Дар соҳаҳои истеҳсолоти баландсифат ва таҳқиқоти илмии пешрафта, платформаи ҳаракати ҳавоии шинокунандаи фишори статикии дақиқ таҷҳизоти калидӣ барои ноил шудан ба кори ултра-дақиқ мебошад. Пойгоҳи дақиқи гранитӣ қисми асосии дастгирии платформа буда, кори он бо муҳити корӣ зич алоқаманд аст. Фаҳмидан ва риояи ин талаботи экологӣ на танҳо кори дақиқи платформаро таъмин карда метавонад, балки қисми муҳими корхона барои баланд бардоштани рақобатпазирии он дар соҳаҳои марбута мебошад, ки дар зер муфассал тавсиф шудааст.
1. Ҳарорат: назорати дақиқ барои таъмини устувории андозагирӣ
Гарчанде ки гранит бо устувории худ машҳур аст, коэффитсиенти васеъшавии гармии он сифр нест ва тағйироти ночизи ҳарорат метавонад ба дақиқии андозагирии он таъсир расонад. Умуман, коэффитсиенти васеъшавии гармии гранит 5-7 × 10⁻⁶/℃ аст. Дар сенарияи татбиқи платформаи ҳаракати шинокунандаи ҳавои фишори статикии дақиқ, ин тағйироти ночиз аз ҷониби платформа тақвият дода мешавад, ки метавонад ба инҳирофи дақиқии ҳаракат оварда расонад. Масалан, дар раванди истеҳсоли чипи нимноқил, раванди литография барои дақиқии ҷойгиркунӣ талаботи сатҳи данами, тағйирёбии ҳарорати муҳити атроф 1°C, дарозии паҳлӯии пойгоҳи гранитии 1 метр метавонад 5-7 микрон васеъшавии хаттӣ ё кашишро ба вуҷуд орад, ки барои инҳирофи намунаи литографияи чип ва коҳиш додани ҳосил кофӣ аст. Аз ин рӯ, платформаи шинокунандаи ҳавои статикии дақиқ бо пойгоҳи дақиқи гранитӣ муҷаҳҳаз аст, ҳарорати беҳтарини муҳити корӣ бояд дар 20°C ±1°C қатъиян назорат карда шавад, корхонаҳо метавонанд системаи кондитсионери ҳавои доимии дақиқи баландро насб кунанд, ҳарорати муҳити атрофро пайваста назорат ва дақиқ танзим кунанд, андозаи пойгоҳи гранитиро устувор нигоҳ доранд, то кори дақиқи платформаро таъмин кунанд.
2. намӣ: назорати оқилона, ҳифзи кори асосӣ
Намӣ инчунин ба пойгоҳҳои дақиқи гранитӣ таъсири назаррас мерасонад. Дар муҳити намӣ баланд, гранит буғи обро ба осонӣ ҷаббида мегирад ва метавонад дар рӯи он конденсатсия пайдо шавад, ки на танҳо ба кори муқаррарии системаи флотатсияи ҳаво халал мерасонад, балки боиси эрозияи дарозмуддати сатҳи гранит мегардад, ки дақиқӣ ва мӯҳлати хидмати онро коҳиш медиҳад. Масалан, коргоҳи суфтакунии линзаҳои оптикиро истифода барем, агар намӣ муддати тӯлонӣ аз 60% RH баландтар бошад, буғи обе, ки дар рӯи пойгоҳи гранит адсорбсия шудааст, якрангии плёнкаи шинокунандаи ҳаворо вайрон мекунад, ки дар натиҷа дақиқии суфтакунии линза ва нуқсонҳои сатҳ коҳиш меёбад. Аз ин рӯ, намии нисбии муҳити корӣ бояд дар байни 40%-60% RH назорат карда шавад. Корхонаҳо метавонанд намӣгирҳо, сенсорҳои намӣ ва дигар таҷҳизотро барои назорат ва назорати намӣ дар вақти воқеӣ истифода баранд, муҳити муносиби намӣ барои пойгоҳи дақиқи гранит эҷод кунанд ва кори устувори платформаи ҳаракати шинокунандаи ҳавои фишори статикии дақиқро таъмин кунанд.
3. тозагӣ: назорати қатъӣ, бартараф кардани дахолати зарраҳо
Зарраҳои чанг "душман"-и платформаи ҳаракати шинокунандаи ҳавои фишори статикии дақиқ мебошанд ва ба пойгоҳи дақиқи гранитӣ зарари калон мерасонанд. Пас аз ворид шудани зарраҳои хурд ба фосилаи плёнкаи газ байни лағжандаи шинокунандаи газ ва пойгоҳи гранит, онҳо метавонанд якрангии плёнкаи газро вайрон кунанд, соишро афзоиш диҳанд ва ҳатто сатҳи пойгоҳро харошанд ва ба дақиқии ҳаракати платформа таъсири ҷиддӣ расонанд. Дар коргоҳи коркарди ултра-дақиқи қисмҳои аэрокосмӣ, агар зарраҳои чанг дар ҳаво ба пойгоҳи гранит афтанд, траекторияи ҳаракати асбоби коркард метавонад тағйир ёбад, ки ба дақиқии коркарди қисмҳо таъсир мерасонад. Аз ин рӯ, майдони корӣ бояд хеле тоза нигоҳ дошта шавад ва ба стандарти тозагии 10,000 ё ҳатто баландтар бирасад. Корхонаҳо метавонанд зарраҳои чангро дар ҳаво бо насб кардани филтрҳои ҳавои баландсифат (HEPA) филтр кунанд ва аз кормандон талаб кунанд, ки либосҳои бе чанг, рӯйпӯшҳои пойафзол ва ғайра пӯшанд, то чангеро, ки одамон меоранд, кам кунанд ва муҳити кории дақиқи пойгоҳи гранитӣ ва платформаи ҳаракати шинокунандаи ҳавои фишори статикии дақиқро нигоҳ доранд.
4. Ларзиш: Изолятсияи муассир барои эҷоди фазои ҳамвор
Ларзиши беруна ба дақиқии платформаи шинокунандаи ҳавои статикии фишори дақиқ халал мерасонад, гарчанде ки пойгоҳи гранитии дақиқ қобилияти муайяни коҳиши ларзишро дорад, аммо ларзиши қувваи баланд метавонад ҳадди буферии онро вайрон кунад. Ларзише, ки дар натиҷаи ҳаракати нақлиёт дар атрофи корхона ва кори таҷҳизоти калони механикӣ ба вуҷуд меояд, тавассути замин ба пойгоҳи гранит интиқол дода мешавад, ки ба дақиқии ҳаракати платформа халал мерасонад. Дар CMM-и баландсифат, ларзиш метавонад боиси ноустувории тамос байни зонди ченкунӣ ва қисми коркарди ченшаванда гардад, ки боиси инҳирофи маълумоти ченкунӣ мегардад. Барои ҳалли ин мушкилот, зарур аст, ки чораҳои муассири изолятсияи ларзиш, ба монанди гузоштани болиштҳои изолятсияи ларзиш дар минтақаи насби таҷҳизот, сохтани таҳкурсии изолятсияи ларзиш ё истифодаи системаи фаъоли изолятсияи ларзиш барои фаъолона ҷуброн кардани ларзиши беруна ва эҷоди муҳити кории ором ва устувор барои пойгоҳи дақиқи гранитӣ ва платформаи ҳаракати шинокунандаи ҳавои статикии фишори дақиқ андешида шаванд.
Барои пурра истифода бурдани бартариҳои пойгоҳи дақиқи гранитӣ дар платформаи ҳаракати шинокунандаи ҳавои фишори статикии дақиқ, ба талаботи дар боло зикршудаи экологӣ ҷавобгӯ бошед, то боварӣ ҳосил кунед, ки платформа хидматҳои назорати ҳаракатро бо дақиқии баланд ва устувории баланд барои соҳаҳои гуногун пешниҳод мекунад. Агар корхонаҳо ба ин тафсилот дар муҳити истеҳсолӣ диққат диҳанд, онҳо имкониятро дар истеҳсолоти дақиқ, таҳқиқоти илмӣ ва дигар соҳаҳо истифода мебаранд, рақобатпазирии худро афзоиш медиҳанд ва ба рушди устувор ноил мегарданд.
Вақти нашр: 10 апрели соли 2025