Дар соҳаи истеҳсоли нимноқилҳо, дақиқии таҷҳизоти санҷиши пластинаҳо мустақиман сифат ва ҳосилнокии чипҳоро муайян мекунад. Ҳамчун асосе, ки ҷузъҳои асосии ошкоркуниро дастгирӣ мекунад, устувории андозаи маводи асосии таҷҳизот дар кори дарозмуддати амалиётии таҷҳизот нақши муҳим мебозад. Гранит ва оҳани рехтагарӣ ду маводи асосии маъмулан истифодашаванда барои таҷҳизоти санҷиши пластина мебошанд. Таҳқиқоти муқоисавии 10-сола фарқиятҳои назарраси байни онҳоро аз ҷиҳати устувории андоза ошкор кард ва барои интихоби таҷҳизот маълумотномаҳои муҳим фароҳам овард.
Замина ва тарҳрезии таҷрибавӣ
Раванди истеҳсоли пластинаҳои нимноқилӣ талаботи ниҳоят баландро барои дақиқии муайянкунӣ дорад. Ҳатто як инҳирофи андоза дар сатҳи микрометр метавонад ба паст шудани кори чип ё ҳатто партофтан оварда расонад. Барои омӯхтани устувории андозаҳои гранит ва оҳани рехтагарӣ ҳангоми истифодаи дарозмуддат, гурӯҳи тадқиқотӣ таҷрибаҳоеро тарҳрезӣ карданд, ки муҳити воқеии кориро тақлид мекарданд. Намунаҳои гранит ва оҳани рехтагарӣ бо ҳамон хусусият интихоб карда шуда, дар камераи муҳити зист ҷойгир карда шуданд, ки дар он ҷо ҳарорат аз 15℃ то 35℃ ва намӣ аз 30% то 70% RH тағйир меёфт. Ларзиши механикӣ ҳангоми кори таҷҳизот тавассути ҷадвали ларзиш тақлид карда шуд. Андозаҳои калидии намунаҳо ҳар семоҳа бо истифода аз интерферометри лазерии баландсифат чен карда мешуданд ва маълумот дар тӯли 10 сол пайваста сабт мешуд.
Натиҷаи таҷрибавӣ: Бартарии мутлақи гранит
Даҳ соли маълумоти таҷрибавӣ нишон медиҳанд, ки субстрати гранит устувории аҷибе нишон медиҳад. Коэффисиенти васеъшавии гармии он хеле паст буда, ба ҳисоби миёна танҳо 4.6 × 10⁻⁶/℃ аст. Дар шароити тағйироти шадиди ҳарорат, инҳирофи андоза ҳамеша дар ҳудуди ±0.001 мм назорат карда мешавад. Дар муқобили тағйироти намӣ, сохтори зичи гранит онро қариб бетағйир мегузорад ва ягон тағйироти андозагирии ченшаванда ба амал намеояд. Дар муҳити ларзиши механикӣ, хусусиятҳои аълои пасткунандаи гранит энергияи ларзишро самаранок ҷаббида мегиранд ва ноустувории андоза хеле ночиз аст.
Баръакс, барои зеризаминии оҳани рехтагарӣ, коэффитсиенти миёнаи васеъшавии гармии он ба 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃ мерасад ва ҳадди аксар инҳирофи андоза, ки аз тағирёбии ҳарорат дар давоми 10 сол ба вуҷуд меояд, ±0.05 мм аст. Дар муҳити намнок, оҳани рехтагарӣ ба зангзанӣ ва зангзанӣ майл дорад. Баъзе намунаҳо деформатсияи маҳаллиро нишон медиҳанд ва инҳирофи андоза боз ҳам меафзояд. Таҳти таъсири ларзиши механикӣ, оҳани рехтагарӣ самаранокии паст кардани ларзишро паст мекунад ва андозаи он зуд-зуд тағйир меёбад, ки иҷрои талаботи дақиқи баланди санҷиши пластинаҳоро душвор мегардонад.
Сабаби асосии фарқияти устуворӣ
Гранит дар тӯли садҳо миллион сол тавассути равандҳои геологӣ ташаккул ёфтааст. Сохтори дохилии он зич ва якхела аст ва кристаллҳои минералӣ устувор ҷойгир шудаанд, ки фишори дохилиро табиатан аз байн мебаранд. Ин онро ба тағйирот дар омилҳои беруна, ба монанди ҳарорат, намӣ ва ларзиш, хеле ҳассос намегардонад. Оҳани рехтагарӣ бо роҳи рехтагарӣ сохта мешавад ва дар дохили он нуқсонҳои микроскопӣ, ба монанди сӯрохиҳо ва сӯрохиҳои рег дорад. Дар айни замон, фишори боқимонда, ки ҳангоми раванди рехтагарӣ ба вуҷуд меояд, метавонад дар зери ангезиши муҳити беруна тағйироти андозаро ба вуҷуд орад. Хусусиятҳои металлии оҳани рехтагарӣ онро аз сабаби намӣ ба зангзанӣ моил мегардонанд, ки боиси суръат бахшидани осеби сохторӣ ва коҳиш додани устувории андоза мегардад.
Таъсир ба таҷҳизоти санҷиши вафлҳо
Таҷҳизоти санҷиши пластинаҳо, ки дар асоси субстрати гранитӣ сохта шудаанд, бо иҷрои устувори андозагирии худ, метавонанд кафолат диҳанд, ки системаи санҷиш муддати тӯлонӣ дақиқии баландро нигоҳ медорад, баҳодиҳии нодуруст ва ошкоркунии аз даст рафтаро, ки аз сабаби паст шудани дақиқии таҷҳизот ба вуҷуд меояд, кам мекунад ва ҳосилнокии маҳсулотро ба таври назаррас беҳтар мекунад. Дар айни замон, талаботи пасти нигоҳдорӣ арзиши тамоми давраи ҳаёти таҷҳизотро коҳиш медиҳад. Таҷҳизоте, ки аз субстратҳои оҳанин истифода мебаранд, аз сабаби устувории пасти андозагирӣ, калибрченкунӣ ва нигоҳдории зуд-зудро талаб мекунанд. Ин на танҳо хароҷоти амалиётиро зиёд мекунад, балки инчунин метавонад ба сифати истеҳсоли нимноқилҳо аз сабаби дақиқии нокифоя таъсир расонад ва боиси талафоти эҳтимолии иқтисодӣ гардад.
Дар шароити тамоюли талоши саноати нимноқилҳо ба дақиқии баландтар ва сифати беҳтар, интихоби гранит ҳамчун маводи асосӣ барои таҷҳизоти санҷиши вафл бешубҳа як қадами оқилона барои таъмини кори таҷҳизот ва баланд бардоштани рақобатпазирии корхонаҳо мебошад.
Вақти нашр: 14 майи соли 2025