Азбаски саноати нимноқилҳо бо ҷидду ҷаҳд гиреҳҳои раванди зер2 нм-ро пайгирӣ мекунад, ҳошияи хатогиҳои механикӣ қариб аз байн рафтааст. Дар ин муҳити хатарнок, устувории камераи раванд дигар масъалаи дуюмдараҷа нест; он монеаи асосии ҳосилнокӣ аст. Дар ZHHIMG, мо тағйироти куллиро дар муносибати ширкатҳои ҷаҳонии OEM ба якпорчагии сохтории таҷҳизоти асосии нимноқилҳо мушоҳида мекунем.
Физикаи хомӯшӣ: Усулҳои пешрафтаи хомӯш кардани ларзиш
Дар истеҳсоли пластинаҳои муосир, ларзишҳое, ки қаблан "садои замина" ҳисобида мешуданд, ҳоло фоҷиаборанд. Новобаста аз он ки ин микролаппишҳо аз системаи HVAC-и иншоот ё инерсияи дохилии марҳилаи сканкунии баландсуръат бошад, энергияи беназорат мустақиман ба хатогиҳои рӯйпӯш ва нақшҳои норавшан табдил меёбад.
Усулҳои кунунии демпферкунии ларзиш дар истеҳсоли нимноқилҳо ба меъмории бисёрқабата табдил ёфтаанд. Дар ҳоле ки демпферкунии ғайрифаъол - бо истифода аз маводҳои массаи баланд ба монанди рехтагарии минералӣ ё гранити дақиқ - асоси он боқӣ мемонад, мо шоҳиди афзоиши ҳамгироии демпферкунии фаъол ҳастем.
Системаҳои фаъол аз пьезоэлектрикӣ ва сенсорҳои вақти воқеӣ барои "бекор кардани" ларзишҳо тавассути тавлиди басомадҳои муқобил истифода мебаранд. Аммо, самаранокии системаҳои фаъол аз рӯи таносуби демпферии маводи асосӣ маҳдуд аст. Дар ин ҷо таҷрибаи ZHHIMG дар маводҳои сохтории демпферии баланд муҳим мегардад. Бо якҷоя кардани электроникаи фаъол бо гранити табиӣ инертӣ ё пойгоҳи композитӣ, мо "Минтақаи ором"-ро фароҳам меорем, ки дар он нано-мавқеъкунӣ метавонад бе дахолат ба амал ояд.
Афзоиши ҳаракати беисқиш: Технологияи подшипникҳои ҳавоӣ
Талабот ба иқтидори баланди гузаронандагӣ подшипникҳои механикии анъанавиро ба ҳадди аксар расонидааст. Соиш ба гармӣ ва гармӣ ба васеъшавии гармӣ — душмани дақиқӣ — оварда мерасонад. Ин боиси истифодаи васеъи...технологияи ҳавоӣ барои марҳилаҳои дақиқ.
Подшипникҳои ҳавоӣ борро ба қабати тунуки ҳавои фишордор, ки одатан танҳо чанд микрон ғафсӣ дорад, нигоҳ медоранд. Азбаски тамос бо онҳо вуҷуд надорад, соиш (часпидан)-и статикӣ сифр аст. Ин имкон медиҳад, ки:
-
Ҳаракати бе гистерезис: Таъмин намудани он, ки марҳила ҳар дафъа ба ҳамон координатаи нанометрӣ бармегардад.
-
Доимии суръат: Барои барномаҳои сканкунӣ ба монанди санҷиши шуоъҳои электронӣ, ки дар он ҳатто ночизтарин "гардиши" подшипники механикӣ тасвирро таҳриф мекунад, муҳим аст.
-
Давомнокии ниҳоят баланд: Азбаски қисмҳои ламскунанда вуҷуд надоранд, фарсудашавӣ ва пайдоиши зарраҳо вуҷуд надорад, ки онҳоро барои муҳитҳои тозаи синфи 1 беҳтарин мегардонад.
Дар ZHHIMG, мо сатҳҳои гранитии ултраҳамворро истеҳсол мекунем, ки ҳамчун роҳнамо барои ин подшипникҳои ҳавоӣ хизмат мекунанд. Барои дуруст кор кардан, ин сатҳҳо бояд то ҳамворие, ки бо қисматҳои дарозии мавҷи рӯшноӣ чен карда мешавад, пӯшонида шаванд.
Тамоюлҳо дар таҷҳизоти сармоягузории нимноқилҳо: 2026 ва баъд аз он
Ҳангоми гузаштан аз соли 2026,тамоюлҳо дар таҷҳизоти сармоягузории нимноқилҳобо "Се сутун" тавсиф мешаванд: Модулизатсия, Устуворӣ ва Назорати Ҳароратӣ.
-
Тарроҳии платформаи модулӣ: Истеҳсолкунандагони аслӣ модулҳои асосии "пайваст ва бозӣ"-ро меҷӯянд. Ба ҷои тарҳрезии пойгоҳи нав барои ҳар як асбоб, онҳо аз таҳкурсиҳои дақиқи стандартии ZHHIMG истифода мебаранд, ки метавонанд барои литография, метрология ё кандакорӣ мутобиқ карда шаванд.
-
Идоракунии гармӣ: Азбаски манбаъҳои рӯшноии EUV (ултрабунафши шадид) гармии бузургеро ба вуҷуд меоранд, пойгоҳи дастгоҳ бояд ҳамчун гармкунаки бузург амал кунад. Мо каналҳои мураккаби хунуккуниро мустақиман ба ҷузъҳои минералӣ ва гранитии худ ворид мекунем, то делтаи $<0.01^\circ\text{C}$-ро нигоҳ дорем.
-
Мутобиқати вакуумӣ: Бо гузаштани равандҳои бештар ба муҳитҳои баландвакуумӣ, маводҳои истифодашуда бояд сифр газ хориҷ кунанд. Коркарди махсуси гранитӣ ва сафолии мо кафолат медиҳад, ки якпорчагии вакуум ҳеҷ гоҳ аз ҷониби таҳкурсии сохторӣ вайрон намешавад.
Шарикии стратегӣ бо ZHHIMG
ZHHIMG на танҳо истеҳсолкунандаи ҷузъҳо аст; мо шарики стратегӣ дар занҷираи таъминоти назорати ҳаракат ҳастем. Корхонаи мо дар Чин бо гурӯҳҳои муҳандисӣ дар Силикон Водии ва Эйндховен барои ҳалли душвортарин мушкилоти устуворӣ дар соҳа дар ҳамоҳангии зич ҳамкорӣ мекунад.
Бо истифода аз усулҳои махсуси дӯзандагӣ ва фаҳмиши амиқи моусулҳои хомӯш кардани ларзиш, мо ба мизоҷони худ имкон медиҳем, ки аз ҳудуди Қонуни Мур берун раванд. Новобаста аз он ки шумо асбоби ALD (Ҷойгиркунии қабати атомӣ)-и насли оянда ё зондкунандаи вафлии баландсуръатро таҳия мекунед, бунёд аз ZHHIMG оғоз мешавад.
Хулоса
Таҳаввулоти истеҳсоли нимноқилҳо мусобиқаест бар зидди қонунҳои физика. Бо ҳаракати саноат ба сӯи соли 2026, таваҷҷӯҳ ба дақиқии подшипникҳои ҳавоӣ ва демпферизатсияи пешрафта танҳо афзоиш хоҳад ёфт. Пешсаф будан аз ин тамоюлҳо ба пояе ниёз дорад, ки ҳам ба маънои аслӣ ва ҳам ба маънои маҷозӣ бар таҷриба ва навоварӣ асос ёфтааст.
Вақти нашр: 26 январи соли 2026