Дар ҳалқаи калидии истеҳсоли чип - сканкунии вафли, дақиқии таҷҳизот сифати чипро муайян мекунад. Ҳамчун як ҷузъи муҳими таҷҳизот, мушкилоти васеъшавии гармии пойгоҳи мошини гранитӣ таваҷҷӯҳи зиёдро ба худ ҷалб кардааст.
Коэффисиенти васеъшавии гармии гранит одатан аз 4 то 8×10⁻⁶/℃ аст, ки нисбат ба металлҳо ва мармар хеле пасттар аст. Ин маънои онро дорад, ки ҳангоми тағирёбии ҳарорат андозаи он нисбатан кам тағйир меёбад. Аммо, бояд қайд кард, ки васеъшавии пасти гармӣ маънои онро надорад, ки васеъшавии гармӣ вуҷуд надорад. Дар сурати тағйирёбии шадиди ҳарорат, ҳатто хурдтарин васеъшавӣ метавонад ба дақиқии наномасштаби сканкунии вафл таъсир расонад.
Дар раванди сканкунии пластина, сабабҳои зиёде барои пайдоиши васеъшавии гармӣ вуҷуд доранд. Тағйирёбии ҳарорат дар коргоҳ, гармии ба вуҷуд омада дар натиҷаи кори ҷузъҳои таҷҳизот ва ҳарорати баланди фаврӣ, ки тавассути коркарди лазерӣ ба вуҷуд меояд, ҳама боиси "васеъшавӣ ва кашишхӯрии пояи гранит аз сабаби тағирёбии ҳарорат" мегарданд. Пас аз он ки поя васеъшавии гармиро аз сар мегузаронад, ростии рельси роҳнамо ва ҳамвории платформа метавонад тағйир ёбад, ки боиси нодуруст ҳаракат кардани мизи пластина мегардад. Ҷузъҳои оптикии дастгирикунанда низ тағйир меёбанд, ки боиси "каҷ шудани нури сканкунӣ" мегардад. Кори пайваста барои муддати тӯлонӣ низ хатогиҳоро ҷамъ мекунад ва дақиқиро бадтар ва бадтар мекунад.
Аммо хавотир нашавед. Мардум аллакай роҳҳои ҳал доранд. Аз ҷиҳати мавод, рагҳои гранитӣ бо коэффисиенти пасттари васеъшавии гармӣ интихоб карда мешаванд ва ба коркарди пиршавӣ дучор карда мешаванд. Аз ҷиҳати назорати ҳарорат, ҳарорати коргоҳ дақиқ дар 23±0.5℃ ё ҳатто камтар назорат карда мешавад ва инчунин дастгоҳи фаъоли паҳнкунии гармӣ барои пойгоҳ тарҳрезӣ карда мешавад. Аз ҷиҳати тарҳрезии сохторӣ, сохторҳои симметрӣ ва такягоҳҳои чандир қабул карда мешаванд ва назорати воқеӣ тавассути сенсорҳои ҳарорат анҷом дода мешавад. Хатогиҳое, ки дар натиҷаи деформатсияи гармӣ ба вуҷуд меоянд, бо алгоритмҳо ба таври динамикӣ ислоҳ карда мешаванд.
Таҷҳизоти баландсифат ба монанди дастгоҳҳои литографияи ASML, тавассути ин усулҳо таъсири васеъшавии гармии пойгоҳи гранитро дар доираи хеле хурд нигоҳ медоранд, ки имкон медиҳад, ки дақиқии сканкунии вафл ба сатҳи нанометр расад. Аз ин рӯ, то он даме, ки он дуруст назорат карда шавад, пойгоҳи гранит интихоби боэътимод барои таҷҳизоти сканкунии вафл боқӣ мемонад.
Вақти нашр: 12 июни соли 2025