Дар соҳаҳои истеҳсоли баландсифат ва тадқиқоти илмии муосир, платформаи ҳаракати шинокунандаи ҳавои фишори дақиқ таҷҳизоти калидӣ барои ноил шудан ба амалиёти ултрадақиқ мебошад. Пойгоҳи дақиқи гранит қисми асосии пуштибони платформа мебошад ва иҷрои он бо муҳити корӣ зич алоқаманд аст. Фаҳмидани ин талаботҳои экологӣ метавонад на танҳо кори дақиқи платформаро таъмин кунад, балки як қисми муҳими корхонаро барои баланд бардоштани рақобатпазирии он дар соҳаҳои алоқаманд, ки дар зер муфассал тавсиф карда мешавад, таъмин намояд.
1. Ҳарорат: назорати дақиқ барои таъмини устувории андозагирӣ
Гарчанде ки гранит бо устувории худ маълум аст, коэффисиенти васеъшавии гармии он ба сифр баробар нест ва тағироти хурди ҳарорат то ҳол метавонад ба дақиқии андозагирии он таъсир расонад. Умуман, коэффисиенти васеъшавии гармии гранит 5-7 × 10⁻⁶/℃ аст. Дар сенарияи татбиқи платформаи ҳаракати шинокунандаи фишори дақиқи статикии ҳаво, ин тағироти ночиз тавассути платформа тақвият дода мешавад, ки метавонад ба инҳироф кардани дақиқии ҳаракат оварда расонад. Масалан, дар раванди истеҳсоли микросхемаҳои нимноқилӣ, раванди литография барои ҷойгиркунии талаботҳои дақиқии сатҳи данами, тағирёбии ҳарорати муҳити зист 1 ° C, дарозии паҳлӯи 1 метр пойгоҳи гранитӣ метавонад 5-7 микрон васеъшавӣ ё кашиши хаттӣ ба вуҷуд орад, ки ин барои коҳиш додани шакли литографияи чип кифоя аст. Аз ин рӯ, платформаи шинокунандаи дақиқи фишори статикии ҳаво, ки бо пойгоҳи дақиқи гранит муҷаҳҳаз шудааст, ҳарорати идеалии муҳити корӣ бояд дар 20 ° C ± 1 ° C назорат карда шавад, корхонаҳо метавонанд системаи кондитсионерии ҳарорати доимии дақиқи баландро насб кунанд, ҳарорати муҳити атрофро пайваста назорат ва дақиқ танзим кунанд, андозаи пойгоҳи гранитро нигоҳ доранд, то устувории кори платформаи баланд-preci.
2.humidity: назорати оқилона, ҳифзи иҷрои пойгоҳи
Намӣ ба пояҳои дақиқи гранит низ таъсири калон мерасонад. Дар муҳити намии баланд гранит ба осонӣ буғи обро ҷаббида мекунад ва метавонад дар рӯи он конденсатсия пайдо шавад, ки на танҳо ба кори муътадили системаи флотатсияи ҳаво халал мерасонад, балки инчунин боиси эрозияи дарозмуддати сатҳи гранит мегардад, дақиқӣ ва мӯҳлати хизмати онро коҳиш медиҳад. Цехи суфтакунии линзаи оптикиро мисол мегирем, агар намӣ дар муддати тӯлонӣ аз 60% RH зиёд бошад, буғи обе, ки дар рӯи пойгоҳи гранит адсорб мешавад, якрангии филми шинокунандаи ҳаворо вайрон мекунад, ки дар натиҷа дақиқии суфтакунии линзаҳо ва нуқсонҳои рӯизаминӣ коҳиш меёбад. Аз ин рӯ, намии нисбии муҳити корӣ бояд дар байни 40-60% RH назорат карда шавад. Корхонаҳо метавонанд хушккунакҳо, сенсорҳои намӣ ва дигар таҷҳизотро барои назорат ва назорати намӣ дар вақти воқеӣ истифода баранд, барои пойгоҳи дақиқи гранит муҳити муносиби намӣ эҷод кунанд ва кори мӯътадили платформаи ҳаракати шинокунандаи фишори статикии ҳаворо таъмин кунанд.
3. тозагӣ: ба таври қатъӣ назорат кунед, дахолати зарраҳоро бартараф кунед
Зарраҳои чанг "душман"-и платформаи ҳаракати шинокунандаи ҳавои фишори статикӣ мебошанд ва ба пойгоҳи дақиқи гранит зарари калон мерасонанд. Вақте ки зарраҳои хурд ба холигии плёнкаи гази байни слайдери шинокунандаи газ ва пойгоҳи гранитӣ ворид мешаванд, онҳо метавонанд яксонии плёнкаи газро вайрон кунанд, соишро зиёд кунанд ва ҳатто сатҳи пойро харошида, ба дурустии ҳаракати платформа таъсири ҷиддӣ расонанд. Дар цехи коркарди ультра дақиқи қисмҳои кайҳонӣ, агар зарраҳои чанг дар ҳаво ба пояи гранит афтанд, траекторияи ҳаракати асбоби коркарди мошин метавонад ба дурӣ афтад ва ба дақиқии коркарди қисмҳо таъсир расонад. Аз ин рӯ, майдони корӣ бояд хеле тоза нигоҳ дошта шавад ва ба стандарти тозагии 10,000 ё ҳатто баландтар расад. Корхонаҳо метавонанд бо насби филтрҳои баландсифати ҳаво (HEPA) зарраҳои чангро дар ҳаво филтр кунанд ва аз кормандон талаб кунанд, ки либосҳои тоза, сарпӯши пойафзол ва ғайра пӯшанд, то ғубори одамонро коҳиш диҳанд ва муҳити дақиқи кории пойгоҳи гранитӣ ва платформаи ҳаракати шинокунандаи ҳавои фишори статикиро нигоҳ доранд.
4. Вибрация: изолятсияи муассир барои эҷоди фазои ҳамвор
Вибрацияи беруна ба дақиқии платформаи шинокунандаи ҳавои фишори статикии дақиқ ба таври ҷиддӣ халал мерасонад, гарчанде ки пойгоҳи гранити дақиқ дорои иқтидори муайяни сустшавии ларзиш аст, аммо ларзиши қавии баланд то ҳол метавонад маҳдудияти буферии худро вайрон кунад. Вибрацияе, ки дар натичаи харакати харакат дар атрофи завод ва кори тачхизоти калони механикй ба вучуд меояд, ба воситаи замин ба базаи гранитй мегузарад, ки ин ба дурустии харакати платформа халал мерасонад. Дар CMM-и баланд, ларзиш метавонад боиси иртиботи байни зондҳои ченкунӣ ва порчаи корӣ чен карда шавад, ки ноустувор бошад ва дар натиҷа ба инҳироф шудани маълумоти андозагирӣ оварда расонад. Барои ҳалли ин мушкилот, бояд чораҳои муассири изолятсияи ларзиш, аз қабили гузоштани тахтаҳои изолятсияи ларзиш дар майдони насби таҷҳизот, бунёди таҳкурсии изолятсияи ларзиш ё истифодаи системаи фаъоли изолятсияи ларзиш барои фаъол кардани ҷуброни ларзиши беруна ва фароҳам овардани муҳити ором ва устувори кории пойгоҳи дақиқи гранит ва платформаи фишори статикии дақиқ.
Ба талаботи экологии дар боло зикршуда мувофиқат кунед, то бартариҳои пойгоҳи дақиқи гранитро дар платформаи ҳаракати шинокунандаи ҳавои статикӣ пурра иҷро кунед, то боварӣ ҳосил кунед, ки платформа хидматҳои назорати ҳаракати дақиқ ва устувори баландро барои соҳаҳои мухталиф таъмин мекунад. Агар корхонаҳо метавонанд ба ин ҷузъиёт дар муҳити истеҳсолот таваҷҷӯҳ кунанд, онҳо имкониятро дар истеҳсолоти дақиқ, тадқиқоти илмӣ ва дигар соҳаҳо истифода мебаранд, рақобатпазирии худро баланд мебардоранд ва ба рушди устувор ноил мешаванд.
Вақти фиристодан: апрел-10-2025