Истеҳсоли нимноқилҳо: Дар раванди истеҳсоли чип, раванди фотолитография бояд намунаи схемаро ба вафли дақиқ интиқол диҳад. Пойгоҳи гранитии як меҳвари ҳавоии шинокунандаи модули ҳаракати ултра дақиқ метавонад ҷойгиршавии дақиқи баланд ва дастгирии устувори мизи вафлиро дар таҷҳизоти литография таъмин кунад. Масалан, ASML ва дигар истеҳсолкунандагони мошинҳои литографияи машҳури байналмилалӣ дар таҷҳизоти баландсифати худ модулҳои ҳаракати ҳавоии гранитро истифода мебаранд, ки метавонанд дақиқии ҷойгиршавии вафлиро дар сатҳи нанометр назорат кунанд, то дақиқии намунаи литографияро таъмин кунанд ва ба ин васила ҳамгироӣ ва иҷрои чипро беҳтар кунанд.
Майдони андозагирии дақиқ: CMM як таҷҳизоти дақиқи андозагирӣ аст, ки маъмулан дар истеҳсолоти саноатӣ истифода мешавад, ки барои чен кардани андоза, шакл ва дақиқии мавқеъи порчаи корӣ истифода мешавад. Модули ҳаракати ултра дақиқи шинокунандаи як меҳвари ҳаво дар пойгоҳи гранит метавонад ҳамчун платформаи ҳаракати CMM истифода шавад, ки метавонад ҳаракати хатти дақиқи баландро амалӣ кунад ва траекторияи устувори ҳаракатро барои зондҳои ченкунӣ таъмин кунад. Масалан, CMM-и олиҷаноби Hexagon ин комбинатсияро барои чен кардани қисмҳои калон ва мураккаб бо дақиқии ченкунӣ то сатҳи микрон истифода мебарад ва барои назорати сифати қисмҳо дар мошинсозӣ, аэрокосмос ва дигар соҳаҳо кафолати қавӣ медиҳад.
Майдони аэрокосмос: Ҳангоми коркард ва озмоиши қисмҳои аэрокосмосӣ дақиқии баланд талаб карда мешавад. Масалан, коркарди парчаҳои муҳаррики ҳавопаймо назорати дақиқи траекторияи ҳаракати асбобро талаб мекунад, то дурустии профили теғро таъмин кунад. Пойгоҳи гранити модули ҳаракати ултра дақиқи шинокунандаи як меҳвари ҳаво метавонад ба маркази коркарди панҷ меҳвар ва таҷҳизоти дигар татбиқ карда шавад, то назорати ҳаракати дақиқи баландро барои асбоб таъмин кунад ва кафолат диҳад, ки дақиқии коркарди майса ба талаботи тарроҳӣ ҷавобгӯ бошад. Дар баробари ин дар процесси монтажи двигатели авиационй барои муайян кардани дурустии монтажи кисмхо аз асбобхои ченкунии дакики баланд низ истифода бурдан лозим аст. Модули ҳаракати ҳавоии шинокунандаи пойгоҳи гранит метавонад дастгирии устувор ва ҳаракати дақиқро барои таҷҳизоти ченкунӣ барои таъмини сифати васлкунӣ таъмин кунад.
Майдони санҷиши оптикӣ: Дар раванди истеҳсол ва озмоиши ҷузъҳои оптикӣ, ҷойгиркунии дақиқ ва андозагирии ҷузъҳои оптикиро иҷро кардан лозим аст. Масалан, ҳангоми истеҳсоли ҷузъҳои оптикии дақиқи баланд, аз қабили оинаҳо ва линзаҳо, барои муайян кардани дақиқии шакли сатҳ интерферометрҳо ва дигар таҷҳизотро истифода бурдан лозим аст. Пойгоҳи гранити модули ҳаракати ултра дақиқи ҳавоии шинокунанда метавонад ҳамчун платформаи ҳаракати интерферометр истифода шавад, ки метавонад дақиқии ҷойгиркунии субмикронро дарк кунад ва барои муайян кардани ҷузъҳои оптикӣ дастгирии дақиқи маълумотро таъмин кунад. Илова бар ин, дар таҷҳизоти коркарди лазерӣ, инчунин зарур аст, ки платформаи ҳаракати дақиқи баландро барои назорат кардани траекторияи сканерии чӯби лазерӣ истифода барад, пойгоҳи гранитии модули ҳаракати шинокунандаи ҳаво метавонад ба ин талабот ҷавобгӯ бошад, то ба коркарди лазерии дақиқи баланд ноил шавад.
Вақти фиристодан: апрел-07-2025