Дар коргоҳи истеҳсоли нимноқилҳо, талаботи раванди истеҳсоли чип барои шароити муҳити зист ва дақиқии таҷҳизот шадид аст ва ҳар гуна инҳирофи ночиз метавонад боиси коҳиши назарраси ҳосилнокии чип гардад. Платформаи ҳаракати гантрии дақиқи XYZT ба ҷузъҳои гранитӣ барои ҳамкорӣ бо дигар қисмҳои платформа такя мекунад, то заминаи мустаҳкамеро барои ноил шудан ба дақиқии наномасштаб эҷод кунад.
Хусусиятҳои аълои блоккунии ларзиш
Дар коргоҳи истеҳсоли нимноқилҳо, кори таҷҳизоти периферӣ ва кормандоне, ки дар атроф гаштугузор мекунанд, метавонад боиси ларзиш гардад. Сохтори дохилии ҷузъҳои гранит зич ва яксон буда, дорои хусусиятҳои табиии баланди демпферӣ мебошанд, ба монанди "монеаи" ларзиши самаранок. Вақте ки ларзиши беруна ба платформаи XYZT интиқол дода мешавад, ҷузъи гранит метавонад беш аз 80% энергияи ларзишро самаранок кам кунад ва дахолати ларзишро ба дақиқии ҳаракати платформа кам кунад. Дар айни замон, платформа бо системаи роҳнамои шинокунандаи ҳавои дақиқи баланд муҷаҳҳаз шудааст, ки дар якҷоягӣ бо ҷузъҳои гранит кор мекунад. Роҳнамои шинокунандаи ҳаво плёнкаи устувори газро, ки аз гази фишори баланд ташкил шудааст, барои амалӣ кардани ҳаракати бетамосии таваққуфи қисмҳои ҳаракаткунандаи платформа ва кам кардани ларзиши хурде, ки аз соишҳои механикӣ ба вуҷуд меояд, истифода мебарад. Дар якҷоягӣ, ин ду кафолат медиҳанд, ки дақиқии ҷойгиркунии платформа ҳамеша дар сатҳи нанометр дар равандҳои калидӣ, ба монанди литографияи чип ва кандакорӣ нигоҳ дошта мешавад ва аз инҳирофи нақшҳои схемаи чип, ки аз ларзиш ба вуҷуд меоянд, пешгирӣ мекунад.
Устувории гармии аъло
Тағйирёбии ҳарорат ва намӣ дар коргоҳ ба дақиқии таҷҳизоти истеҳсоли чип таъсири калон мерасонад. Коэффитсиенти васеъшавии гармии гранит хеле паст аст, одатан дар 5-7 × 10⁻⁶/℃, андоза ҳангоми тағирёбии ҳарорат қариб бетағйир мемонад. Ҳатто агар фарқияти ҳарорат байни шабу рӯз дар коргоҳ ё истеҳсоли гармии таҷҳизот боиси тағйирёбии ҳарорати муҳити атроф гардад, ҷузъҳои гранит метавонанд устувор боқӣ монанд, то деформатсияи платформаро аз сабаби васеъшавӣ ва кашишхӯрии гармӣ пешгирӣ кунанд. Дар айни замон, системаи интеллектуалии назорати ҳарорат, ки бо платформа муҷаҳҳаз шудааст, ҳарорати муҳити атрофро дар вақти воқеӣ назорат мекунад, таҷҳизоти кондитсионер ва паҳншавии гармиро ба таври худкор танзим мекунад ва ҳарорати коргоҳро дар 20°C ±1°C нигоҳ медорад. Дар якҷоягӣ бо бартариҳои устувории гармии гранит, боварӣ ҳосил кунед, ки платформа дар муддати тӯлонӣ кор мекунад, дақиқии ҳаракати ҳар як меҳвар ҳамеша ба стандартҳои дақиқии нанометрии истеҳсоли чип мувофиқат мекунад, то андозаи намунаи литографияи чип дақиқ ва умқи кандакорӣ яксон бошад.
Қонеъ гардонидани ниёзҳои муҳити тоза
Корхонаи истеҳсоли нимноқилҳо бояд сатҳи баланди тозагиро нигоҳ дорад, то аз олуда шудани зарраҳои чанг ба чип пешгирӣ кунад. Худи маводи гранитӣ чанг ба вуҷуд намеорад ва сатҳи он ҳамвор аст ва чангро ба осонӣ ҷаббида наметавонад. Платформа дар маҷмӯъ тарҳи сохтори пурра пӯшида ё нимпӯшидаро барои кам кардани воридшавии чангҳои беруна қабул мекунад. Системаи гардиши ҳавои дохилӣ бо системаи тозаи кондитсионери коргоҳ пайваст карда шудааст, то тозагии ҳавои дохилӣ ба сатҳи зарурии истеҳсоли чип бирасад. Дар ин муҳити тоза, ҷузъҳои гранитӣ аз сабаби эрозияи чанг ба кор таъсир намерасонанд ва ҷузъҳои калидӣ, ба монанди сенсорҳо ва муҳаррикҳои дақиқи баланд дар платформа низ метавонанд устувор кор кунанд, ки кафолати доимӣ ва боэътимоди дақиқии наномасштаб барои истеҳсоли чипро таъмин мекунанд ва ба саноати нимноқилҳо барои гузаштан ба сатҳи баланди равандҳо кӯмак мекунанд.
Вақти нашр: 14 апрели соли 2025