Дар соҳаҳои истеҳсоли дақиқ ва таҳқиқоти илмӣ, ҳамвории платформаҳои дақиқи гранитӣ нишондиҳандаи калидӣ барои таъмини дақиқии таҷҳизот мебошад. Дар зер муқаддимаи муфассали якчанд усулҳои асосии ошкоркунӣ ва тартиби кори онҳо барои шумо оварда шудааст.
I. Усули муайянкунии интерферометри лазерӣ
Интерферометри лазерӣ асбоби афзалиятнок барои муайян кардани ҳамвории дақиқи баланд мебошад. Интерферометри лазерии ZYGO GPI XP-ро ҳамчун мисол гиред, ки қарори он метавонад ба 0,1 нм расад. Ҳангоми гузаронидани муайянкунӣ, аввал манбаи нури интерферометрро бо платформа ҳамоҳанг кунед ва сатҳи платформаро ба минтақаҳои шабакавии 50 мм × 50 мм тақсим кунед. Баъдан, маълумоти ҳошияи интерференсия нуқта ба нуқта ҷамъоварӣ карда шуд ва маълумот бо истифода аз полиномияи Зерник барои ба даст овардани хатогии ҳамворӣ насб ва таҳлил карда шуд. Ин усул барои платформаҳои дақиқи баланд татбиқ мешавад ва метавонад хатогиҳои ҳамвории ≤0,5 мкм/м²-ро муайян кунад. Он одатан дар муайян кардани мошинҳои фотолитография ва платформаҳои мошинҳои ченкунии се координатаи баланд истифода мешавад.
II. Усули массиви сатҳи электронӣ
Муайянкунии массиви сатҳи электронӣ барои истифода содда ва хеле самаранок аст. Сатҳи электронии TESA A2 (бо қарори 0.01μm/m) интихоб ва дар массиви 9×9 дар самти меҳвари X/Y платформа ҷойгир карда шуд. Бо ҷамъоварии ҳамзамони маълумоти майли ҳар як сатҳ ва сипас истифодаи усули хурдтарин квадратҳо барои ҳисоб, арзиши ҳамвориро дақиқ ба даст овардан мумкин аст. Ин усул метавонад шароити маҳаллии ковокӣ ва барҷастагии платформаро самаранок муайян кунад. Масалан, ноустувории 0.2μm дар диапазони 50 мм низ метавонад муайян карда шавад, ки барои ошкоркунии зуд дар истеҳсоли оммавӣ мувофиқ аст.
III. Усули кристалли ҳамвори оптикӣ
Усули кристалли ҳамвори оптикӣ барои муайян кардани платформаҳои хурди масоҳат мувофиқ аст. Кристали ҳамвори оптикиро ба сатҳи озмоишшаванда дар платформа маҳкам кунед ва рахҳои интерференсионии байни онҳоро таҳти равшании манбаи нури монохроматӣ (масалан, чароғи натрий) мушоҳида кунед. Агар рахҳо рахҳои рости параллелӣ бошанд, ин нишонаи ҳамвории хуб аст. Агар рахҳои каҷ пайдо шаванд, хатогии ҳамвориро дар асоси дараҷаи каҷравии рах ҳисоб кунед. Ҳар як рахи каҷ фарқияти баландии 0.316μm-ро нишон медиҳад ва маълумоти ҳамвориро тавассути табдили оддӣ ба даст овардан мумкин аст.
Чорум. Усули санҷиши мошини ченкунии се координатӣ
Мошини ченкунии се координата метавонад андозагирии дақиқи баландро дар фазои сеченака ба даст орад. Платформаи гранитиро дар мизи кории мошини ченкунӣ ҷойгир кунед ва аз зонд истифода бурда, маълумотро аз нуқтаҳои гуногуни андозагирӣ дар сатҳи платформа яксон ҷамъ кунед. Системаи мошини ченкунӣ ин маълумотро коркард ва таҳлил мекунад, то гузориши ҳамвории платформаро тавлид кунад. Ин усул на танҳо ҳамвориро муайян карда метавонад, балки параметрҳои дигари геометрии платформаро ҳамзамон ба даст меорад ва барои ошкоркунии ҳамаҷонибаи платформаҳои калони гранитӣ мувофиқ аст.
Азхуд кардани ин усулҳои ошкоркунӣ метавонад ба шумо дар арзёбии дақиқи ҳамвории платформаи дақиқи гранитӣ кӯмак кунад ва кафолати боэътимоди кори устувори таҷҳизоти дақиқро таъмин намояд.
Вақти нашр: 29 майи соли 2025