Системаҳои ҳавоии гранитӣ ба таври васеъ истифода мешавандултра-дақиқплатформаҳои ҳаракат барои истеҳсоли нимноқилҳо, ҳамоҳангсозии оптикӣ ва метрологияи миқёси нанометрӣ.
Ин системаҳо тамосҳои механикиро бо истифода аз плёнкаи ҳавоии фишордор бартараф мекунанд ва ҳаракати қариб сифрии соишро ба даст меоранд.
Принсипи интиқоли ҳаво
Подшипникҳои ҳавоӣ бо роҳи ворид кардани ҳавои фишурда байни ду сатҳ ва ташкил додани плёнкаи ҳавоии 2-20 мкм кор мекунанд.
Ин бартараф мекунад:
- Соишҳои механикӣ
- пӯшидан
- Рафтори лағжиши часпак
Система ба динамикаи плёнкаи моеъ ва ҷараёни устувори ламинарӣ такя мекунад.
Нақши гранит
Гранит таъмин мекунад:
- Устувории сохторӣ
- Саркӯбии дрейфи гармӣ
- Кам кардани ларзиш
Он ҳамчун пойгоҳи истинодии механикӣ барои системаи ҳаракат хизмат мекунад.
Ҷузъҳои система
- Пойгоҳи гранитӣ
- Болиштҳои подшипники ҳавоӣ
- Системаи таъминоти ҳаво
- Рамзгузорҳои дақиқ
- Системаи идоракунии ҳаракат
Хусусиятҳои иҷроиш
Иҷрои маъмулӣ инҳоро дар бар мегирад:
- Дақиқии ҷойгиркунии зермикронӣ
- Ростии баланд ҳангоми сафари тӯлонӣ
- Сифр зарбаи механикӣ
Манбаъҳои асосии хато ноустувории фишори ҳаво, дрейфи гармӣ ва хатогии рамзгузорро дар бар мегиранд.
Барномаҳо
- Санҷиши вафери нимноқилҳо
- Системаҳои литография
- Платформаҳои ҳамоҳангсозии оптикӣ
- Мошинҳои метрологии сатҳи баланд
Саволҳои зиёд такрормешуда
Оё подшипникҳои ҳавоӣ фарсуда мешаванд?
Ҳеҷ гуна тамоси механикӣ фарсудашавиро бартараф намекунад.
Чаро аз гранит истифода бурдан лозим аст?
Барои устуворӣ ва коҳиши ларзиш.
Чӣ дақиқиро маҳдуд мекунад?
Устувории ҳаво ва таъсири гармӣ.
Оё онҳо метавонанд борҳои вазнинро бардоранд?
Бале, вобаста ба тарҳрезӣ.
Вақти нашр: 03 июли соли 2026