Дар раванди пешрафти саноати нимноқилҳо ба сӯи равандҳои истеҳсоли наномикёс, буридани вафли, ҳамчун як пайванди калидӣ дар истеҳсоли чипҳо, барои устувории таҷҳизот талаботи бениҳоят сахт дорад. Пойгоҳи гранит бо муқовимати барҷастаи ларзиш ва устувории гармии худ як ҷузъи асосии таҷҳизоти буридани вафли шуда, кафолати боэътимоди ноил шудан ба коркарди баландсифат ва самаранокии вафлиро фароҳам меорад. .
Хусусиятҳои баланди намандозӣ ва зидди ларзиш: Ҳифзи дақиқии буридани сатҳи нано
Вақте ки таҷҳизоти буридани вафли кор мекунад, гардиши баланди шпиндель, ларзиши басомади баланди асбоби буридан ва ларзиши муҳити зист, ки таҷҳизоти атроф ба вуҷуд меояд, ҳама ба дақиқии буридан таъсири калон мерасонанд. Қобилияти хомӯш кардани пойгоҳҳои металлии анъанавӣ маҳдуд аст, ки зуд суст кардани ларзишҳоро душвор мегардонад, ки ба ҷилти дараҷаи микронҳои асбобҳои буридан оварда мерасонад ва бевосита боиси нуқсонҳо ба монанди кунҷҳои чипшуда ва тарқишҳо дар вафлиҳо мегардад. Хусусиятхои баланди намкунаки базаи гранит ин масъаларо ба куллй хал карданд. .
Кристаллҳои минералии дохилии гранит ба ҳам зич пайваст шуда, сохтори табиии энергияро ташкил медиҳанд. Вақте ки ларзиш ба пойгоҳ интиқол дода мешавад, микроструктураи дохилии он метавонад энергияи ларзишро зуд ба энергияи гармӣ табдил диҳад ва ба пастшавии самараноки ларзиш ноил шавад. Маълумотҳои таҷрибавӣ нишон медиҳанд, ки дар як муҳити ларзиш, пойгоҳи гранит метавонад амплитудаи ларзишро дар давоми 0,5 сония бештар аз 90% коҳиш диҳад, дар ҳоле ки пойгоҳи металлӣ аз 3 то 5 сония лозим аст. Ин иҷрои барҷастаи дампинг кафолат медиҳад, ки асбоби буридан дар ҷараёни буридани наномикёс устувор боқӣ мемонад ва канори ҳамвори буридани вафлиро кафолат медиҳад ва суръати чипро самаранок коҳиш медиҳад. Масалан, дар раванди буридани вафли 5 нм, таҷҳизоти дорои пойгоҳи гранитӣ метавонад андозаи чипро дар ҳудуди 10 мкм назорат кунад, ки нисбат ба таҷҳизоти дорои пойгоҳи металлӣ беш аз 40% баландтар аст. .
Коэффисиенти ултра пасти васеъшавии гармӣ: Ба таъсири тағирёбии ҳарорат тобовар аст
Дар рафти буридани пластинка гармии дар натичаи соиши асбобхои буранда ба вучуд омада, аз кори дуру дарози тачхизот паро-канда шудани гармй ва тагйир ёфтани харорати мухити устохона хамаи ин боиси деформатсияи гармии кисмхои тачхизот мегардад. Коэффисиенти васеъшавии гармии маводи металлӣ нисбатан баланд аст (тақрибан 12×10⁻⁶/℃). Вақте ки ҳарорат то 5 ℃ тағъир меёбад, пойгоҳи металлии 1-метра метавонад деформатсияи 60 микронро аз сар гузаронад, ки мавқеи буришро иваз мекунад ва ба дақиқии буридан таъсири ҷиддӣ мерасонад. .
Коэффисиенти васеъшавии гармии пойгоҳи гранитӣ танҳо (4-8) ×10⁻⁶/℃ аст, ки камтар аз сеяки масолеҳи металлӣ аст. Дар зери ҳамон тағирёбии ҳарорат, тағирёбии андозагирии онро қариб нодида гирифтан мумкин аст. Маълумоти ченкунии як корхонаи муайяни истеҳсоли нимноқилҳо нишон медиҳад, ки дар давоми 8-соатаи доимии буридани пластинҳои баландшиддат, вақте ки ҳарорати муҳити атроф 10 ℃ тағир меёбад, мавқеи буриши таҷҳизот бо пойгоҳи гранитӣ камтар аз 20 микрон аст, дар ҳоле ки таҷҳизоти дорои пойгоҳи металлӣ аз 60 мкм зиёд аст. Ин нишондиҳандаи устувори гармӣ кафолат медиҳад, ки мавқеи нисбии байни асбоби буридан ва вафли ҳамеша дақиқ боқӣ мемонад. Ҳатто дар ҳолати кори доимии дарозмуддат ё тағироти шадид дар ҳарорати муҳити зист, мувофиқати дақиқии буришро нигоҳ доштан мумкин аст. .
Сахтӣ ва муқовимат ба фарсудашавӣ: Таъмини кори дарозмуддати устувори таҷҳизот
Илова бар бартариҳои муқовимат ба ларзиш ва устувории гармӣ, устувории баланд ва муқовимати фарсудашавии пойгоҳи гранит эътимоднокии таҷҳизоти буридани вафлиро боз ҳам баланд мебардорад. Гранит сахтии аз 6 то 7 дар миқёси Mohs ва қувваи фишурдани зиёда аз 120 МПа дорад. Он метавонад ба фишори бузург ва қувваи таъсир ҳангоми буридан тоб оварад ва ба деформатсия майл надорад. Дар ҳамин ҳол, сохтори зиччи он ба он муқовимати аълои фарсудашавӣ медиҳад. Хатто дар вакти тез-тез буридани корхо, сатхи поя ба фарсудашавй моил нест ва ин кафолат медихад, ки тачхизот муддати дароз кори дакикии баландро нигох медорад. .
Дар татбиқи амалӣ, бисёре аз корхонаҳои истеҳсоли вафель ҳосили маҳсулот ва самаранокии истеҳсолотро тавассути қабули таҷҳизоти буридани пояҳои гранитӣ ба таври назаррас беҳтар карданд. Маълумот аз як корхонаи пешбари ҷаҳонии рехтагарӣ нишон медиҳад, ки пас аз ҷорӣ кардани таҷҳизоти пойгоҳи гранит, ҳосили буридани вафли аз 88% то 95% афзоиш ёфтааст, давраи нигоҳдории таҷҳизот се маротиба дароз карда шудааст, ки хароҷоти истеҳсолиро самаранок коҳиш медиҳад ва рақобатпазирии бозорро баланд мебардорад. .
Хулоса, пойгоҳи гранит бо муқовимати аълои ларзиш, устувории гармӣ, устувории баланд ва муқовимати фарсудашавӣ кафолатҳои ҳамаҷонибаи иҷрои таҷҳизоти буридани вафлиро фароҳам меорад. Вақте ки технологияи нимноқилҳо ба сӯи дақиқии баландтар пеш меравад, пойгоҳҳои гранитӣ дар соҳаи истеҳсоли вафель нақши муҳимтар бозида, ба рушди муттасили инноватсионии саноати нимноқил мусоидат мекунанд.
Вақти фиристодан: 20 май-2025