Истеҳсоли нимноқилҳо: Дар раванди истеҳсоли чип, раванди фотолитография бояд нақшаи схемаро дақиқ ба пластина интиқол диҳад. Пойгоҳи гранитии модули ҳаракати ултра-дақиқи шинокунандаи ҳавои якмеҳвар метавонад ҷойгиркунии дақиқи баланд ва дастгирии устувори мизи пластинаро дар таҷҳизоти литография таъмин кунад. Масалан, ASML ва дигар истеҳсолкунандагони мошинҳои литографияи машҳури байналмилалӣ дар таҷҳизоти баландсифати худ модулҳои ҳаракати шинокунандаи ҳавои асоси гранитиро истифода мебаранд, ки метавонанд дақиқии ҷойгиркунии пластинаро дар сатҳи нанометр назорат кунанд, то дақиқии нақшаи литографияро таъмин кунанд ва бо ин васила ҳамгироӣ ва кори чипро беҳтар созанд.
Соҳаи андозагирии дақиқ: CMM як таҷҳизоти андозагирии дақиқ аст, ки маъмулан дар истеҳсолоти саноатӣ истифода мешавад ва барои чен кардани андоза, шакл ва дақиқии мавқеи кор истифода мешавад. Модули ҳаракати ултра-дақиқии шинокунандаи ҳавои якмеҳвар дар пояи гранитӣ метавонад ҳамчун платформаи ҳаракати CMM истифода шавад, ки метавонад ҳаракати хаттии дақиқи баландро амалӣ кунад ва траекторияи устувори ҳаракатро барои зонди ченкунӣ таъмин кунад. Масалан, CMM-и баландсифати Hexagon ин комбинатсияро барои чен кардани қисмҳои калон ва мураккаб бо дақиқии ченкунӣ то сатҳи микрон истифода мебарад ва кафолати қавӣ барои назорати сифати қисмҳо дар саноати автомобилсозӣ, аэрокосмос ва дигар соҳаҳоро фароҳам меорад.
Соҳаи аэрокосмикӣ: Дар коркард ва озмоиши қисмҳои аэрокосмикӣ дақиқии баланд лозим аст. Масалан, коркарди теғҳои муҳаррики ҳавопаймо назорати дақиқи траекторияи ҳаракати асбобро талаб мекунад, то дақиқии профили теғро таъмин кунад. Пойгоҳи гранитии модули ҳаракати ултра-дақиқии ҳавоии шинокунандаи якмеҳвараро метавон ба маркази коркарди панҷмеҳвара ва дигар таҷҳизот татбиқ кард, то назорати дақиқи ҳаракатро барои асбоб таъмин кунад ва боварӣ ҳосил кунад, ки дақиқии коркарди теғ метавонад ба талаботи тарроҳӣ ҷавобгӯ бошад. Дар айни замон, дар раванди васлкунии муҳаррики аэрокосмикӣ, инчунин истифодаи таҷҳизоти ченкунии дақиқи баланд барои муайян кардани дақиқии васлкунии қисмҳо зарур аст. Модули ҳаракати шинокунандаи ҳавоии пойгоҳи гранитӣ метавонад барои таҷҳизоти ченкунӣ дастгирии устувор ва ҳаракати дақиқро таъмин кунад, то сифати васлкуниро таъмин кунад.
Соҳаи санҷиши оптикӣ: Дар раванди истеҳсол ва санҷиши ҷузъҳои оптикӣ, ҷойгиркунӣ ва андозагирии дақиқи ҷузъҳои оптикиро анҷом додан зарур аст. Масалан, ҳангоми истеҳсоли ҷузъҳои оптикии дақиқи баланд, ба монанди оинаҳо ва линзаҳо, барои муайян кардани дақиқии шакли сатҳ, истифодаи интерферометрҳо ва дигар таҷҳизот зарур аст. Пойгоҳи гранитии модули ҳаракати ултра-дақиқи шинокунандаи ҳавои якмеҳварро метавон ҳамчун платформаи ҳаракати интерферометр истифода бурд, ки метавонад дақиқии ҷойгиркунии зермикронро амалӣ кунад ва дастгирии дақиқи маълумотро барои муайян кардани ҷузъҳои оптикӣ таъмин намояд. Ғайр аз ин, дар таҷҳизоти коркарди лазерӣ, инчунин истифодаи платформаи ҳаракати дақиқи баланд барои назорат кардани траекторияи сканкунии нури лазерӣ зарур аст, пояи гранитии модули ҳаракати шинокунандаи ҳаво метавонад ба ин талабот ҷавобгӯ бошад, то коркарди дақиқи лазериро ба даст орад.
Вақти нашр: 07-апрели соли 2025