Дар пайгирии бемайлони микрочипҳои хурдтар, тезтар ва пурқувваттар, талабот ба таҷҳизоти коркарди Wafer ба сатҳҳои дақиқе, ки қаблан дастнорас ҳисобида мешуданд, афзоиш меёбад. Ҳангоме ки хусусиятҳо ба соҳаи нанометрии якрақама ворид мешаванд, устувории тамоми платформаи истеҳсолӣ аҳамияти аввалиндараҷа пайдо мекунад. Дар ин ҷо, дар зери маҷмӯи мураккаби лазерҳо, камераҳои вакуумӣ ва системаҳои роботӣ, маводи пайдоиши қадимӣ - гранити табиӣ - ҳамчун омили ҳалкунанда барои муваффақияти нимноқилҳои муосир пайдо мешавад. Мушаххасот, муҳандисӣ ва таъминоти ҷузъҳои гранитии OEM-и баландсифат ва кати мошини гранитии монолитии OEM на танҳо талаботи техникӣ мебошанд; онҳо асоси якпорчагии амалиётӣ мебошанд.
Нақши пойгоҳи мошин дар ҳама гуна системаи дақиқи баланд таъмин намудани сатҳи истинодии статикӣ ва устувор мебошад. Дар муҳити ноустувор ва дақиқии муҳими истеҳсоли нимноқилҳо, ки дар он равандҳо ба монанди литография, кандакорӣ ва таҳшинкунӣ сурат мегиранд, инҳирофҳои ночиз - ҳатто дар сатҳи зермикрон - метавонанд ба талафоти фоҷиабори ҳосил оварда расонанд. Аз ин рӯ, интихоби мавод барои унсурҳои асосии сохторӣ, ба монанди пойгоҳи мошини коркарди таҷҳизоти вафлӣ, як қадами ғайримуомила дар тарроҳӣ мебошад.
Афзалиятҳои дохилии гранити табиӣ
Чаро гранити табиӣ дар ин барномаи хеле махсусгардонидашуда аз масолеҳи муҳандисӣ ба монанди оҳани рехтагарӣ, пӯлод ё ҳатто баъзе композитҳо бартарӣ дорад? Ҷавоб дар хосиятҳои беназири физикии он аст, ки барои муҳити ноҳамвори мошинҳои дақиқ комилан мувофиқанд.
1. Кам кардани ларзиши истисноӣ (ҷудоӣ аз динамикаи раванд):
Ларзиш душмани истеҳсоли наноандоза аст. Новобаста аз он ки аз дохили муҳаррикҳо ва қисмҳои ҳаракаткунанда ё аз берун аз фарши тозакунӣ ба вуҷуд меояд, ҳар гуна ларзиш бояд зуд ҷаббида шавад. Гранит дорои коэффитсиенти баланди пасткунии дохилӣ мебошад - нисбат ба металлҳо хеле беҳтар. Ин хосият маънои онро дорад, ки энергияи механикӣ зуд ҳамчун гармӣ пароканда мешавад, ки аз резонанс пешгирӣ мекунад ва кафолат медиҳад, ки равандҳои муҳим дар платформаи воқеан статсионарӣ анҷом дода мешаванд. Ин барои нигоҳ доштани нуқтаи марказии дақиқ дар литографияи пешрафта ё таъмини хориҷкунии якхелаи мавод ҳангоми ҳамвории механикии кимиёвӣ (CMP) муҳим аст.
2. Васеъшавии гармии қариб сифр (нигоҳ доштани якпорчагии ҳамоҳангсозӣ):
Таҷҳизоти коркарди вафлҳо аксар вақт бо тағйирёбии ҳарорат, ҳам аз муҳити атроф ва ҳам аз раванд ба вуҷуд меоянд, алоқаманд аст. Маводҳои металлӣ бо тағирёбии ҳарорат ба таври назаррас васеъ ва фишурда мешаванд, ки боиси кашиши гармӣ ва номувофиқатии системаҳои оптикӣ ё механикӣ мегардад. Гранит, бахусус гранити сиёҳ, коэффитсиенти хеле пасти васеъшавии гармӣ (CTE)-ро нишон медиҳад, ки тақрибан 3×10⁻⁶/℃ аст. Ин устувории гармӣ кафолат медиҳад, ки дақиқии андозаи кати мошини гранитӣ ва дигар ҷузъҳои гранитии OEM яксон боқӣ мемонад, хатогиҳои гармиро ба ҳадди ақал мерасонад ва такроршавии андозагириро дар шароити гуногун кафолат медиҳад.
3. Ҳамворӣ ва сахтии ниҳоӣ:
Тавассути усулҳои пешрафтаи сайқалдиҳӣ ва сайқалдиҳӣ, гранити табиӣ метавонад ба ҳамвории сатҳе ноил гардад, ки дар зермикронҳо чен карда мешавад - талаботи муҳим барои сатҳҳои истинодӣ, ки дар назорати дақиқи ҳаракат истифода мешаванд. Ғайр аз ин, модули баланди Янги он сахтии статикӣ ва динамикии истисноиро таъмин мекунад. Ин муқовимат ба каҷшавӣ дар зери бор муҳим аст, зеро пойгоҳ бояд муҳаррикҳои азими хаттӣ, марҳилаҳо ва сохторҳои мураккаби васлкунии таҷҳизоти коркарди васлкуниро бидуни деформатсияи ченшаванда, ҳатто дар масофаҳои калон, дастгирӣ кунад.
Муҳандисии оянда: Қисмҳои гранитии OEM ва васлкунии мураккаб
Истифодаи муосири гранит аз плитаҳои оддии рӯизаминӣ берун меравад. Истеҳсолкунандагони муосири технологияи баланд ба ҷузъҳои мураккаби гранитии OEM, ки аз ҷониби истеҳсолкунандагони махсус тарҳрезӣ шудаанд, ниёз доранд. Инҳо метавонанд релсҳои роҳнамои ҳавоӣ, патронҳои мураккаби вакуумӣ, унсурҳои марҳилаи бисёрмеҳварӣ ва блокҳои васлкунӣ барои лазерҳо ва оптика бошанд. Ин қисмҳо аксар вақт бо хусусиятҳои мураккаби геометрӣ, аз ҷумла сӯрохиҳои пармашуда барои масири сим, воридҳои риштадор барои васлкунӣ ва думчаҳо ё слотҳои дақиқ коркардшуда барои системаҳои подшипник коркард карда мешаванд.
Раванди сохтани маҷмӯи пурраи таҷҳизоти коркарди вафл аз қабати калони мошини гранитӣ оғоз мешавад. Қисмҳои минбаъдаи гранит бо истифода аз пайвастагиҳои пешрафтаи эпоксидӣ ба он дақиқ пайваст карда мешаванд ё пайваст карда мешаванд, ки ин як қадами муҳим аст, ки кафолат медиҳад, ки тамоми сохтор ҳамчун як воҳиди ягона ва якхела амал мекунад. Ҳамгироии муваффақ таваҷҷӯҳи дақиқро ба ҷузъиёт талаб мекунад:
-
Фармоишдиҳӣ: Ҷузъҳо бояд дақиқ мувофиқи мушаххасоти беназири муштарӣ тарҳрезӣ карда шаванд, ки аксар вақт аз ҷумла ҳамгироии унсурҳои ғайригранитӣ ба монанди хатҳои хунуккунӣ ва васлкунии сенсорҳо мустақиман ба сохтор иборат аст.
-
Кафолати сифат: Ҳар як ҷузъ назорати қатъии сифатро талаб мекунад, аз ҷумла санҷиши ҳамворӣ, ростӣ ва росткуниро бо истифода аз CMM ва интерферометрҳои лазерӣ, ки мутобиқати онҳоро ба стандартҳои қатъии ISO ва байналмилалӣ оид ба метрология ва дақиқӣ таъмин мекунад.
-
Шарикии таъминкунандагон: Интихоби таъминкунандаи қисмҳои гранитии OEM шарикӣ аст. Ин фаҳмиши амиқи татбиқи нимноқилҳо, қобилияти интихоби санги хоми баландсифат ва қобилияти истеҳсолӣ барои коркард ва васл кардани сохторҳои мураккаб то таҳаммулпазирии нанометрро талаб мекунад.
Хулоса, дар ҳоле ки микрочипи тайёр мӯъҷизаи ҳунармандии инсон аст, эҷоди он ба устувории хомӯше, ки санги табиӣ таъмин мекунад, вобаста аст. Истифодаи мураккаби гранит ҳамчун маводи асосӣ барои кати мошини гранитӣ ва дигар ҷузъҳои махсуси гранитии OEM унсури муҳим дар густариши марзҳои миниатюризатсия мебошад. Барои истеҳсолкунандагони таҷҳизоти коркарди вафл, шарикӣ бо мутахассиси сохторҳои гранитии дақиқи баланд қадами аввал ва бунёдӣ барои таъмини бартарии рақобат дар бозори ҷаҳонии нимноқилҳо мебошад.
Вақти нашр: 01 декабри соли 2025