Дар звенои асосии истедсоли чипдо — сканкунии вафель, дурустии тачхизот сифати чипро муайян мекунад. Ҳамчун ҷузъи муҳими таҷҳизот, проблемаи васеъшавии гармии пойгоҳи мошини гранитӣ диққати зиёдро ба худ ҷалб кард.
Коэффисиенти васеъшавии гармии гранит одатан аз 4 то 8 × 10⁻⁶/℃ аст, ки нисбат ба металлҳо ва мармар хеле пасттар аст. Ин маънои онро дорад, ки ҳангоми тағирёбии ҳарорат андозаи он нисбатан каме тағйир меёбад. Аммо, бояд қайд кард, ки тавсеаи гармии паст маънои онро надорад, ки васеъшавии гармӣ вуҷуд надорад. Дар зери тағйирёбии шадиди ҳарорат, ҳатто хурдтарин васеъшавӣ метавонад ба дақиқии наномикёси сканкунии вафли таъсир расонад.
Дар ҷараёни сканкунии вафли, сабабҳои зиёде барои пайдоиши васеъшавии гармӣ мавҷуданд. Тағйирёбии ҳарорат дар устохона, гармие, ки дар натиҷаи кори ҷузъҳои таҷҳизот ба вуҷуд меояд ва ҳарорати як лаҳзаи баланд, ки тавассути коркарди лазерӣ ба вуҷуд меояд, ҳама боиси «васеъ шудан ва кӯтоҳ шудани пойгоҳи гранитӣ аз тағирёбии ҳарорат мегардад». Вақте ки пойгоҳ васеъшавии гармиро аз сар мегузаронад, ростии рельси роҳнамо ва ҳамвории платформа метавонанд дур шаванд, ки дар натиҷа траекторияи нодурусти ҳаракати мизи пластинка оварда мерасонад. Қисмҳои оптикии пуштибон низ иваз мешаванд, ки боиси "дур рафтани" нури сканер мешаванд. Муддати тӯлонӣ пайваста кор кардан инчунин хатогиҳоро ҷамъ карда, дақиқиро бадтар ва бадтар мекунад.
Аммо хавотир нашав. Одамон аллакай ҳалли худро доранд. Дар робита ба мавод, рагҳои гранитӣ бо коэффисиенти пасттари васеъшавии гармӣ интихоб карда мешаванд ва ба табобати пиршавӣ дучор мешаванд. Дар робита ба назорати ҳарорат, ҳарорати коргоҳ дақиқ дар 23 ± 0,5 ℃ ё ҳатто пасттар назорат карда мешавад ва дастгоҳи гармидиҳии фаъол низ барои пойгоҳ тарҳрезӣ мешавад. Дар робита ба тарҳрезии сохторӣ, сохторҳои симметрӣ ва такяҳои чандир қабул карда мешаванд ва мониторинги вақти воқеӣ тавассути сенсорҳои ҳарорат анҷом дода мешавад. Хатогие, ки дар натиҷаи деформатсияи гармӣ ба вуҷуд омадааст, бо алгоритмҳо динамикӣ ислоҳ карда мешаванд.
Таҷҳизоти олӣ ба монанди мошинҳои литографияи ASML, тавассути ин усулҳо, таъсири тавсеаи гармии пойгоҳи гранитро дар доираи хеле хурд нигоҳ медоранд ва имкон медиҳанд, ки дақиқии сканкунии вафель ба сатҳи нанометр расад. Аз ин рӯ, то даме ки он дуруст назорат карда мешавад, пойгоҳи гранит интихоби боэътимод барои таҷҳизоти сканеркунии вафли боқӣ мемонад.
Вақти фиристодан: июн-12-2025