.
Дар соҳаи истеҳсоли нимноқилҳо, ки дақиқии ниҳоиро пайгирӣ мекунад, коэффисиенти васеъшавии ҳароратӣ яке аз параметрҳои асосиест, ки ба сифати маҳсулот ва устувории истеҳсолот таъсир мерасонад. Дар тӯли тамоми раванд аз фотолитография, кашиш то бастабандӣ, фарқиятҳо дар коэффисиентҳои васеъшавии гармии маводҳо метавонанд ба дақиқии истеҳсолот бо роҳҳои гуногун халал расонанд. Бо вуҷуди ин, пойгоҳи гранит бо коэффиценти ултра пасти васеъшавии ҳароратӣ калиди ҳалли ин мушкилот гардид. .
Раванди литография: Деформатсияи гармӣ боиси инҳироф шудани намуна мегардад
Фотолитография як қадами асосӣ дар истеҳсоли нимноқилҳо мебошад. Тавассути мошини фотолитографӣ намунаҳои схемаи ниқоб ба сатҳи вафли бо фоторезистӣ пӯшидашуда интиқол дода мешаванд. Дар ин раванд идоракунии гармидиҳӣ дар дохили мошини фотолитография ва устувории мизи корӣ аҳамияти ҳаётан муҳим доранд. Ба сифати мисол материалхои анъанавии металлиро гирем. Коэффисиенти васеъшавии гармии онҳо тақрибан 12 × 10⁻⁶/℃ аст. Ҳангоми кори мошини фотолитография гармии тавлидшуда аз манбаи нури лазерӣ, линзаҳои оптикӣ ва ҷузъҳои механикӣ боиси 5-10 ℃ баланд шудани ҳарорати таҷҳизот мегардад. Агар мизи кории мошини литографӣ пояи металлиро истифода барад, пояи дарозии 1 метр метавонад боиси деформатсияи васеъшавии 60-120 мкм гардад, ки ин боиси тағирёбии мавқеи нисбии байни ниқоб ва вафли мегардад. .
Дар равандҳои пешрафтаи истеҳсолӣ (ба монанди 3 нм ва 2 нм), фосилаи транзистор ҳамагӣ чанд нанометр аст. Чунин деформатсияи гармии ночиз кифоя аст, ки намунаи фотолитографияро нодуруст созад, ки ба пайвастҳои транзисторҳои ғайримуқаррарӣ, ноқилҳои кӯтоҳ ё схемаҳои кушод ва дигар мушкилот оварда мерасонад, ки бевосита ба нокомии функсияҳои чип оварда мерасонад. Коэффисиенти васеъшавии гармии пойгоҳи гранит то 0,01μm/°C (яъне, (1-2) ×10⁻⁶/℃) паст аст ва деформатсия дар як тағирёбии ҳарорат танҳо 1/10-1/5 аз металл аст. Он метавонад платформаи устувори борбардорро барои мошини фотолитография таъмин кунад, интиқоли дақиқи намунаи фотолитографияро таъмин кунад ва ҳосили истеҳсоли чипҳоро ба таври назаррас баланд бардорад. .
Эзоҳ ва ҷойгиркунӣ: Ба дақиқии андозагирии сохтор таъсир мерасонад
Эттинг ва таҳшин равандҳои калидӣ барои сохтани сохторҳои схемаи сеченака дар сатҳи вафли мебошанд. Ҳангоми коркард, гази реактивӣ бо маводи рӯизаминии вафли реаксияи химиявӣ мегузарад. Дар ҳамин ҳол, ҷузъҳо ба монанди таъминоти барқи РБ ва назорати ҷараёни газ дар дохили таҷҳизот гармӣ тавлид мекунанд, ки боиси болоравии ҳарорати вафли ва ҷузъҳои таҷҳизот мегардад. Агар коэффисиенти васеъшавии гармии барандаи пластинка ё пойгоҳи таҷҳизот ба вафли мувофиқат накунад (коэффисиенти васеъшавии гармии маводи кремний тақрибан 2,6×10⁻⁶/℃), ҳангоми тағирёбии ҳарорат фишори ҳароратӣ ба вуҷуд меояд, ки метавонад боиси тарқишҳои ночиз ё каҷ шудани рӯи пластинка гардад. .
Ин намуди деформатсия ба умқи кандакорӣ ва амудии девори паҳлӯӣ таъсир карда, боиси аз талаботи тарҳрезӣ дур шудани андозаи чуқуриҳои кандашуда тавассути сӯрохиҳо ва дигар сохторҳо мегардад. Ба ҳамин монанд, дар раванди таҳшинсозии филми тунук, фарқияти васеъшавии гармӣ метавонад боиси фишори дохилии филми тунуки гузошташуда гардад, ки боиси мушкилот ба монанди кафидан ва пӯст шудани филм гардад, ки ба кори барқ ва эътимоднокии дарозмуддати чип таъсир мерасонад. Истифодаи пойгоҳҳои гранитӣ бо коэффисиенти васеъшавии гармии шабеҳ ба маводи кремний метавонад фишори гармиро ба таври муассир коҳиш диҳад ва устуворӣ ва дақиқии равандҳои таҳшин ва таҳшинро таъмин кунад. .
Марҳилаи бастабандӣ: номутобиқатии гармӣ боиси эътимоднокӣ мегардад
Дар марҳилаи бастабандии нимноқилҳо мутобиқати коэффисиентҳои васеъшавии гармӣ байни чип ва маводи бастабандӣ (ба монанди қатрони эпокси, сафол ва ғайра) аҳамияти ҳаётан муҳим дорад. Коэффисиенти васеъшавии гармии кремний, маводи асосии микросхемаҳои, нисбатан паст аст, дар ҳоле ки аксари маводи бастабандӣ нисбатан баланд аст. Вақте ки ҳарорати чип ҳангоми истифода тағир меёбад, фишори гармӣ дар байни чип ва маводи бастабандӣ аз сабаби номувофиқ будани коэффисиентҳои васеъшавии гармӣ ба вуҷуд меояд. .
Ин фишори гармӣ дар зери таъсири давраҳои такрории ҳарорат (масалан, гармкунӣ ва хунуккунӣ ҳангоми кори чип) метавонад боиси хастагии пайвастагиҳои кафшери байни чип ва субстрати бастабандӣ гардад ё боиси канда шудани симҳои пайвасткунандаи рӯи чип гардад, ки дар ниҳоят ба вайрон шудани пайвасти барқии чип оварда мерасонад. Бо интихоби маводи бастабандии субстрат бо коэффисиенти тавсеаи гармии наздик ба масолеҳи кремний ва истифодаи платформаҳои озмоишии гранитӣ бо устувории аълои гармӣ барои муайян кардани дақиқӣ дар ҷараёни бастабандӣ, мушкилоти номутобиқатии гармиро метавон ба таври муассир коҳиш дод, эътимоднокии бастабандиро беҳтар кард ва мӯҳлати хидмати чип метавонад дароз карда шавад. .
Назорати муҳити истеҳсолӣ: устувории ҳамоҳангшудаи таҷҳизот ва биноҳои корхона
Ба гайр аз он ки бевосита ба процесси истедсолот таъсир расонад, коэффициенти васеъшавии гармй инчунин ба назорати умумии экологии заводдои нимноқил алоқаманд аст. Дар коргоҳҳои бузурги истеҳсоли нимноқилҳо омилҳо ба монанди оғоз ва қатъи системаҳои кондитсионерӣ ва паҳншавии гармии кластерҳои таҷҳизот метавонанд боиси тағирёбии ҳарорати муҳити зист шаванд. Агар коэффициенти васеъшавии гармии фарши завод, базаи тачхизот ва дигар инфраструктура хеле баланд бошад, тагйирёбии харорати дарозмуддат боиси кафида шудани фарш ва тагйир ёфтани тахкурсии тачхизот мегардад ва бо хамин ба дурустии тачхизоти дакик, аз кабили дастгоххои фотолитографй ва мошинхои тайракунй таъсир мерасонад. .
Бо истифода аз пойгоҳҳои гранитӣ ҳамчун такягоҳи таҷҳизот ва якҷоя кардани онҳо бо масолеҳи сохтмонии корхона бо коэффисиентҳои пасти гармӣ муҳити устувори истеҳсолӣ ба вуҷуд оварда, басомади калибркунии таҷҳизот ва хароҷоти нигоҳдории таҷҳизот, ки аз деформатсияи гармии муҳити зист ба вуҷуд омадаанд, ва таъмини кори дарозмуддати устувори хати истеҳсоли нимноқилҳо. .
Коэффисиенти васеъшавии гармӣ дар тамоми давраи ҳаёти истеҳсоли нимноқилҳо, аз интихоби мавод, назорати раванд то бастабандӣ ва озмоиш мегузарад. Таъсири васеъшавии гармиро дар ҳар як звено ба таври қатъӣ ба назар гирифтан лозим аст. Пойгоҳҳои гранитӣ бо коэффисиенти ултра пасти васеъшавии гармидиҳӣ ва дигар хосиятҳои аъло барои истеҳсоли нимноқилҳо заминаи устувори физикӣ фароҳам меоранд ва барои пешбурди равандҳои истеҳсоли чипҳо ба дақиқии баландтар кафолат медиҳанд.
Вақти фиристодан: 20 май-2025