нест ва дурустии ҳаракати бозуи роботро нигоҳ дорад.
Зичӣ: Зичии моддӣ бояд дар байни 2,6-3,1 г/см³ бошад. Зичии мувофиқ пойгоҳро устувории сифатнок мекунад, ки метавонад мустаҳкамии кофӣ барои дастгирии таҷҳизотро таъмин кунад ва дар насб ва интиқоли таҷҳизот аз сабаби вазни зиёдатӣ душворӣ наорад. Дар таҷҳизоти калони санҷиши нимноқилҳо, зичии устувори пойгоҳ барои коҳиш додани интиқоли ларзиш ҳангоми кори таҷҳизот ва беҳтар кардани дақиқии ошкор кӯмак мекунад.
Устувории гармӣ: коэффисиенти тавсеаи хатӣ камтар аз 5 × 10⁻⁶/℃ аст. Тачхизоти нимнокил ба тагйирёбии харорат хеле хассос буда, устувории гармии поя бевосита ба дурустии тачхизот вобаста аст. Дар ҷараёни литография, тағйирёбии ҳарорат метавонад боиси васеъшавӣ ё кашиши пой гардад, ки боиси инҳироф шудани андозаи намунаи экспозиция мегардад. Пойгоҳи гранитӣ бо коэффисиенти тавсеаи хаттии паст метавонад тағирёбии андозаро дар як диапазони хеле хурд ҳангоми тағирёбии ҳарорати кории таҷҳизот (умуман 20-30 ° C) назорат кунад, то дақиқии литографияро таъмин кунад.
Сеюм, сифати рӯизаминӣ
Ноҳамворӣ: Ноҳамвории сатҳӣ арзиши Ra дар пойгоҳ аз 0,05μm зиёд нест. Сатҳи ултра ҳамвор метавонад адсорбсияи чанг ва наҷосатро коҳиш диҳад ва таъсирро ба тозагии муҳити истеҳсолии чипи нимноқил кам кунад. Дар цехи бе чанги чиптайёркунй заррачахои хурд метавонанд ба норасоихо ба монанди расиши кутохи чип оварда расонанд ва сатхи хамвори поя барои нигох доштани мухити тозаи цех ва баланд бардоштани хосилнокии чип мусоидат мекунад.
Нуқсонҳои микроскопӣ: Дар сатҳи пойгоҳ ягон тарқишҳои намоён, сӯрохиҳои қум, сӯрохҳо ва дигар нуқсонҳо иҷозат дода намешавад. Дар сатњи микроскопї шумораи нуќсонњое, ки диаметрашон аз 1 мкм дар як сантиметри мураббаъ зиёд аст, бо микроскопияи электронї набояд аз 3 адад зиёд бошад. Ин норасоиҳо ба мустаҳкамии сохтор ва ҳамвории сатҳи пойгоҳ таъсир мерасонанд ва баъд ба устуворӣ ва дақиқии таҷҳизот таъсир мерасонанд.
Чорум, устуворӣ ва муқовимат ба зарба
Устувории динамикӣ: Дар муҳити ларзиши тақлидшуда, ки тавассути кори таҷҳизоти нимноқилӣ тавлид мешавад (диапазони басомади ларзиш 10-1000Гц, амплитудаи 0.01-0.1мм), ҷойгузинии ларзиши нуқтаҳои асосии васлкунӣ дар пойгоҳ бояд дар ҳудуди ±0.05μm назорат карда шавад. Таҷҳизоти санҷишии нимноқилҳоро мисол мегирем, агар дар вақти кор ларзиши худи дастгоҳ ва ларзиши муҳити атроф ба пойгоҳ интиқол дода шавад, ба дурустии сигнали санҷиш халал расонида метавонад. Суботи хуби динамикӣ метавонад натиҷаҳои боэътимоди санҷишро таъмин кунад.
Муқовимат ба сейсмикӣ: Пойгоҳ бояд иҷрои аълои сейсмикӣ дошта бошад ва ҳангоми дучор шудан ба ларзиши ногаҳонии беруна метавонад энергияи ларзишро зуд коҳиш диҳад (масалан, ларзиши симулятсияи мавҷи сейсмикӣ) ва боварӣ ҳосил кунед, ки мавқеи нисбии ҷузъҳои асосии таҷҳизот дар ҳудуди ±0,1μm тағир меёбад. Дар заводхои нимнокилхои минтакахои ба заминчунбй тобовар базахои ба зилзила тобовар метавонанд тачхизоти гаронбахои нимнокилиро самаранок хифз намуда, хавфи вайрон шудани тачхизот ва вайрон шудани истехсолотро аз ларзиш кам кунанд.
5. Устувории химиявӣ
Муқовимат ба зангзании: Пойгоҳи гранит бояд ба зангзании агентҳои кимиёвии умумӣ дар раванди истеҳсоли нимноқилҳо, ба монанди кислотаи hydrofluoric, aqua regia, ва ғайра тоб. Пас аз soaking дар маҳлули кислотаи hydrofluoric бо фраксияи массаи 40% барои 24 соат, сатҳи талафоти сифати рӯизаминӣ набояд аз 0,01% зиёд бошад; Дар оби региа (таносуби ҳаҷми кислотаи гидрохлорид ба кислотаи нитрат 3:1) дар давоми 12 соат тар кунед ва дар рӯи он осори ошкори зангзанӣ вуҷуд надорад. Раванди истеҳсоли нимноқилҳо равандҳои гуногуни кимиёвӣ ва тозакуниро дар бар мегирад ва муқовимати хуби зангзании пойгоҳ метавонад кафолат диҳад, ки истифодаи дарозмуддат дар муҳити кимиёвӣ вайрон нашавад ва дақиқӣ ва якпорчагии сохтор нигоҳ дошта шавад.
Мубориза бар зидди ифлосшавӣ: Маводи асосӣ дорои ҷабби ифлоскунандаҳои маъмул дар муҳити истеҳсоли нимноқилҳо мебошад, аз қабили газҳои органикӣ, ионҳои металлӣ ва ғайра. Ҳангоми ҷойгир кардан дар муҳити дорои 10 PPM газҳои органикӣ (масалан, бензол, толуол) ва 1ppm ионҳои металлӣ (масалан, ионҳои мис, тағирёбии кори оҳан ва 7 соат) ифлоскунандаҳо дар сатҳи пойгоҳ ночиз аст. Ин имкон намедиҳад, ки ифлоскунандаҳо аз сатҳи асосӣ ба майдони истеҳсоли чип гузаранд ва ба сифати чип таъсир расонанд.
Вақти фиристодан: Март-28-2025