.
Дар соҳаи истеҳсоли нимноқилҳо, дурустии таҷҳизоти санҷиши вафли бевосита сифат ва ҳосили чипҳоро муайян мекунад. Ҳамчун таҳкурсие, ки ҷузъҳои асосии муайянкуниро дастгирӣ мекунад, устувории андозагирии маводи асосии таҷҳизот дар кори дарозмуддати таҷҳизоти таҷҳизот нақши муҳим мебозад. Гранит ва оҳан ду маводи асосии маъмулан барои таҷҳизоти санҷиши вафли истифодашаванда мебошанд. Тадқиқоти муқоисавии 10-сола фарқиятҳои ҷиддии байни онҳоро аз ҷиҳати устувории андоза ошкор намуда, барои интихоби таҷҳизот истинодҳои муҳим пешкаш мекунад. .
Замина ва тарҳрезии таҷрибавӣ
Раванди истеҳсоли пластинҳои нимноқилӣ барои дақиқии ошкор талаботи бениҳоят баланд дорад. Ҳатто як инҳирофии андозагирии сатҳи микрометр метавонад ба паст шудани кори чипҳо ё ҳатто харобшавӣ оварда расонад. Барои омӯхтани устувории андозагирии гранит ва оҳан дар давоми истифодаи дарозмуддат, гурӯҳи тадқиқотӣ таҷрибаҳоеро тарҳрезӣ карданд, ки муҳити кории воқеиро тақлид мекунанд. Намунаҳои гранит ва оҳани оҳании якхела интихоб ва дар камераи муҳити зист ҷойгир карда шуданд, ки дар он ҳарорат аз 15 ℃ то 35 ℃ ва намӣ аз 30% то 70% RH тағйир меёфт. Вибрацияи механикй дар вакти кор фармудани тачхизот ба воситаи столи ларзиш таклил карда шуд. Андозаҳои асосии намунаҳо ҳар семоҳа бо истифода аз интерферометри лазерии дақиқ чен карда шуданд ва маълумот дар тӯли 10 сол пайваста сабт карда мешуд. .
Натиҷаи таҷрибавӣ: Бартарии мутлақи гранит
Маълумоти даҳсолаи таҷрибавӣ нишон медиҳад, ки субстрати гранит устувории ҳайратангез нишон медиҳад. Коэффисиенти васеъшавии гармии он хеле паст аст, ба ҳисоби миёна танҳо 4,6 × 10⁻⁶/℃ аст. Дар зери тағироти шадиди ҳарорат, инҳирофи андоза ҳамеша дар ҳудуди ± 0,001 мм назорат карда мешавад. Дар шароити тағирёбии намӣ, сохтори зиччи гранит онро қариб бетаъсир мегардонад ва тағироти андозагирии андозашаванда ба амал намеояд. Дар муҳити ларзиши механикӣ, хусусиятҳои аълои хомӯш кардани гранит энергияи ларзишро ба таври муассир бирӯяд ва тағирёбии андоза хеле хурд аст. .
Баръакси ин, барои субстрати оҳанин, коэффисиенти миёнаи васеъшавии гармии он ба 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃ мерасад ва ҳадди инҳирофи андозагирӣ, ки дар натиҷаи тағирёбии ҳарорат дар давоми 10 сол ба вуҷуд омадааст, ±0,05мм аст. Дар мухити намнок чуян ба зангзанй ва зангзанй моил аст. Баъзе намунаҳо деформатсияи маҳаллиро нишон медиҳанд ва инҳирофи андоза бештар меафзояд. Дар зери таъсири ларзиши механикӣ, оҳани рехтагарӣ қобилияти паст кардани ларзишро дорад ва андозаи он зуд-зуд тағйир меёбад, ки қонеъ кардани талаботи дақиқи баланди санҷиши вафлиро мушкил мекунад. .
Сабаби асосии фарқияти устуворӣ
Гранит дар тӯли садҳо миллион сол тавассути равандҳои геологӣ ба вуҷуд омадааст. Сохтори дохилии он зич ва якхела буда, кристаллхои минералй устувор чойгир шудаанд, ки табиатан фишори дохилиро бартараф мекунанд. Ин онро ба тағирёбии омилҳои беруна, аз қабили ҳарорат, намӣ ва ларзиш хеле ҳассос мекунад. Оҳани рехтагарӣ бо роҳи рехтагарӣ сохта мешавад ва дар дохили он нуқсонҳои микроскопӣ ба монанди сӯрохиҳо ва сӯрохиҳои қум дорад. Дар ҳамин ҳол, фишори боқимондае, ки дар ҷараёни рехтагарӣ ба вуҷуд меояд, моил аст, ки зери ҳавасмандкунии муҳити беруна тағироти андозагириро ба вуҷуд орад. Хусусиятҳои металлии оҳани рехтагарӣ онро аз сабаби намӣ ба зангзанӣ моил мегардонад, осеби сохторро суръат мебахшад ва устувории андозаро коҳиш медиҳад. .
Таъсири таҷҳизоти санҷиши вафли
Таҷҳизоти санҷиши вафли дар асоси субстрати гранитӣ, бо иҷрои устувори андозааш метавонад кафолат диҳад, ки системаи санҷиш дақиқии баландро дар муддати тӯлонӣ нигоҳ дорад, нодуруст баҳогузорӣ ва ошкоркунии беҷавобро, ки аз драфти дақиқии таҷҳизот ба вуҷуд омадааст, коҳиш диҳад ва ҳосили маҳсулотро ба таври назаррас беҳтар созад. Дар ҳамин ҳол, талаботҳои пасти нигоҳдорӣ арзиши пурраи давраи ҳаёти таҷҳизотро коҳиш медиҳанд. Таҷҳизоте, ки бо истифода аз субстратҳои оҳанин аз сабаби устувории андозаашон суст, калибровка ва нигоҳдории зуд-зуд талаб карда мешавад. Ин на танҳо хароҷоти амалиётиро зиёд мекунад, балки метавонад ба сифати истеҳсоли нимноқилҳо аз сабаби дақиқии нокифоя таъсир расонад ва боиси талафоти эҳтимолии иқтисодӣ гардад. .
Дар доираи тамоюли саъю кӯшиши саноати нимноқилҳо ба дақиқтар ва сифати беҳтар, интихоби гранит ҳамчун маводи асосӣ барои таҷҳизоти санҷиши вафли, бешубҳа, як иқдоми оқилона барои таъмини кори таҷҳизот ва баланд бардоштани рақобатпазирии корхонаҳо мебошад. .
Вақти фиристодан: май-14-2025