1. Дақиқии андозагирӣ
Ҳамворӣ: ҳамвории сатҳи пойгоҳ бояд ба стандарти хеле баланд расад ва хатогии ҳамворӣ набояд дар ҳама гуна масоҳати 100мм×100мм аз ±0.5μm зиёд бошад; Барои тамоми сатҳи пойгоҳ, хатогии ҳамворӣ дар доираи ±1μm назорат карда мешавад. Ин кафолат медиҳад, ки ҷузъҳои калидии таҷҳизоти нимноқил, ба монанди сари экспозитсияи таҷҳизоти литография ва мизи зондҳои таҷҳизоти ошкоркунии чип, метавонанд дар сатҳи баландсифат устувор насб ва кор кунанд, дақиқии роҳи оптикӣ ва пайвасткунии схемаи таҷҳизотро таъмин кунанд ва аз инҳирофи ҷойивазкунии ҷузъҳо, ки аз сабаби сатҳи нобаробари пойгоҳ ба вуҷуд меоянд, ки ба истеҳсол ва дақиқии ошкоркунии чипи нимноқил таъсир мерасонад, пешгирӣ кунанд.
Ростӣ: Ростӣ будани ҳар як канори таҳкурсӣ муҳим аст. Дар самти дарозӣ, хатогии ростӣ набояд аз ±1μm барои 1m зиёд бошад; Хатои ростии диагоналӣ дар доираи ±1.5μm назорат карда мешавад. Масалан, мошини литографияи дақиқи баландро истифода барем, вақте ки миз дар баробари рельси роҳнамои таҳкурсӣ ҳаракат мекунад, ростии канори таҳкурсӣ мустақиман ба дақиқии траекторияи миз таъсир мерасонад. Агар ростӣ ба стандарт мувофиқат накунад, нақшаи литография таҳриф ва деформатсия мешавад, ки боиси коҳиши ҳосилнокии истеҳсоли чип мегардад.
Параллелизм: Хатои параллелизми сатҳҳои болоӣ ва поёнии таҳкурсӣ бояд дар доираи ±1μm назорат карда шавад. Параллелизми хуб метавонад устувории маркази умумии вазниниро пас аз насби таҷҳизот таъмин кунад ва қувваи ҳар як ҷузъ яксон бошад. Дар таҷҳизоти истеҳсоли вафли нимноқилӣ, агар сатҳҳои болоӣ ва поёнии таҳкурсӣ параллел набошанд, вафл ҳангоми коркард майл мекунад, ки ба якрангии раванд, ба монанди кандакорӣ ва пӯшиш таъсир мерасонад ва аз ин рӯ ба мувофиқати кори чип таъсир мерасонад.
Дуюм, хусусиятҳои моддӣ
Сахтӣ: Сахтии маводи асосии гранитӣ бояд ба сахтии Шор HS70 ё болотар бирасад. Сахтии баланд метавонад ба фарсудашавии аз ҳаракати зуд-зуд ва соишҳои ҷузъҳо ҳангоми кори таҷҳизот ба вуҷуд омада самаранок муқовимат кунад ва кафолат диҳад, ки пойгоҳ пас аз истифодаи дарозмуддат андозаи дақиқии баландро нигоҳ дорад. Дар таҷҳизоти бастабандии чип, дасти робот зуд-зуд чипро гирифта, ба пойгоҳ мегузорад ва сахтии баланди пойгоҳ метавонад кафолат диҳад, ки сатҳ харошиданро осон намекунад ва дақиқии ҳаракати дасти роботро нигоҳ медорад.
Зичӣ: Зичии мавод бояд аз 2.6 то 3.1 г/см³ бошад. Зичии мувофиқ пойгоҳро устувории босифат мегардонад, ки метавонад сахтии кофиро барои дастгирии таҷҳизот таъмин кунад ва дар насб ва интиқоли таҷҳизот аз сабаби вазни аз ҳад зиёд мушкилот эҷод намекунад. Дар таҷҳизоти калони санҷиши нимноқилҳо, зичии устувори пойгоҳ ба коҳиш додани интиқоли ларзиш ҳангоми кори таҷҳизот ва беҳтар кардани дақиқии ошкоркунӣ мусоидат мекунад.
Устувории гармӣ: коэффитсиенти васеъшавии хаттӣ аз 5×10⁻⁶/℃ камтар аст. Таҷҳизоти нимноқилҳо ба тағирёбии ҳарорат хеле ҳассосанд ва устувории гармии пойгоҳ мустақиман ба дақиқии таҷҳизот алоқаманд аст. Дар раванди литография, ноустувории ҳарорат метавонад боиси васеъшавӣ ё кашиши пойгоҳ гардад, ки дар натиҷа андозаи намунаи экспозиция ба инҳироф оварда мерасонад. Пойгоҳи гранитӣ бо коэффитсиенти пасти васеъшавии хаттӣ метавонад тағирёбии андозаро дар диапазони хеле хурд ҳангоми тағирёбии ҳарорати кории таҷҳизот (одатан 20-30°C) назорат кунад, то дақиқии литографияро таъмин кунад.
Сеюм, сифати сатҳ
Ноҳамворӣ: Арзиши ноҳамвории сатҳи Ra дар пойгоҳ аз 0,05 мкм зиёд нест. Сатҳи ултра ҳамвор метавонад адсорбсияи чанг ва ифлосиҳоро кам кунад ва таъсирро ба тозагии муҳити истеҳсоли чипҳои нимноқилӣ кам кунад. Дар коргоҳи истеҳсоли чипҳои бечанг, зарраҳои хурд метавонанд ба камбудиҳо, ба монанди кӯтоҳ будани занҷираи чип оварда расонанд ва сатҳи ҳамвори пойгоҳ ба нигоҳ доштани тозагии муҳити коргоҳ ва беҳтар кардани ҳосилнокии чип мусоидат мекунад.
Нуқсонҳои микроскопӣ: Дар сатҳи таҳкурсӣ набояд ягон тарқишҳои намоён, сӯрохиҳои рег, сӯрохиҳо ва дигар нуқсонҳо мавҷуд бошанд. Дар сатҳи микроскопӣ, шумораи нуқсонҳое, ки диаметри онҳо аз 1 мкм дар як сантиметри мураббаъ зиёдтар аст, набояд тавассути микроскопияи электронӣ аз 3 зиёд бошад. Ин нуқсонҳо ба мустаҳкамии сохторӣ ва ҳамвории сатҳи таҳкурсӣ таъсир мерасонанд ва сипас ба устуворӣ ва дақиқии таҷҳизот таъсир мерасонанд.
Чорум, устуворӣ ва муқовимат ба зарба
Устувории динамикӣ: Дар муҳити ларзиши симулятсияшуда, ки дар натиҷаи кори таҷҳизоти нимноқилӣ ба вуҷуд меояд (диапазони басомади ларзиш 10-1000 Гц, амплитуда 0.01-0.1 мм), ҷойивазкунии ларзиши нуқтаҳои калидии васлкунӣ дар пойгоҳ бояд дар доираи ±0.05 мкм назорат карда шавад. Масалан, таҷҳизоти санҷиши нимноқилро истифода барем, агар ларзиши худи дастгоҳ ва ларзиши муҳити атроф ҳангоми кор ба пойгоҳ интиқол дода шавад, дақиқии сигнали санҷиш метавонад халалдор шавад. Устувории хуби динамикӣ метавонад натиҷаҳои боэътимоди санҷишро таъмин кунад.
Муқовимати сейсмикӣ: Пойгоҳ бояд дорои сифати аълои сейсмикӣ бошад ва ҳангоми дучор шудан ба ларзиши ногаҳонии беруна (масалан, ларзиши симулятсияи мавҷҳои сейсмикӣ) метавонад энергияи ларзишро зуд коҳиш диҳад ва таъмин намояд, ки мавқеи нисбии ҷузъҳои калидии таҷҳизот дар дохили ±0.1μm тағйир ёбад. Дар корхонаҳои нимноқилҳо дар минтақаҳои осебпазир ба заминларза, пойгоҳҳои ба заминларза тобовар метавонанд таҷҳизоти гаронбаҳои нимноқилро самаранок муҳофизат кунанд ва хатари вайрон шудани таҷҳизот ва қатъ шудани истеҳсолотро аз сабаби ларзиш коҳиш диҳанд.
5. Устувории кимиёвӣ
Муқовимат ба зангзанӣ: Пойгоҳи гранит бояд ба зангзании моддаҳои кимиёвии маъмулӣ дар раванди истеҳсоли нимноқилҳо, ба монанди кислотаи гидрофторӣ, аква регия ва ғайра тоб оварад. Пас аз тар кардан дар маҳлули кислотаи гидрофторӣ бо ҳиссаи массавии 40% барои 24 соат, суръати талафи сифати сатҳ набояд аз 0,01% зиёд бошад; Дар аква регия (таносуби ҳаҷми кислотаи гидрохлорӣ ба кислотаи нитрат 3:1) барои 12 соат тар кунед ва дар сатҳ ягон нишонаҳои возеҳи зангзанӣ боқӣ намонад. Раванди истеҳсоли нимноқилҳо равандҳои гуногуни кандакорӣ ва тозакунии кимиёвиро дар бар мегирад ва муқовимати хуби зангзании пойгоҳ метавонад кафолат диҳад, ки истифодаи дарозмуддат дар муҳити кимиёвӣ вайрон намешавад ва дақиқӣ ва якпорчагии сохторӣ нигоҳ дошта мешавад.
Зидди ифлосшавӣ: Маводи асосӣ дар муҳити истеҳсоли нимноқилҳо ифлоскунандаҳои маъмулӣ, аз қабили газҳои органикӣ, ионҳои металлӣ ва ғайраро хеле кам ҷаббида мегирад. Ҳангоми ҷойгир кардан дар муҳите, ки дорои 10 PPM газҳои органикӣ (масалан, бензол, толуол) ва 1 ppm ионҳои металлӣ (масалан, ионҳои мис, ионҳои оҳан) мебошад, барои 72 соат, тағирёбии самаранокӣ, ки дар натиҷаи адсорбсияи ифлоскунандаҳо дар сатҳи асосӣ ба вуҷуд меояд, ночиз аст. Ин аз интиқоли ифлоскунандаҳо аз сатҳи асосӣ ба минтақаи истеҳсоли чип ва таъсир расонидан ба сифати чип пешгирӣ мекунад.
Вақти нашр: 28 марти соли 2025